Atomic Layer Deposition System

Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material- und Küstenforschung

System zur Atomlagenabscheidung (ALD) für thermisches ALD auf planaren und porösen und Pulver- Substraten sowie plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (PEALD) auf planaren Substraten

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-04-23. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-03-14.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Picosun Oy

Wer?

• Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material- und Küstenforschung

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Schleswig-Holstein › Herzogtum Lauenburg

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2018-03-14	Auftragsbekanntmachung
2018-08-08	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2018-03-14)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: 10086249
Kurze Beschreibung:

System zur Atomlagenabscheidung (ALD) für thermisches ALD auf planaren und porösen und Pulver- Substraten sowie plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (PEALD) auf planaren Substraten

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Herzogtum Lauenburg 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material- und Küstenforschung
Postanschrift: Max-Planck-Straße 1
Postleitzahl: 21502
Postort: Geesthacht
Kontakt
Internetadresse: http://www.hzg.de 🌏
E-Mail: einkauf@hzg.de 📧
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/notice/CXP9YCQDD4C 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/notice/CXP9YCQDD4C 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-03-14 📅
Einreichungsfrist: 2018-04-23 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-03-16 📅
Datum des Endes: 2018-12-01 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 053-116888
ABl. S-Ausgabe: 53
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP9YCQDD4C

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

System zur Atomlagenabscheidung (ALD) für thermisches ALD auf planaren und porösen und Pulver- Substraten sowie plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (PEALD) auf planaren Substraten. Bestehend aus folgenden Komponenten:

— Vakuumkammer mit wechselbaren inneren Reaktionskammern aus Edelstahl,

— Flüssige und gasförmige Precursor-Systeme,

— Gerätekühlung,

— Vakuumsystem,

— Auslegung für Systemerweiterungen,

— Plasmasystem,

— Glovebox,

— Ozongenerator/Ozonquelle,

— In-situ Ellipsometer,

— Residual Gas Analysis (RGA),

— Scrubber für die Abgase des ALD,

— Schallschutz für Vakuumpumpen,

— Installation,

— Acceptance-Tests (Abnahmeprüfung).

Nähere Details siehe Leistungsbeschreibung.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material- und Küstenforschung

Max-Planck-Straße 1

21502 Geesthacht

Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 13:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2018-05-25 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2018-04-23 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 13:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungseinrichtung
Kontakt
Internetadresse: www.hzg.de 🌏
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/notice/CXP9YCQDD4C 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
Fax: +49 2289499-163 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Die Auftraggeberin weist ausdrücklich auf die Rügeobliegenheiten der Unternehmen/Bewerber/Bieter sowie auf die Präklusionsregelungen gemäß § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1-4 GWB hinsichtlich der Behauptung von Verstößen gegen die Bestimmungen über das Vergabeverfahren hin. § 107 Abs. 3 Satz 1 GWB lautet: Der Antrag (auf Nachprüfung) ist unzulässig, soweit der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Wie: Körper überprüfen
Quelle: OJS 2018/S 053-116888 (2018-03-14)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-08-08)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

System zur Atomlagenabscheidung (ALD) für thermisches ALD auf planaren und porösen und Pulver- Substraten sowie plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (PEALD) auf planaren Substraten.

Gesamtwert des Auftrags: 790 600 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-08-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-08-09 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 152-348820
Verweist auf Bekanntmachung: 2018/S 053-116888
ABl. S-Ausgabe: 152
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP9YCQDMYP

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung: Nähere Details siehe Leistungsbeschreibung
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material- und Küstenforschung Max-Planck-Straße 1 21502 Geesthacht

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Hardware
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40 %
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Qualität der technischen Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20 %
Preis (Gewichtung): 40 %

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-07-02 📅
Name: Picosun Oy
Postanschrift: Tietotie 3
Postort: Espoo
Postleitzahl: 02150
Land: Finnland 🇫🇮
Helsinki-Uusimaa 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 790 600 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Die Auftraggeberin weist ausdrücklich auf die Rügeobliegenheiten der Unternehmen/Bewerber/Bieter sowie auf die Präklusionsregelungen gemäß § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1-4 GWB hinsichtlich der Behauptung von Verstößen gegen die Bestimmungen über das Vergabeverfahren hin. § 107 Abs. 3 Satz 1 GWB lautet: „Der Antrag (auf Nachprüfung) ist unzulässig, soweit der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat“.

Quelle: OJS 2018/S 152-348820 (2018-08-08)

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