Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Clusterfähige PEALD/ICPECVD
31-19 NW
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung:
“Clusterfähige Anlagenkombination aus einer ICPECVD und einer PEALD
Siehe Leistungsbeschreibung.”
Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 546 000 💰
1️⃣
Ort der Leistung: Duisburg, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Universität Duisburg-Essen
Lotharstraße 55
47057 Duisburg
Beschreibung der Beschaffung:
“Clusterfähige Anlagenkombination aus einer ICPECVD (inductively-coupled-plasma-enhanced-chemical-vapour-deposition) und einer PEALD...”
Beschreibung der Beschaffung
Clusterfähige Anlagenkombination aus einer ICPECVD (inductively-coupled-plasma-enhanced-chemical-vapour-deposition) und einer PEALD (plasma-enhanced-atomic-layer-deposition) mit zusätzlicher Möglichkeit der thermischen Prozessführung zur Abscheidung von SiO2 und SiNx-Schichten im CVD-Prozess und zur Abscheidung Al2O3, AlNx, TiO2 und TiNx-Schichten im ALD-Prozess
Siehe Leistungsbeschreibung.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems Beschreibung
Dauer: 1
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Technische und berufliche Fähigkeiten
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Die Ausschreibung erfolgt unter dem Vorbehalt der Finanzierungsmöglichkeit.
Maximaler Gesamtbetrag für die Anlagenkombination beträgt 650 000,00 EUR inkl....”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Die Ausschreibung erfolgt unter dem Vorbehalt der Finanzierungsmöglichkeit.
Maximaler Gesamtbetrag für die Anlagenkombination beträgt 650 000,00 EUR inkl. MwSt.
Grundsätzlich gelten die Vertragsbedingungen des Landes NRW. In begründeten Ausnahmefällen werden Vorauszahlungen vor Lieferung akzeptiert, wenn eine selbstschuldnerische, unbefristet gültige Bankbürgschaft in Höhe des gesamten Vorauszahlungsbetrages vorgelegt wird. Die zusätzlich anfallenden Gebühren für die Bankbürgschaft müssen vom Bieter selbst getragen und dürfen nicht in Rechnung gestellt werden.
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-09-05
12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2019-10-14 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2019-09-05
12:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort):
“Es handelt sich um eine nichtöffentliche Öffnung. Eine Ortsangabe unterbleibt aus diesem Grund.”
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren):
“Die Angebotsöffnung ist nichtöffentlich.
Es sind lediglich Vertreter der Vergabestelle befugt, der elektronischen Angebotsöffnung beizuwohnen.”
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Zusätzliche Informationen
“Es gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mitveröffentlicht in diesem Projektforum...”
Es gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mitveröffentlicht in diesem Projektforum unter den Vergabeunterlagen. Der Versuch der Einbeziehung eigener AGB in den Vertrag führt zum Ausschluss vom Verfahren.
Bekanntmachungs-ID: CXPNY5MYWQT
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland, c/o Bezirksregierung Köln
Postanschrift: Zeughausstraße 2-10
Postort: Köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vkrhld-k@bezreg-koeln.nrw.de📧
Fax: +49 221-1472889 📠 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.
Ein Antrag auf Nachprüfung ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen.
Ein Antrag zur Geltendmachung der Unwirksamkeit des vergebenen Auftrages ist innerhalb von 30 Kalendertagen bei der in nach VI.4.1) genannten Stelle einzulegen, gerechnet vom Tage nach Veröffentlichung dieser Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union.
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Quelle: OJS 2019/S 155-381887 (2019-08-09)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-10-04) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Clusterfähige PEALD/ ICPECVD
31-19 NW
Kurze Beschreibung:
“Clusterfähige Anlagenkombination aus einer ICPECVD und einer PEALD.
Siehe Leistungsbeschreibung.”
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 546175.64 💰
Beschreibung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Universität Duisburg-Essen
Lotharstraße 55
47057 Duisburg.
Beschreibung der Beschaffung:
“Clusterfähige Anlagenkombination aus einer ICPECVD (inductively-coupled-plasma-enhanced-chemical-vapour-deposition) und einer PEALD...”
Beschreibung der Beschaffung
Clusterfähige Anlagenkombination aus einer ICPECVD (inductively-coupled-plasma-enhanced-chemical-vapour-deposition) und einer PEALD (plasma-enhanced-atomic-layer-deposition) mit zusätzlicher Möglichkeit der thermischen Prozessführung zur Abscheidung von SiO und SiNx-Schichten im CVD-Prozess und zur Abscheidung AlO, AlNx, TiO und TiNx-Schichten im ALD-Prozess.
Siehe Leistungsbeschreibung.
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2019/S 155-381887
Auftragsvergabe
1️⃣
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-09-30 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: SENTECH GmbH
Postanschrift: Konrad-ZUse-Bogen 13
Postort: Krailling
Postleitzahl: 82152
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Starnberg🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Geschätzter Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 546 000 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 546175.64 💰
“Es gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mitveröffentlicht in diesem Projektforum...”
Es gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mitveröffentlicht in diesem Projektforum unter den Vergabeunterlagen. Der Versuch der Einbeziehung eigener AGB in den Vertrag führt zum Ausschluss vom Verfahren.
Bekanntmachungs-ID: CXPNY5MY1WF
Mehr anzeigen Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.
Ein Antrag auf Nachprüfung ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen.
Ein Antrag zur Geltendmachung der Unwirksamkeit des vergebenen Auftrages ist innerhalb von 30 Kalendertagen bei der in nach VI.4.1) genannten Stelle einzulegen, gerechnet vom Tage nach
Veröffentlichung dieser Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union.
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Quelle: OJS 2019/S 193-468492 (2019-10-04)