FV 07/43-19 Metall Lift Off Prozessor | Forschungsverbund Berlin e. V. – Gemeinsame Verwaltung | Öffentliches Auftragswesen in Deutschland

Datum	Dokument
2019-07-19	Auftragsbekanntmachung
2019-08-28	Bekanntmachung über vergebene Aufträge
2019-11-29	Bekanntmachung über vergebene Aufträge
2020-01-03	Ergänzende Angaben
2020-10-22	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2019-07-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung
Referenznummer: FBH-2019-0014
Kurze Beschreibung: Metall-Lift-Off Prozessor.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Stuttgart 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsverbund Berlin e. V. – Gemeinsame Verwaltung
Postanschrift: Rudower Chaussee 17
Postleitzahl: 12489
Postort: Berlin
Kontakt
Internetadresse: http://www.fv-berlin.de 🌏
E-Mail: ameti@fv-berlin.de 📧
Fax: +49 3063923377 📠
URL der Dokumente: https://vergabekooperation.berlin/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-16c09dc90ed-4cb2502e2b0a89f4 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabekooperation.berlin/NetServer/ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-07-19 📅
Einreichungsfrist: 2019-08-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-07-23 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 140-344249
ABl. S-Ausgabe: 140

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Ein Themenschwerpunkt der Prozesslinie ist die Prozessierung von InP in einem Transfersubstratprozess, das in dieser speziellen Form weltweit einmalig und ein Alleinstellungsmerkmal des FBH ist. Bei diesem Prozess werden die teilweise prozessierten InP-Wafer (bis zu 7 Ebenen) mit z. B. voll prozessierten BiCMOS Wafern im BCB-Klebeverfahren verbunden.

Um in diesem kritischen Prozessschritt eine hohe Ausbeute zu erzielen zu können, müssen die zuvor durchgeführten Metall-Lift-off-Schritte (bis zu 4) partikelfrei und ohne Redepositionen erfolgen, müssen Ablagerungen von Metallpartikeln auf der Waferrückseite vermieden werden und zudem muss das Eindringen von Lösemittel in darunterliegende BCB Schichten vermieden werden. Die zu liftenden Strukturen sind mit kleinster Strukturgröße und hohem Höhe-Breite Verhältnis herausfordernd. Eine Schädigung der erzeugten Metallstrukturen muss im Prozess unbedingt vermieden werden.

Dauer: 5 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Ferdinand- Braun- Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik im Forschungsverbund Berlin e. V.

Gustav-Kirchhoff-Str. 4

12489 Berlin

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Bietererklärung zur Eignung ab 500 EUR; Abfrage §6 KRG; Erklärung Frauenförderverordnung FFV ab 25 000 EUR Referenzen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Höchstzahl der Bewerber: 5
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2019-08-20 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-11-30 📅

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: 0799
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: eingetragener Verein
Kontakt
Kontaktperson: Forschungsverbund Berlin e. V. – Gemeinsame Verwaltung
Dokumente URL: https://vergabekooperation.berlin/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-16c09dc90ed-4cb2502e2b0a89f4 🌏
E-Mail: vergabe@fv-berlin.de 📧
Land: Berlin 🏙️
Internetadresse: http://www.leibniz-fvb.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Berlin
Postanschrift: Martin- Luther- Straße 105
Postort: Berlin
Postleitzahl: 10825
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3090138316 📞
E-Mail: poststelle@senwtf.berlin.de 📧
Fax: +49 3090137613 📠
Internetadresse: http://www.berlin.de/ 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, kann ein Nachprüfverfahren bei der Vergabekammer beantragt werden (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB).

