115 – Ätzanlagen Chlorchemie + Fluorchemie
RWTH Aachen University
Ätzanlagen Chlorchemie CDPP_RIE + Fluorchemie CDPP_ICP_RIE.
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2019-05-24. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-04-15.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie?- • Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme › Mikroelektronische Maschinen und Geräte
- • Steuerungs- und Fernsteuerungsgeräte für Industrieprozesse › Industrieprozesssteuerungsgeräte
- • Öfen und Zubehör › Vakuumöfen
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2019-04-15 | Auftragsbekanntmachung |
| 2019-07-01 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2019-04-15)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Referenznummer: 10012648
Kurze Beschreibung: Ätzanlagen Chlorchemie CDPP_RIE + Fluorchemie CDPP_ICP_RIE.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Industrieprozesssteuerungsgeräte 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Städteregion Aachen 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: RWTH Aachen University
Postanschrift: Wüllnerstr. 5
Postleitzahl: 52062
Postort: Aachen
Kontakt
Internetadresse: http://www.rwth-aachen.de 🌏
E-Mail: beschaffung@zhv.rwth-aachen.de 📧
Telefon: +49 2418094200 📞
Fax: +49 2418092251 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYE2/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYE2 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-04-15 📅
Einreichungsfrist: 2019-05-24 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-04-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 077-182673
ABl. S-Ausgabe: 77
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXS0YD8YYE2
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Dauer: 5 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 52074 Aachen
Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-07-05 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-05-27 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Abt. 7.3 Einkauf & Zollangelegenheiten
Dokumente URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYE2/documents 🌏
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland
Postanschrift: Zeughaustr. 2-10
Postort: Köln
Postleitzahl: 50606
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 221-1473116 📞
E-Mail: vergabekammer@bez.reg-koeln.nrw.de 📧
Fax: +49 221-1472889 📠
Internetadresse: http://www.bezreg-koeln.nrw.de/brk_internet/vergabekammer 🌏
Quelle: OJS 2019/S 077-182673 (2019-04-15)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Referenznummer: 10012648
Kurze Beschreibung: Ätzanlagen Chlorchemie CDPP_RIE + Fluorchemie CDPP_ICP_RIE.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Industrieprozesssteuerungsgeräte 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Städteregion Aachen 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: RWTH Aachen University
Postanschrift: Wüllnerstr. 5
Postleitzahl: 52062
Postort: Aachen
Kontakt
Internetadresse: http://www.rwth-aachen.de 🌏
E-Mail: beschaffung@zhv.rwth-aachen.de 📧
Telefon: +49 2418094200 📞
Fax: +49 2418092251 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYE2/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYE2 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-04-15 📅
Einreichungsfrist: 2019-05-24 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-04-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 077-182673
ABl. S-Ausgabe: 77
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXS0YD8YYE2
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Bei der zu beschaffenden Anlage „CDPP_RIE/ICP-RIE“ handelt es sich um eine Trockenätzanlage, die aus 2 Modulen (mit separaten Prozesskammern) besteht. Einem RIE-Modul (Reactive Ion Etching - RIE) mit einer Parallel-Platten Plasmakonfiguration und einem ICP-RIE-Modul (Inductively Coupled Plasma – ICP) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaanregung. Das RIE-Modul wird sowohl mit einer Chlor, als auch einer Brom basierten Ätzchemie betrieben. Primäre Anwendung wird die Strukturierung von Metallisierungsebenen im Back-End-of-Line und die Strukturierung von Silizium-Wellenleitern in Silizium-PIC Technologie sein. Das ICP-RIE-Modul wird mit einer Fluor basierten Ätzchemie betrieben. Primäre Anwendung wird die Strukturierung von Dielektrika (SiO2 und SiN) im Back-End-of-Line, die Strukturierung von Silizium-Wellenleitern und die Herstellung tiefer Topografien (> 25 Müm Tiefe) im Silizium Substrat in Silizium-PIC Technologie sein.
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Die Module sind „Through-The-Wall“ installiert, d. h., die Be-/Entladung erfolgt jeweils über eine separate Vakuumkammer, die vom ISO5-Reinraum des CDPP zugänglich ist, während die Hauptkonsole, die u. a. die Prozesskammer beinhaltet, im ISO7-Reinraum des CDPP installiert ist. Der Transfer zwischen diesen Kammern erfolgt automatisch.
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Ein besonderes Bewertungskriterium ist die zukünftige Erweiterbarkeit und die optionale Ausstattung der Anlage.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 52074 Aachen
Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-07-05 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-05-27 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Abt. 7.3 Einkauf & Zollangelegenheiten
Dokumente URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYE2/documents 🌏
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland
Postanschrift: Zeughaustr. 2-10
Postort: Köln
Postleitzahl: 50606
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 221-1473116 📞
E-Mail: vergabekammer@bez.reg-koeln.nrw.de 📧
Fax: +49 221-1472889 📠
Internetadresse: http://www.bezreg-koeln.nrw.de/brk_internet/vergabekammer 🌏
Quelle: OJS 2019/S 077-182673 (2019-04-15)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-07-01)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung: Atzanlagen Chlorchemie CDPP_RIE +Fluorchemie CDPP_ICP_RIE.
Gesamtwert des Auftrags: 510 924 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-07-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-07-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 125-305457
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 077-182673
ABl. S-Ausgabe: 125
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXS0YD8YY9X
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Mehrere Kriterien
Qualitätskriterium (Gewichtung): 100
Preis (Gewichtung): 100.00
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-07-01 📅
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Borsigstr., 15a
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
Wiesbaden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 510924.37 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2019/S 125-305457 (2019-07-01)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung: Atzanlagen Chlorchemie CDPP_RIE +Fluorchemie CDPP_ICP_RIE.
Gesamtwert des Auftrags: 510 924 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-07-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-07-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 125-305457
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 077-182673
ABl. S-Ausgabe: 125
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXS0YD8YY9X
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Bei der zu beschaffenden Anlage „CDPP_RIE/ICP-RIE“ handelt es sich um eine Trockenätzanlage, die aus 2 Modulen (mit separaten Prozesskammern) besteht. Einem RIE-Modul (Reactive Ion Etching – RIE) mit einer Parallel-Platten Plasmakonfiguration und einem ICP-RIE-Modul (Inductively Coupled Plasma – ICP) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaanregung. Das RIE-Modul wird sowohl mit einer Chlor, als auch einer Brom basierten Ätzchemie betrieben. Primäre Anwendung wird die Strukturierung von Metallisierungsebenen im Back-End-of-Line und die Strukturierung von Silizium-Wellenleitern in Silizium-PIC Technologie sein. Das ICP-RIE-Modul wird mit einer Fluor basierten Ätzchemie betrieben. Primäre Anwendung wird die Strukturierung von Dielektrika (SiO2 und SiN) im Back-End-of-Line, die Strukturierung von Silizium-Wellenleitern und die Herstellung tiefer Topografien (> 25Müm Tiefe) im Silizium Substrat in Silizium-PIC Technologie sein.
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Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Mehrere Kriterien
Qualitätskriterium (Gewichtung): 100
Preis (Gewichtung): 100.00
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-07-01 📅
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Borsigstr., 15a
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
Wiesbaden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 510924.37 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2019/S 125-305457 (2019-07-01)
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