Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Maskenloser Direktbelichter
Z.1531ha-1019061701
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung: Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter.
1️⃣
Ort der Leistung: Berlin🏙️
Beschreibung der Beschaffung:
“Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter. Komplettsystem für die strukturgebende Belichtung von Fotolacken mittels...”
Beschreibung der Beschaffung
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter. Komplettsystem für die strukturgebende Belichtung von Fotolacken mittels Laserlithografie bestehend aus:
— Lasersystem für die Belichtung von Fotolacken mit der Möglichkeit der Variation der Laserintensität, was eine dreidimensionale Strukturierung des Fotolackes ermöglichen muss.(Grautonlithografie), bestehend aus:
1) Laser mit einer Wellenlänge im Bereich der i-Linie von Quecksilber;
2) Laser mit einer Wellenlänge im Bereich der h-Linie von Quecksilber:
— Interferometertisch mit Vakuumchuck zur Substrathalterung,
— Auflichtkamera für die Erfassung von Justiermarken, d.h. von bereits auf dem Substrat vorhandener Strukturen zur exakten Ausrichtung der relativen Position von Tisch und Laser,
— Autofokus-System,
— PC mit MS Windows 10 für Datenkonvertierung und Systemsteuerung,
— CAD Software (Designsoftware) geeignet für die Erstellung und Bearbeitung von Entwürfen (Designs) für integrierte Schaltungen,
— Klimakammer mit Temperaturstabilisierung und laminarem Luftstrom sowie Schwingungsdämpfung zur Vibrationsminimierung.
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Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 6
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Referenzen über früher ausgeführte Lieferaufträge, die mit dem Auftragsgegenstand vergleichbar sind (s. Erklärung technische und berufliche...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Referenzen über früher ausgeführte Lieferaufträge, die mit dem Auftragsgegenstand vergleichbar sind (s. Erklärung technische und berufliche Leistungsfähigkeit).
Beleg des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen gem. § 48 VgV (s. Erklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen)
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-07-23
10:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2019-09-23 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2019-07-24
09:00 📅
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Zusätzliche Informationen
“Die Rechnungsstellung kann elektronisch (PDF) an die Rechnungssammelstelle der PTB Berlin (RechnungssammelstelleBerlin@ptb.de) erfolgen.” Körper überprüfen
Name: Vergabekammern des Bundes – Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Str. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53126
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2019/S 115-281817 (2019-06-17)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-09-17) Objekt Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 383 277 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter. Komplettsystem für die strukturgebende Belichtung von Fotolacken mittels...”
Beschreibung der Beschaffung
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter. Komplettsystem für die strukturgebende Belichtung von Fotolacken mittels Laserlithografie bestehend aus:
— Lasersystem für die Belichtung von Fotolacken mit der Möglichkeit der Variation der Laserintensität, was eine dreidimensionale Strukturierung des Fotolackes ermöglichen muss (Grautonlithografie), bestehend aus.
1) Laser mit einer Wellenlänge im Bereich der i-Linie von Quecksilber;
2) Laser mit einer Wellenlänge im Bereich der h-Linie von Quecksilber:
— Interferometertisch mit Vakuumchuck zur Substrathalterung,
— Auflichtkamera für die Erfassung von Justiermarken, d. h. von bereits auf dem Substrat vorhandener Strukturen zur exakten Ausrichtung der relativen Position von Tisch und Laser,
— Autofokus-System,
— PC mit MS Windows 10 für Datenkonvertierung und Systemsteuerung,
— CAD Software (Designsoftware) geeignet für die Erstellung und Bearbeitung von Entwürfen (Designs) für integrierte Schaltungen,
— Klimakammer mit Temperaturstabilisierung und laminarem Luftstrom sowie Schwingungsdämpfung zur Vibrationsminimierung.
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Qualitätskriterium (Bezeichnung): Minimale Strukturgröße auf vorgegebener Fläche
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Belichtungsdauer bei vorgegebener Fläche
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Justiergenauigkeit Layer zu Layer
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Vakuumchuck für Substratbelichtung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Designsoftware
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Integrierte Klimakammer
Preis (Gewichtung): 30
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2019/S 115-281817
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: Z.1531ha/4500124492
Titel: Maskenloser Direktbelichter
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-09-17 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Postort: Heidelberg
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Heidelberg, Stadtkreis🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 383 277 💰
Quelle: OJS 2019/S 181-440478 (2019-09-17)