Quelle: OJS 2019/S 140-344249 (2019-07-19)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-08-28)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsverbund Berlin e. V. -Gemeinsame Verwaltung-

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-08-28 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-09-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 168-410590
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 140-344249
ABl. S-Ausgabe: 168

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Ein Themenschwerpunkt der Prozesslinie ist die Prozessierung von InP in einem Transfersubstratprozess, das in dieser speziellen Form weltweit einmalig und ein Alleinstellungsmerkmal des FBH ist. Bei diesem Prozess werden die teilweise prozessierten InP-Wafer (bis zu 7 Ebenen) mit z. B. voll prozessierten BiCMOS Wafern im BCB-Klebeverfahren verbunden. Um in diesem kritischen Prozessschritt eine hohe Ausbeute zu erzielen zu können, müssen die zuvor durchgeführten Metall-Lift-off-Schritte (bis zu 4) partikelfrei und ohne Redepositionen erfolgen, müssen Ablagerungen von Metallpartikeln auf der Waferrückseite vermieden werden und zudem muss das Eindringen von Lösemittel in darunterliegende BCB Schichten vermieden werden. Die zu liftenden Strukturen sind mit kleinster Strukturgröße und hohem Höhe-Breite Verhältnis herausfordernd. Eine Schädigung der erzeugten Metallstrukturen muss im Prozess unbedingt vermieden werden.

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Forschungsverbund Berlin e. V. -Gemeinsame Verwaltung-

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Postanschrift: Martin- Luther- Strasse 105
Quelle: OJS 2019/S 168-410590 (2019-08-28)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-11-29)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: FBH-2019-0007
Kurze Beschreibung: Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Lift-off-Prozessors.
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Zusätzlicher CPV-Code: Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung 📦

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
E-Mail: becker@fv-berlin.de 📧

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-11-29 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-12-03 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 233-571229
ABl. S-Ausgabe: 233

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung: 1 Stück.

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-11-29 📅
Name: Obducat Europe GmbH
Postanschrift: Robert-Gerwig-Str. 9
Postort: Radolfzell
Postleitzahl: 78315
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 7732978980 📞
E-Mail: sabine.lantsch@obducat.com 📧
Land: Bayern 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Postanschrift: Martin-Luther-Straße 105
Quelle: OJS 2019/S 233-571229 (2019-11-29)

Ergänzende Angaben (2020-01-03)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsverbund Berlin e.V. -Gemeinsame Verwaltung-

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-01-03 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-01-08 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 005-006585
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 233-571229
ABl. S-Ausgabe: 5
Zusätzliche Informationen
IV.2.1) Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren: 2019/S 105-255177

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Forschungsverbund Berlin e.V. -Gemeinsame Verwaltung-
Quelle: OJS 2020/S 005-006585 (2020-01-03)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-10-22)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: FBH-2019-0017
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsverbund Berlin e. V. — Gemeinsame Verwaltung —

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-10-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-10-27 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 209-509973
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 168-410590
ABl. S-Ausgabe: 209

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Ein Themenschwerpunkt der Prozesslinie ist die Prozessierung von InP in einem Transfersubstratprozess, das in dieser speziellen Form weltweit einmalig und ein Alleinstellungsmerkmal des FBH ist. Bei diesem Prozess werden die teilweise prozessierten InP-Wafer (bis zu 7 Ebenen) mit z. B. voll prozessierten BiCMOS Wafern im BCB Klebeverfahren verbunden. Um in diesem kritischen Prozessschritt eine hohe Ausbeute zu erzielen zu können, müssen die zuvor durchgeführten Metall-Lift-off-Schritte (bis zu 4) partikelfrei und ohne Redepositionen erfolgen, müssen Ablagerungen von Metallpartikeln auf der Waferrückseite vermieden werden und zudem muss das Eindringen von Lösemittel in darunterliegende BCB Schichten vermieden werden. Die zu liftenden Strukturen sind mit kleinster Strukturgröße und hohem Höhe-Breite Verhältnis herausfordernd. Eine Schädigung der erzeugten Metallstrukturen muss im Prozess unbedingt vermieden werden.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik im Forschungsverbund Berlin e. V.

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-12-09 📅
Name: ClassOne Technology GmbH
Postanschrift: Habsburgerstr. 6
Postort: Jettingen Scheppach
Postleitzahl: 89343
Telefon: +49 15164595002 📞
E-Mail: wattenberger@classone.com 📧
Land: Günzburg 🏙️
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 6

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Forschungsverbund Berlin e. V. — Gemeinsame Verwaltung —
Quelle: OJS 2020/S 209-509973 (2020-10-22)