Clusterfähige PEALD/ICPECVD

Universität Duisburg-Essen

Clusterfähige Anlagenkombination aus einer ICPECVD und einer PEALD
Siehe Leistungsbeschreibung.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-09-05. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-08-09.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Sentech GmbH

Wer?

• Universität Duisburg-Essen

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Düsseldorf › Duisburg, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2019-08-09	Auftragsbekanntmachung
2019-10-04	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2019-08-09)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: 31-19 NW
Kurze Beschreibung:

Clusterfähige Anlagenkombination aus einer ICPECVD und einer PEALD Siehe Leistungsbeschreibung.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Duisburg, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität Duisburg-Essen
Postanschrift: Forsthausweg 2, Gebäude LG
Postleitzahl: 47057
Postort: Duisburg
Kontakt
Internetadresse: http://www.uni-due.de 🌏
E-Mail: einkauf@uni-due.de 📧
URL der Dokumente: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5MYWQT/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5MYWQT 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-08-09 📅
Einreichungsfrist: 2019-09-05 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-08-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 155-381887
ABl. S-Ausgabe: 155
Zusätzliche Informationen

Die Angebotsöffnung ist nichtöffentlich. Es sind lediglich Vertreter der Vergabestelle befugt, der elektronischen Angebotsöffnung beizuwohnen.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Clusterfähige Anlagenkombination aus einer ICPECVD und einer PEALD

Siehe Leistungsbeschreibung.

Geschätzter Gesamtwert: 546 000 EUR 💰
Kurze Beschreibung:

Clusterfähige Anlagenkombination aus einer ICPECVD (inductively-coupled-plasma-enhanced-chemical-vapour-deposition) und einer PEALD (plasma-enhanced-atomic-layer-deposition) mit zusätzlicher Möglichkeit der thermischen Prozessführung zur Abscheidung von SiO2 und SiNx-Schichten im CVD-Prozess und zur Abscheidung Al2O3, AlNx, TiO2 und TiNx-Schichten im ALD-Prozess

Dauer: 1 Tage
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Universität Duisburg-Essen

Lotharstraße 55

47057 Duisburg

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Die Ausschreibung erfolgt unter dem Vorbehalt der Finanzierungsmöglichkeit.

Maximaler Gesamtbetrag für die Anlagenkombination beträgt 650 000,00 EUR inkl. MwSt.

Grundsätzlich gelten die Vertragsbedingungen des Landes NRW. In begründeten Ausnahmefällen werden Vorauszahlungen vor Lieferung akzeptiert, wenn eine selbstschuldnerische, unbefristet gültige Bankbürgschaft in Höhe des gesamten Vorauszahlungsbetrages vorgelegt wird. Die zusätzlich anfallenden Gebühren für die Bankbürgschaft müssen vom Bieter selbst getragen und dürfen nicht in Rechnung gestellt werden.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-10-14 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-09-05 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Es handelt sich um eine nichtöffentliche Öffnung. Eine Ortsangabe unterbleibt aus diesem Grund.
Zusätzliche Informationen:

Die Angebotsöffnung ist nichtöffentlich.

Es sind lediglich Vertreter der Vergabestelle befugt, der elektronischen Angebotsöffnung beizuwohnen.

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Einkauf
Internetadresse: www.uni-due.de 🌏
Dokumente URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5MYWQT/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Es gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mitveröffentlicht in diesem Projektforum unter den Vergabeunterlagen. Der Versuch der Einbeziehung eigener AGB in den Vertrag führt zum Ausschluss vom Verfahren.

Bekanntmachungs-ID: CXPNY5MYWQT

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland, c/o Bezirksregierung Köln
Postanschrift: Zeughausstraße 2-10
Postort: Köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vkrhld-k@bezreg-koeln.nrw.de 📧
Fax: +49 221-1472889 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.

Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.

Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.

Ein Antrag auf Nachprüfung ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen.

Ein Antrag zur Geltendmachung der Unwirksamkeit des vergebenen Auftrages ist innerhalb von 30 Kalendertagen bei der in nach VI.4.1) genannten Stelle einzulegen, gerechnet vom Tage nach Veröffentlichung dieser Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union.

Quelle: OJS 2019/S 155-381887 (2019-08-09)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-10-04)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Clusterfähige Anlagenkombination aus einer ICPECVD und einer PEALD. Siehe Leistungsbeschreibung.

Gesamtwert des Auftrags: 546175.64 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-10-04 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-10-07 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 193-468492
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 155-381887
ABl. S-Ausgabe: 193
Zusätzliche Informationen

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Clusterfähige Anlagenkombination aus einer ICPECVD…

… und einer PEALD.

… (inductively-coupled-plasma-enhanced-chemical-vapour-deposition) und einer PEALD (plasma-enhanced-atomic-layer-deposition) mit zusätzlicher Möglichkeit der thermischen Prozessführung zur Abscheidung von SiO

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 47057 Duisburg.

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-09-30 📅
Name: SENTECH GmbH
Postanschrift: Konrad-ZUse-Bogen 13
Postort: Krailling
Postleitzahl: 82152
Land: Deutschland 🇩🇪
Starnberg 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 546175.64 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Referenz
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXPNY5MY1WF

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Ein Antrag zur Geltendmachung der Unwirksamkeit des vergebenen Auftrages ist innerhalb von 30 Kalendertagen bei der in nach VI.4.1) genannten Stelle einzulegen, gerechnet vom Tage nach

Veröffentlichung dieser Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union.

Quelle: OJS 2019/S 193-468492 (2019-10-04)

Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕

Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (>20 neue Beschaffungen)