Epitaxi-Anlage

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Zur Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im MEMS Bereich soll eine Epitaxie Anlage beschafft werden. Die Anlage wird benötigt für die Abscheidung von Schichten für eine erweiterte poly-Si MEMS/NEMS Technologie-Plattform.
Haupteinsatzgebiet der Anlage wird die Abscheidung von mikro mechanischen Funktions schichten (dicker Polysilizium Schichten („EpiPoly“)) auf unterschiedlich vorprozessierten 200 mm Wafern sein.
Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-10-15. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-09-13.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• ASM Europe B. V.

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Deutschland › Schleswig-Holstein
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2018-09-13	Auftragsbekanntmachung
2018-10-17	Bekanntmachung über vergebene Aufträge
2019-03-13	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2018-09-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_039_222384 cl-wit FMD
Kurze Beschreibung:

Zur Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im MEMS Bereich soll eine Epitaxie Anlage beschafft werden. Die Anlage wird benötigt für die Abscheidung von Schichten für eine erweiterte poly-Si MEMS/NEMS Technologie-Plattform. Haupteinsatzgebiet der Anlage wird die Abscheidung von mikro mechanischen Funktions schichten (dicker Polysilizium Schichten („EpiPoly“)) auf unterschiedlich vorprozessierten 200 mm Wafern sein. Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Schleswig-Holstein 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-09-13 📅
Einreichungsfrist: 2018-10-15 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-09-15 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 178-402751
ABl. S-Ausgabe: 178
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Haupteinsatzgebiet der Anlage wird die Abscheidung von mikro mechanischen Funktions schichten (dicker Polysilizium Schichten („EpiPoly“)) auf unterschiedlich vorprozessierten 200 mm Wafern sein.

Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:

Fortsetzung II.1.4) Kurze Beschreibung:

Die Anlage soll über mindestens eine Prozesskammer, geeignet für 200 mm Wafer, verfügen. Die Prozesskammer soll sowohl für AP („atmospheric pressure“) als auch RP („reduced pressure“) geeignet sein. Ein Wechsel von AP zu RP Prozessen und anders herum soll ohne technische Umbauten möglich sein.

Dauer: 6 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 25524 Itzehoe

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

(1) Firmenprofil und Angabe von Mitarbeiterzahlen;

(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;

(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (s. Anlage);

(4) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).

Technische und berufliche Fähigkeiten:

(1) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Anlagen, nicht älter als 3 Jahre. Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber.

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2018-11-23 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2018-10-16 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2018/S 178-402751 (2018-09-13)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-10-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Zur Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im MEMS Bereich soll eine Epitaxie Anlage beschafft werden. Die Anlage wird benötigt für die Abscheidung von Schichten für eine erweiterte poly-Si MEMS/NEMS Technologie-Plattform. Haupteinsatzgebiet der Anlage wird die Abscheidung von mikromechanischen Funktionsschichten (dicker Polysilizium Schichten („EpiPoly“)) auf unterschiedlich vorprozessierten 200 mm Wafern sein. Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:

Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-10-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-10-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 201-456458
Verweist auf Bekanntmachung: 2018/S 178-402751
ABl. S-Ausgabe: 201
Zusätzliche Informationen

Das Verfahren wird gemäß § 63 (1) 1. VGV aufgehoben, da kein Angebot eingegangen ist, das den Bedingungen entspricht.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Haupteinsatzgebiet der Anlage wird die Abscheidung von mikromechanischen Funktionsschichten (dicker Polysilizium Schichten („EpiPoly“)) auf unterschiedlich vorprozessierten 200 mm Wafern sein.

Die Anlage soll über mindestens eine Prozesskammer, geeignet für 200mm Wafer, verfügen. Die Prozesskammer soll sowohl für AP („atmospheric pressure“) als auch RP („reduced pressure“) geeignet sein. Ein Wechsel von AP zu RP Prozessen und anders herum soll ohne technische Umbauten möglich sein.

Zusätzliche Informationen:

Das Verfahren wird gemäß § 63 (1) 1. VGV aufgehoben, da kein Angebot eingegangen ist, das den Bedingungen entspricht.

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausstattung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Footprint
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Preis (Gewichtung): 40

Ergänzende Informationen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Quelle: OJS 2018/S 201-456458 (2018-10-17)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-03-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: E_039_222780 cl FMD
Kurze Beschreibung: ASM Epsilon 2000 Plus Single Wafer Epitaxial Reactor.
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Ort der Leistung
NUTS-Region: Schleswig-Holstein 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-03-13 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-03-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 054-124313
ABl. S-Ausgabe: 54

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-02-15 📅
Name: ASM Europe B. V.
Postanschrift: Versterkerstraat 8
Postort: AP Almere
Postleitzahl: 1322
Land: Niederlande 🇳🇱
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Ergänzende Informationen
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postort: Bonn
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2019/S 054-124313 (2019-03-13)

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