Zur Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im MEMS Bereich soll eine Epitaxie Anlage beschafft werden. Die Anlage wird benötigt für die Abscheidung von Schichten für eine erweiterte poly-Si MEMS/NEMS Technologie-Plattform.
Haupteinsatzgebiet der Anlage wird die Abscheidung von mikro mechanischen Funktions schichten (dicker Polysilizium Schichten („EpiPoly“)) auf unterschiedlich vorprozessierten 200 mm Wafern sein.
Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-10-15.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-09-13.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Epitaxi-Anlage
E_039_222384 cl-wit FMD
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung:
“Zur Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im MEMS Bereich soll eine Epitaxie Anlage beschafft werden. Die Anlage wird benötigt für die Abscheidung von...”
Kurze Beschreibung
Zur Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im MEMS Bereich soll eine Epitaxie Anlage beschafft werden. Die Anlage wird benötigt für die Abscheidung von Schichten für eine erweiterte poly-Si MEMS/NEMS Technologie-Plattform.
Haupteinsatzgebiet der Anlage wird die Abscheidung von mikro mechanischen Funktions schichten (dicker Polysilizium Schichten („EpiPoly“)) auf unterschiedlich vorprozessierten 200 mm Wafern sein.
Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:
1️⃣
Ort der Leistung: Schleswig-Holstein🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 25524 Itzehoe
Beschreibung der Beschaffung:
“Fortsetzung II.1.4) Kurze Beschreibung:
Die Anlage soll über mindestens eine Prozesskammer, geeignet für 200 mm Wafer, verfügen. Die Prozesskammer soll...”
Beschreibung der Beschaffung
Fortsetzung II.1.4) Kurze Beschreibung:
Die Anlage soll über mindestens eine Prozesskammer, geeignet für 200 mm Wafer, verfügen. Die Prozesskammer soll sowohl für AP („atmospheric pressure“) als auch RP („reduced pressure“) geeignet sein. Ein Wechsel von AP zu RP Prozessen und anders herum soll ohne technische Umbauten möglich sein.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 6
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Firmenprofil und Angabe von Mitarbeiterzahlen;
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;
(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
(1) Firmenprofil und Angabe von Mitarbeiterzahlen;
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;
(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (s. Anlage);
(4) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Anlagen, nicht älter als 3 Jahre. Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
(1) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Anlagen, nicht älter als 3 Jahre. Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber.
Mehr anzeigen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2018-10-15
23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2018-11-23 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2018-10-16
12:00 📅
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: http://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2018/S 178-402751 (2018-09-13)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-10-17) Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Zur Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im MEMS Bereich soll eine Epitaxie Anlage beschafft werden. Die Anlage wird benötigt für die Abscheidung von...”
Kurze Beschreibung
Zur Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im MEMS Bereich soll eine Epitaxie Anlage beschafft werden. Die Anlage wird benötigt für die Abscheidung von Schichten für eine erweiterte poly-Si MEMS/NEMS Technologie-Plattform.
Haupteinsatzgebiet der Anlage wird die Abscheidung von mikromechanischen Funktionsschichten (dicker Polysilizium Schichten („EpiPoly“)) auf unterschiedlich vorprozessierten 200 mm Wafern sein.
Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:
Mehr anzeigen Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Fortsetzung II.1.4) Kurze Beschreibung:
Die Anlage soll über mindestens eine Prozesskammer, geeignet für 200mm Wafer, verfügen. Die Prozesskammer soll...”
Beschreibung der Beschaffung
Fortsetzung II.1.4) Kurze Beschreibung:
Die Anlage soll über mindestens eine Prozesskammer, geeignet für 200mm Wafer, verfügen. Die Prozesskammer soll sowohl für AP („atmospheric pressure“) als auch RP („reduced pressure“) geeignet sein. Ein Wechsel von AP zu RP Prozessen und anders herum soll ohne technische Umbauten möglich sein.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausstattung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Footprint
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Preis (Gewichtung): 40
Beschreibung
Zusätzliche Informationen:
“Das Verfahren wird gemäß § 63 (1) 1. VGV aufgehoben, da kein Angebot eingegangen ist, das den Bedingungen entspricht.”
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2018/S 178-402751
Auftragsvergabe
1️⃣
Titel: Epitaxi-Anlage
Informationen über nicht gewährte Zuschüsse
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder alle wurden abgelehnt
Ergänzende Informationen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Quelle: OJS 2018/S 201-456458 (2018-10-17)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-03-13)
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: ASM Epsilon 2000 Plus Single Wafer Epitaxial Reactor
E_039_222780 cl FMD
Kurze Beschreibung: ASM Epsilon 2000 Plus Single Wafer Epitaxial Reactor.
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Beschreibung
Ort der Leistung: Schleswig-Holstein🏙️
Beschreibung der Beschaffung: ASM Epsilon 2000 Plus Single Wafer Epitaxial Reactor.
Vergabekriterien
Preis
Verfahren Art des Verfahrens
Keine Angebote oder keine geeigneten Angebote/Aufforderungen zur Teilnahme an einem offenen Verfahren
Vergabe eines Auftrags ohne vorherige Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (Erläuterung): Auftrag nach Aufhebung eines Offenen Verfahrens an den einzigen Bieter
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-02-15 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: ASM Europe B. V.
Postanschrift: Versterkerstraat 8
Postort: AP Almere
Postleitzahl: 1322
Land: Niederlande 🇳🇱
Region: Nederland 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
Ergänzende Informationen Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postort: Bonn
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2019/S 054-124313 (2019-03-13)