Maskenloser Belichter

TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, eine Anlage zur laserbasierten UV-Lithografie ohne Verwendung von Masken mit automatischem Alignment für Wafer bis 150 mm Durchmesser mit Sub-Mikrometer-Auflösung bei hohem Durchsatz für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-06-25. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-05-14.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2019-05-14 Auftragsbekanntmachung
2019-07-09 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2019-05-14)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: TU-074/19-201-ZMN
Kurze Beschreibung:
“Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu...”    Mehr anzeigen
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Ilm-Kreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postleitzahl: 98693
Postort: Ilmenau
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Telefon: +49 3677-691744 📞
Fax: +49 3677-691931 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=257825 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=257825 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-05-14 📅
Einreichungsfrist: 2019-06-25 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-05-17 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 095-228932
ABl. S-Ausgabe: 95
Zusätzliche Informationen

“Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/Kommunikation angegebenen Internet-Adresse...”    Mehr anzeigen

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Benötigt wird eine Anlage zur maskenlosen laserbasierten UV-Lithografie im Laborbetrieb mit direkter Verwendung von Maskendaten in gängigen Formaten (DXF,...”    Mehr anzeigen
Dauer: 12 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“TU Ilmenau”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
“— Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt A. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche...”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“— Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt B. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten:
“— Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-07-19 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-06-25 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=257825 🌏
Internetadresse: https://www.evergabe-online.de/start.html;jsessionid=D7551CCCF31A3F1171BD76FC82A7FD78.app204?0 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

“Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/Kommunikation angegebenen Internet-Adresse...”    Mehr anzeigen

“Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link:https://eee.evergabe-online.de/espd/ Im nächsten Schritt „Ich...”    Mehr anzeigen

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Weimar Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 361-37700 📞
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB.”
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3677-691744 📞
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Fax: +49 3677-691931 📠
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
Quelle: OJS 2019/S 095-228932 (2019-05-14)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-07-09)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 368 037 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-07-09 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-07-10 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 131-321659
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 095-228932
ABl. S-Ausgabe: 131
Zusätzliche Informationen

“Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/Kommunikation angegebenen Internet-Adresse...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 80
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Software/Steuerung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Garantie und weitere Bedingungen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Preis (Gewichtung): 1

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-07-09 📅
Name: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Postanschrift: Tullastraße 2
Postort: Heidelberg
Postleitzahl: 69126
Land: Deutschland 🇩🇪
Heidelberg, Stadtkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 368 037 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Referenz
Zusätzliche Informationen

“Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link:https://eee.evergabe-online.de/espd/ Im nächsten Schritt „Ich...”    Mehr anzeigen

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB”
Quelle: OJS 2019/S 131-321659 (2019-07-09)