Maskenloses Lithographiegerät
Der Auftrag umfasst die Lieferung und Installation eines Laser basierten Direktschreib-Lithografiesystems im Reinraum der NaMLab gGmbH in der ersten Etage eines Büro- und Laborgebäude in 01187 Dresden, Nöthnitzer Str. 64. Das Gerät soll als eigenständiges und integriertes System für die maskenlose Belichtung von Fotolacken auf Halbleitersubstraten und Quarz-Masken bis 6 x 6 Zoll2 Größe verwendet werden.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-09-20.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-08-08.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2018-08-08
|
Auftragsbekanntmachung
|
| 2018-11-27
|
Bekanntmachung über vergebene Aufträge
|