1 pc. fully automated electroplating system
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Fraunhofer IMS requires a new or refurbished fully automated electroplating system. In this system 8” (200 mm) wafers can be processed according to the specifications below. Optional: The system can be easily changed to process wafer size 6”.
The wafers are loaded automatically by a robot handler from cassette to cassette.
The system consists at least of 4 electroplating modules for 4 different electrolytes Cu, Ni, Au and Sn, a Prewet/Spin Rinse module, a module for UBM (under bump metallization) removal and one module for the promotion of Ni-Au adhesion. Modules for TSV copper process (i.e. additional vacuum prewet module) must be available optional for this system.
Optional: a waste disposal system for heavy metal waste for the UBM removal module.
The system includes software which offers the option of an operating mode and a manual mode for engineering.
The system includes an interface for a fully automated plating bath analyse equipment for every electrolyte
Next II.2.4):
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-04-30. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-03-29.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie?- • Signalgeneratoren, Antennensignalverteiler und Maschinen für die Galvanotechnik › Maschinen für die Galvanotechnik
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2018-03-29 | Auftragsbekanntmachung |
| 2018-11-21 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maschinen für die Galvanotechnik
Referenznummer: E_038_234371 deyda-bla FMD
Kurze Beschreibung:
“Fraunhofer IMS requires a new or refurbished fully automated electroplating system. In this system 8” (200 mm) wafers can be processed according to the...”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Englisch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Maschinen für die Galvanotechnik 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Duisburg, Kreisfreie Stadt 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-03-29 📅
Einreichungsfrist: 2018-04-30 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-03-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 064-142060
ABl. S-Ausgabe: 64
Zusätzliche Informationen
“Request of documents — available at: The award documents can be retrieved exclusively through the award portal of the German e-Vergabe at...”
Quelle: OJS 2018/S 064-142060 (2018-03-29)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Fraunhofer IMS requires a new or refurbished fully automated electroplating system. In this system 8” (200 mm) wafers can be processed according to the...”
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-11-21 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-11-23 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 226-516774
Verweist auf Bekanntmachung: 2018/S 064-142060
ABl. S-Ausgabe: 226
Zusätzliche Informationen
“Request of documents — available at: the award documents can be retrieved exclusively through the award portal of the German e-Vergabe at...”
Quelle: OJS 2018/S 226-516774 (2018-11-21)
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