Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, eine Anlage zur laserbasierten UV-Lithografie ohne Verwendung von Masken mit automatischem Alignment für Wafer bis 150 mm Durchmesser mit Sub-Mikrometer-Auflösung bei hohem Durchsatz für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-06-25.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-05-14.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Maskenloser Belichter
TU-074/19-201-ZMN
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung:
“Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu...”
Kurze Beschreibung
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, eine Anlage zur laserbasierten UV-Lithografie ohne Verwendung von Masken mit automatischem Alignment für Wafer bis 150 mm Durchmesser mit Sub-Mikrometer-Auflösung bei hohem Durchsatz für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen.
1️⃣
Ort der Leistung: Ilm-Kreis🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: TU Ilmenau
Beschreibung der Beschaffung:
“Benötigt wird eine Anlage zur maskenlosen laserbasierten UV-Lithografie im Laborbetrieb mit direkter Verwendung von Maskendaten in gängigen Formaten (DXF,...”
Beschreibung der Beschaffung
Benötigt wird eine Anlage zur maskenlosen laserbasierten UV-Lithografie im Laborbetrieb mit direkter Verwendung von Maskendaten in gängigen Formaten (DXF, Gerber, GDSII, CIF) mit sehr hohen Anforderungen hinsichtlich Flexibilität, Präzision und Durchsatz. Wichtige Merkmale sind die Eignung für Wafer bis 150 mm Durchmesser, Sub-Mikrometer-Auflösung und Ausrichtgenauigkeit, automatisches Alignment und sehr hoher Durchsatz im Laborbetrieb. Detaillierte Anforderungen sind im Leistungsverzeichnis beschrieben.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 12
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“— Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt A. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche...”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
— Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt A. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“— Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt B. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
— Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt B. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“— Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
— Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre). (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-06-25
10:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2019-07-19 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2019-06-25
10:00 📅
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Zusätzliche Informationen
“Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/Kommunikation angegebenen Internet-Adresse...”
Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0351/4203-1422 zur Verfügung.
Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link:https://eee.evergabe-online.de/espd/ Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die Option „eine Antwort erstellen" anklicken. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDF-Datei exportiert/gespeichert werden.
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Weimar Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 361-37700📞 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren: Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB.
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3677-691744📞
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de📧
Fax: +49 3677-691931 📠
URL: http://www.tu-ilmenau.de🌏
Quelle: OJS 2019/S 095-228932 (2019-05-14)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-07-09) Objekt Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 368 037 💰
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 80
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Software/Steuerung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Garantie und weitere Bedingungen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Preis (Gewichtung): 1
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2019/S 095-228932
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: TU-074/19-201-ZMN
Titel: Maskenloser Belichter
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-07-09 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Postanschrift: Tullastraße 2
Postort: Heidelberg
Postleitzahl: 69126
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Heidelberg, Stadtkreis🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 368 037 💰
“Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/Kommunikation angegebenen Internet-Adresse...”
Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0351/4203-1422 zur Verfügung.
Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link:https://eee.evergabe-online.de/espd/ Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die Option „eine Antwort erstellen“ anklicken. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDF-Datei exportiert/gespeichert werden.
Mehr anzeigen Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren: Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Quelle: OJS 2019/S 131-321659 (2019-07-09)