System zur Atomlagenabscheidung (ALD) für thermisches ALD auf planaren und porösen und Pulver- Substraten sowie plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (PEALD) auf planaren Substraten
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-04-23.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-03-14.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-08-08) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name: Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material- und Küstenforschung
Postanschrift: Max-Planck-Straße 1
Postort: Geesthacht
Postleitzahl: 21502
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@hzg.de📧
Region: Herzogtum Lauenburg🏙️
URL: www.hzg.de🌏 Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungseinrichtung
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Atomic Layer Deposition System
10086249
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung:
“System zur Atomlagenabscheidung (ALD) für thermisches ALD auf planaren und porösen und Pulver- Substraten sowie plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung...”
Kurze Beschreibung
System zur Atomlagenabscheidung (ALD) für thermisches ALD auf planaren und porösen und Pulver- Substraten sowie plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (PEALD) auf planaren Substraten.
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Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 790 600 💰
1️⃣
Ort der Leistung: Herzogtum Lauenburg🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material- und Küstenforschung Max-Planck-Straße 1 21502 Geesthacht”
Beschreibung der Beschaffung:
“System zur Atomlagenabscheidung (ALD) für thermisches ALD auf planaren und porösen und Pulver- Substraten sowie plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung...”
Beschreibung der Beschaffung
System zur Atomlagenabscheidung (ALD) für thermisches ALD auf planaren und porösen und Pulver- Substraten sowie plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (PEALD) auf planaren Substraten. Bestehend aus folgenden Komponenten:
— Vakuumkammer mit wechselbaren inneren Reaktionskammern aus Edelstahl,
— Flüssige und gasförmige Precursor-Systeme,
— Gerätekühlung,
— Vakuumsystem,
— Auslegung für Systemerweiterungen,
— Plasmasystem,
— Glovebox,
— Ozongenerator/Ozonquelle,
— In-situ Ellipsometer,
— Residual Gas Analysis (RGA),
— Scrubber für die Abgase des ALD,
— Schallschutz für Vakuumpumpen,
— Installation,
— Acceptance-Tests (Abnahmeprüfung).
Nähere Details siehe Leistungsbeschreibung
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2018/S 053-116888
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: 30127670
Titel: Atomic Layer Deposition System
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-07-02 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Picosun Oy
Postanschrift: Tietotie 3
Postort: Espoo
Postleitzahl: 02150
Land: Finnland 🇫🇮
Region: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 790 600 💰
Ergänzende Informationen Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP9YCQDMYP
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0📞
Fax: +49 2289499-163 📠 Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0📞
Fax: +49 2289499-163 📠 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Die Auftraggeberin weist ausdrücklich auf die Rügeobliegenheiten der Unternehmen/Bewerber/Bieter sowie auf die Präklusionsregelungen gemäß § 107 Abs. 3 Satz...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Die Auftraggeberin weist ausdrücklich auf die Rügeobliegenheiten der Unternehmen/Bewerber/Bieter sowie auf die Präklusionsregelungen gemäß § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1-4 GWB hinsichtlich der Behauptung von Verstößen gegen die Bestimmungen über das Vergabeverfahren hin. § 107 Abs. 3 Satz 1 GWB lautet: „Der Antrag (auf Nachprüfung) ist unzulässig, soweit der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat“.
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Quelle: OJS 2018/S 152-348820 (2018-08-08)