Anbieter: ASM Europe B. V.
2 archivierte Beschaffungen
ASM Europe B. V. war in der Vergangenheit ein Lieferant von laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser), industrielle Maschinen und maschinen für allgemeine und besondere Zwecke.
Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter ASM Europe B. V. erwähnt wird
2018-09-13
Epitaxi-Anlage (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Zur Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im MEMS Bereich soll eine Epitaxie Anlage beschafft werden. Die Anlage wird benötigt für die Abscheidung von Schichten für eine erweiterte poly-Si MEMS/NEMS Technologie-Plattform. Haupteinsatzgebiet der Anlage wird die Abscheidung von mikro mechanischen Funktions schichten (dicker Polysilizium Schichten („EpiPoly“)) auf unterschiedlich vorprozessierten 200 mm Wafern sein. Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung: Ansicht der Beschaffung »
Zur Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im MEMS Bereich soll eine Epitaxie Anlage beschafft werden. Die Anlage wird benötigt für die Abscheidung von Schichten für eine erweiterte poly-Si MEMS/NEMS Technologie-Plattform. Haupteinsatzgebiet der Anlage wird die Abscheidung von mikro mechanischen Funktions schichten (dicker Polysilizium Schichten („EpiPoly“)) auf unterschiedlich vorprozessierten 200 mm Wafern sein. Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung: Ansicht der Beschaffung »
2017-05-24
Single-wafer handling platform to support Single-wafer ALD (Atomic Layer Deposition) Process Modules (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Clustertool mit 2 ALD Reaktoren für HfO2/Al2O3 und SiO2/Si3N4 und Handlingsystem für 200 mm Wafer. Ansicht der Beschaffung »
Clustertool mit 2 ALD Reaktoren für HfO2/Al2O3 und SiO2/Si3N4 und Handlingsystem für 200 mm Wafer. Ansicht der Beschaffung »