Maskenloser Belichter

TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, eine Anlage zur laserbasierten UV-Lithografie ohne Verwendung von Masken mit automatischem Alignment für Wafer bis 150 mm Durchmesser mit Sub-Mikrometer-Auflösung bei hohem Durchsatz für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-06-25. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-05-14.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

Wer?

• TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Thüringen › Ilm-Kreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2019-05-14	Auftragsbekanntmachung
2019-07-09	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2019-05-14)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: TU-074/19-201-ZMN
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Ilm-Kreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postleitzahl: 98693
Postort: Ilmenau
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Telefon: +49 3677-691744 📞
Fax: +49 3677-691931 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=257825 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=257825 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-05-14 📅
Einreichungsfrist: 2019-06-25 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-05-17 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 095-228932
ABl. S-Ausgabe: 95
Zusätzliche Informationen

Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0351/4203-1422 zur Verfügung. Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link:https://eee.evergabe-online.de/espd/ Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die Option „eine Antwort erstellen" anklicken. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDF-Datei exportiert/gespeichert werden.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Benötigt wird eine Anlage zur maskenlosen laserbasierten UV-Lithografie im Laborbetrieb mit direkter Verwendung von Maskendaten in gängigen Formaten (DXF, Gerber, GDSII, CIF) mit sehr hohen Anforderungen hinsichtlich Flexibilität, Präzision und Durchsatz. Wichtige Merkmale sind die Eignung für Wafer bis 150 mm Durchmesser, Sub-Mikrometer-Auflösung und Ausrichtgenauigkeit, automatisches Alignment und sehr hoher Durchsatz im Laborbetrieb. Detaillierte Anforderungen sind im Leistungsverzeichnis beschrieben.

Dauer: 12 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: TU Ilmenau

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

— Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt A. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt B. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).

Technische und berufliche Fähigkeiten:

— Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre). (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-07-19 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-06-25 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=257825 🌏
Internetadresse: https://www.evergabe-online.de/start.html;jsessionid=D7551CCCF31A3F1171BD76FC82A7FD78.app204?0 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link:https://eee.evergabe-online.de/espd/ Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die Option „eine Antwort erstellen" anklicken. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDF-Datei exportiert/gespeichert werden.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Weimar Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 361-37700 📞
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB.
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Telefon: +49 3677-691744 📞
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Fax: +49 3677-691931 📠
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
Quelle: OJS 2019/S 095-228932 (2019-05-14)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-07-09)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 368 037 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-07-09 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-07-10 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 131-321659
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 095-228932
ABl. S-Ausgabe: 131
Zusätzliche Informationen

Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0351/4203-1422 zur Verfügung. Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link:https://eee.evergabe-online.de/espd/ Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die Option „eine Antwort erstellen“ anklicken. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDF-Datei exportiert/gespeichert werden.

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 80
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Software/Steuerung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Garantie und weitere Bedingungen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Preis (Gewichtung): 1

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-07-09 📅
Name: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Postanschrift: Tullastraße 2
Postort: Heidelberg
Postleitzahl: 69126
Land: Deutschland 🇩🇪
Heidelberg, Stadtkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 368 037 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Referenz
Zusätzliche Informationen

Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link:https://eee.evergabe-online.de/espd/ Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die Option „eine Antwort erstellen“ anklicken. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDF-Datei exportiert/gespeichert werden.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Quelle: OJS 2019/S 131-321659 (2019-07-09)

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