1️⃣
Ort der Leistung: Stuttgart🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Ferdinand- Braun- Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik im Forschungsverbund Berlin e. V.
Gustav-Kirchhoff-Str. 4
12489 Berlin”
Beschreibung der Beschaffung:
“Ein Themenschwerpunkt der Prozesslinie ist die Prozessierung von InP in einem Transfersubstratprozess, das in dieser speziellen Form weltweit einmalig und...”
Beschreibung der Beschaffung
Ein Themenschwerpunkt der Prozesslinie ist die Prozessierung von InP in einem Transfersubstratprozess, das in dieser speziellen Form weltweit einmalig und ein Alleinstellungsmerkmal des FBH ist. Bei diesem Prozess werden die teilweise prozessierten InP-Wafer (bis zu 7 Ebenen) mit z. B. voll prozessierten BiCMOS Wafern im BCB-Klebeverfahren verbunden.
Um in diesem kritischen Prozessschritt eine hohe Ausbeute zu erzielen zu können, müssen die zuvor durchgeführten Metall-Lift-off-Schritte (bis zu 4) partikelfrei und ohne Redepositionen erfolgen, müssen Ablagerungen von Metallpartikeln auf der Waferrückseite vermieden werden und zudem muss das Eindringen von Lösemittel in darunterliegende BCB Schichten vermieden werden. Die zu liftenden Strukturen sind mit kleinster Strukturgröße und hohem Höhe-Breite Verhältnis herausfordernd. Eine Schädigung der erzeugten Metallstrukturen muss im Prozess unbedingt vermieden werden.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 5
Informationen über die Begrenzung der Zahl der einzuladenden Bewerber
Maximale Anzahl: 5
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Bietererklärung zur Eignung ab 500 EUR; Abfrage §6 KRG; Erklärung Frauenförderverordnung FFV ab 25 000 EUR Referenzen.” Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Technische und berufliche Fähigkeiten
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Informationen über die Reduzierung der Anzahl von Lösungen oder Angeboten während der Verhandlungen oder des Dialogs
Rückgriff auf ein gestaffeltes Verfahren, um die Zahl der zu erörternden Lösungen oder zu verhandelnden Angebote schrittweise zu verringern
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-08-19
12:00 📅
Voraussichtliches Datum der Versendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe oder zur Teilnahme an die ausgewählten Bewerber: 2019-08-20 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2019-11-30 📅
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Berlin
Postanschrift: Martin- Luther- Straße 105
Postort: Berlin
Postleitzahl: 10825
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3090138316📞
E-Mail: poststelle@senwtf.berlin.de📧
Fax: +49 3090137613 📠
URL: http://www.berlin.de/🌏 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, kann ein Nachprüfverfahren bei der...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, kann ein Nachprüfverfahren bei der Vergabekammer beantragt werden (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB).
Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2019/S 140-344249 (2019-07-19)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-08-28) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name: Forschungsverbund Berlin e. V. -Gemeinsame Verwaltung-
Kontaktperson: Forschungsverbund Berlin e. V. -Gemeinsame Verwaltung-
Objekt Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Ein Themenschwerpunkt der Prozesslinie ist die Prozessierung von InP in einem Transfersubstratprozess, das in dieser speziellen Form weltweit einmalig und...”
Beschreibung der Beschaffung
Ein Themenschwerpunkt der Prozesslinie ist die Prozessierung von InP in einem Transfersubstratprozess, das in dieser speziellen Form weltweit einmalig und ein Alleinstellungsmerkmal des FBH ist. Bei diesem Prozess werden die teilweise prozessierten InP-Wafer (bis zu 7 Ebenen) mit z. B. voll prozessierten BiCMOS Wafern im BCB-Klebeverfahren verbunden. Um in diesem kritischen Prozessschritt eine hohe Ausbeute zu erzielen zu können, müssen die zuvor durchgeführten Metall-Lift-off-Schritte (bis zu 4) partikelfrei und ohne Redepositionen erfolgen, müssen Ablagerungen von Metallpartikeln auf der Waferrückseite vermieden werden und zudem muss das Eindringen von Lösemittel in darunterliegende BCB Schichten vermieden werden. Die zu liftenden Strukturen sind mit kleinster Strukturgröße und hohem Höhe-Breite Verhältnis herausfordernd. Eine Schädigung der erzeugten Metallstrukturen muss im Prozess unbedingt vermieden werden.
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-11-29) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
E-Mail: becker@fv-berlin.de📧
Region: Berlin🏙️
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Lift-off-Prozessor
FBH-2019-0007
Kurze Beschreibung: Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Lift-off-Prozessors.
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Beschreibung
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung📦
Beschreibung der Beschaffung: 1 Stück.
Auftragsvergabe
Vertragsnummer: 1
Titel: Lift-off-Prozessor
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-11-29 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 2
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Obducat Europe GmbH
Postanschrift: Robert-Gerwig-Str. 9
Postort: Radolfzell
Postleitzahl: 78315
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 7732978980📞
E-Mail: sabine.lantsch@obducat.com📧
Fax: +49 77329789899 📠
Region: Bayern🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
Ergänzende Angaben (2020-01-03) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name: Forschungsverbund Berlin e.V. -Gemeinsame Verwaltung-
Kontaktperson: Forschungsverbund Berlin e.V. -Gemeinsame Verwaltung-
Ergänzende Informationen Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2019/S 233-571229
Änderungen Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: II.2.3)
Ort des zu ändernden Textes: Erfüllungsort
Alter Wert
Text: DE11
Neuer Wert
Text: DE30
Andere zusätzliche Informationen
IV.2.1) Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren: 2019/S 105-255177
Quelle: OJS 2020/S 005-006585 (2020-01-03)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-10-22) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name: Forschungsverbund Berlin e. V. — Gemeinsame Verwaltung —
Kontaktperson: Forschungsverbund Berlin e. V. — Gemeinsame Verwaltung —
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: FV 07/43-19 20020-5.6 Metall-Liftoff-Tool
FBH-2019-0017
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Beschreibung
Ort der Leistung: Berlin🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik im Forschungsverbund Berlin e. V.
Gustav-Kirchhoff-Str. 4
12489 Berlin”
Beschreibung der Beschaffung:
“Ein Themenschwerpunkt der Prozesslinie ist die Prozessierung von InP in einem Transfersubstratprozess, das in dieser speziellen Form weltweit einmalig und...”
Beschreibung der Beschaffung
Ein Themenschwerpunkt der Prozesslinie ist die Prozessierung von InP in einem Transfersubstratprozess, das in dieser speziellen Form weltweit einmalig und ein Alleinstellungsmerkmal des FBH ist. Bei diesem Prozess werden die teilweise prozessierten InP-Wafer (bis zu 7 Ebenen) mit z. B. voll prozessierten BiCMOS Wafern im BCB Klebeverfahren verbunden. Um in diesem kritischen Prozessschritt eine hohe Ausbeute zu erzielen zu können, müssen die zuvor durchgeführten Metall-Lift-off-Schritte (bis zu 4) partikelfrei und ohne Redepositionen erfolgen, müssen Ablagerungen von Metallpartikeln auf der Waferrückseite vermieden werden und zudem muss das Eindringen von Lösemittel in darunterliegende BCB Schichten vermieden werden. Die zu liftenden Strukturen sind mit kleinster Strukturgröße und hohem Höhe-Breite Verhältnis herausfordernd. Eine Schädigung der erzeugten Metallstrukturen muss im Prozess unbedingt vermieden werden.