Beschreibung der Beschaffung
Zu 1-3: Untersuchungsgegenstände sind Nanopartikel und (hybride) Nanostrukturen, die eine vielfältige Materialpalette abdecken und auf verschiedensten Substraten aufliegen. Die Größen reichen von wenigen bis hin zu mehreren 100 Nanometern in ein-, zwei- oder dreidimensionaler Anordnung. Wegen der Vielzahl der verwendeten Materialien muss ein weiter Bereich von Beschleunigungsspannungen (100 V bis 30 kV) abgedeckt werden sowie verschiedene Detektoren vorhanden sein, um die Probenschädigung möglichst gering zu halten, und verschiedene Kontrastverfahren nutzen zu können. Weiterhin ist eine möglichst hohe Auflösung wichtig, da viele der untersuchten Strukturen sehr klein sind, bzw. es auf möglichst detailgetreue Abbildung ankommt. Hieraus ergibt sich die Spezifikation einer lateralen Auflösung von besser als 1 nm im Spannungsbereich 1 kV bis 30 kV und mindestens 1.5 nm im unteren Spannungsbereich.
Verschiedene Detektoren (Sekundärelektronendetektoren, Rückstreudetektoren (BE)) müssen im Vakuum und im Niedrigvakuumbetrieb (VP-Modus) und bei variabler Spannung gleichzeitig auslesbar und auf dem Monitor darstellbar sein. Im VP-Modus ist eine laterale Auflösung von 2 nm im Spannungsbereich von 5 kV bis 30 kV nachzuweisen. Zur Untersuchung von Proben aus stark magnetischen Nanopartikeln muss die Auflösung auch ohne Vorhandensein eines Magnetfeldes im Bereich der Probe erreicht werden.
4: Das Gerät soll mit einer thermisch-gestützten Feldemissionskathode ausgerüstet sein, um sowohl die hohe laterale Auflösung als auch hohe Strahlstabilität (besser 0.3 % über eine Stunde) für Langzeitmessungen (z.B. Kartierungen der Elementzusammensetzung und Kristallorientierung) zu gewährleisten. Der Strahlstrombereich soll zwischen 5pA und 10 nA in mindestens 10 logarithmischen Stufen oder kontinuierlich einstellbar sein.
5: Der Probenhalter muss um mindestens 60 kippbar und auch im gekippten Zustand über den Vollkreis drehbar sein.
6: Der schnelle Probenwechsel (< 3 min) ermöglicht hohen Durchsatz, da es sich um eine Nutzereinrichtung mit bis zu 30 Probenwechseln am Tag handelt. Er sollte durch eine Schleuse für Proben bis zu 50 mm Durchmesser realisiert werden, um Kontamination durch häufige Belüftung zu unterbinden.
7,8: Röntgenanalyse (EDX) und Elektronenrückstreuanalyse (EBSD) mit Drift-Korrektur und Software zur voll automatisierten Datenerfassung und Analyse werden benötigt für die Bestimmung der Elementzusammensetzung, Bestimmung der Struktur-Eigenschaftsbeziehungen von Nanopartikel-Überstrukturen, und Bestimmung der Kristallorientierung der Bestandteile der Nanostrukturen. Beide Funktionen müssen auch im Niedervakuumbetrieb nutzbar sein.
9: Ein VP-Modus mit Drücken bis hinauf zu 150 Pa wird benötigt, um EDX und EBSD Messungen sowie automatisierte Kartierungen an nichtleitenden Proben vorzunehmen. Alle Kontrastverfahren müssen im VP-Modus nutzbar sein.
10: Die schnelle Strahlaustastung (elektrostatischer beam blanker) dient dazu mit Hilfe einer später nachzurüstenden Lithographie-Einheit nichtleitende Proben in der Niedrigvakuum-Funktion ohne zusätzliche Beschichtung strukturieren zu können.
11: Das Gerät wird von vielen, häufig wechselnden Nutzern bedient. Deswegen ist eine zuverlässige Bedienoberfläche notwendig. Die Bildauflösung muss mindestens 16000 x 16000 Pixel betragen. Die große Menge anfallender Daten muss an die Speicherorte der Nutzer übertragen werden zur langfristigen Speicherung. Zur Einbindung in das Netzwerk der Universität können nur Betriebssysteme ab Windows 10 verwendet werden.
12: Wegen der zu erwartenden hohen Auslastung muss das Gerät regelmäßig gewartet werden, um längerfristigen Ausfall zu vermeiden. Aufgrund der zentralen Bedeutung des Geräts für viele Forschungsprojekte muss ein kurzfristig zur Verfügung stehender, zuverlässiger Service gewährleistet sein und die Modalitäten dafür (Kosten, Vorlaufzeit) sollen im Angebot vermerkt sein. Ein Wartungsvertrag selbst ist NICHT Gegenstand dieser Ausschreibung.