Maskenloser Direktbelichter
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter.
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2019-07-23. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-06-17.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2019-06-17 | Auftragsbekanntmachung |
| 2019-09-17 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2019-06-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: Z.1531ha-1019061701
Kurze Beschreibung:
“Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter.”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Berlin 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde
Name des öffentlichen Auftraggebers: Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Postanschrift: Abbestraße 2-12
Postleitzahl: 10587
Postort: Berlin
Kontakt
Internetadresse: http://www.ptb.de 🌏
E-Mail: petra.hauser@ptb.de 📧
Telefon: +49 30-34817453 📞
Fax: +49 30-34817244 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=263881 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=263881 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-06-17 📅
Einreichungsfrist: 2019-07-23 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-06-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 115-281817
ABl. S-Ausgabe: 115
Zusätzliche Informationen
“Die Rechnungsstellung kann elektronisch (PDF) an die Rechnungssammelstelle der PTB Berlin (RechnungssammelstelleBerlin@ptb.de) erfolgen.”
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter. Komplettsystem für die strukturgebende Belichtung von Fotolacken mittels...”
Mehr anzeigen
“— Lasersystem für die Belichtung von Fotolacken mit der Möglichkeit der Variation der Laserintensität, was eine dreidimensionale Strukturierung des...”
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“1) Laser mit einer Wellenlänge im Bereich der i-Linie von Quecksilber;”
“2) Laser mit einer Wellenlänge im Bereich der h-Linie von Quecksilber:”
“— Interferometertisch mit Vakuumchuck zur Substrathalterung,”
“— Auflichtkamera für die Erfassung von Justiermarken, d.h. von bereits auf dem Substrat vorhandener Strukturen zur exakten Ausrichtung der relativen...”
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“— Autofokus-System,”
“— PC mit MS Windows 10 für Datenkonvertierung und Systemsteuerung,”
“— CAD Software (Designsoftware) geeignet für die Erstellung und Bearbeitung von Entwürfen (Designs) für integrierte Schaltungen,”
“— Klimakammer mit Temperaturstabilisierung und laminarem Luftstrom sowie Schwingungsdämpfung zur Vibrationsminimierung.”
Dauer: 6 Monate
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Technische und berufliche Fähigkeiten:
“Referenzen über früher ausgeführte Lieferaufträge, die mit dem Auftragsgegenstand vergleichbar sind (s. Erklärung technische und berufliche Leistungsfähigkeit).”
Mehr anzeigen
“Beleg des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen gem. § 48 VgV (s. Erklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen)”
Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-09-23 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-07-24 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 09:00
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=263881 🌏
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammern des Bundes – Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Str. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53126
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2019/S 115-281817 (2019-06-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: Z.1531ha-1019061701
Kurze Beschreibung:
“Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter.”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Berlin 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde
Name des öffentlichen Auftraggebers: Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Postanschrift: Abbestraße 2-12
Postleitzahl: 10587
Postort: Berlin
Kontakt
Internetadresse: http://www.ptb.de 🌏
E-Mail: petra.hauser@ptb.de 📧
Telefon: +49 30-34817453 📞
Fax: +49 30-34817244 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=263881 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=263881 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-06-17 📅
Einreichungsfrist: 2019-07-23 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-06-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 115-281817
ABl. S-Ausgabe: 115
Zusätzliche Informationen
“Die Rechnungsstellung kann elektronisch (PDF) an die Rechnungssammelstelle der PTB Berlin (RechnungssammelstelleBerlin@ptb.de) erfolgen.”
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter. Komplettsystem für die strukturgebende Belichtung von Fotolacken mittels...”
“— Lasersystem für die Belichtung von Fotolacken mit der Möglichkeit der Variation der Laserintensität, was eine dreidimensionale Strukturierung des...”
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“1) Laser mit einer Wellenlänge im Bereich der i-Linie von Quecksilber;”
“2) Laser mit einer Wellenlänge im Bereich der h-Linie von Quecksilber:”
“— Interferometertisch mit Vakuumchuck zur Substrathalterung,”
“— Auflichtkamera für die Erfassung von Justiermarken, d.h. von bereits auf dem Substrat vorhandener Strukturen zur exakten Ausrichtung der relativen...”
“— Autofokus-System,”
“— PC mit MS Windows 10 für Datenkonvertierung und Systemsteuerung,”
“— CAD Software (Designsoftware) geeignet für die Erstellung und Bearbeitung von Entwürfen (Designs) für integrierte Schaltungen,”
“— Klimakammer mit Temperaturstabilisierung und laminarem Luftstrom sowie Schwingungsdämpfung zur Vibrationsminimierung.”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Technische und berufliche Fähigkeiten:
“Referenzen über früher ausgeführte Lieferaufträge, die mit dem Auftragsgegenstand vergleichbar sind (s. Erklärung technische und berufliche Leistungsfähigkeit).”
“Beleg des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen gem. § 48 VgV (s. Erklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen)”
Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-09-23 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-07-24 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 09:00
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=263881 🌏
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammern des Bundes – Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Str. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53126
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2019/S 115-281817 (2019-06-17)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-09-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 383 277 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-09-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-09-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 181-440478
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 115-281817
ABl. S-Ausgabe: 181
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“— Lasersystem für die Belichtung von Fotolacken mit der Möglichkeit der Variation der Laserintensität, was eine dreidimensionale Strukturierung des...”
Mehr anzeigen
“— Auflichtkamera für die Erfassung von Justiermarken, d. h. von bereits auf dem Substrat vorhandener Strukturen zur exakten Ausrichtung der relativen...”
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Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Minimale Strukturgröße auf vorgegebener Fläche
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Belichtungsdauer bei vorgegebener Fläche
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Justiergenauigkeit Layer zu Layer
Vakuumchuck für Substratbelichtung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Designsoftware
Integrierte Klimakammer
Preis (Gewichtung): 30
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-09-17 📅
Name: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Postort: Heidelberg
Land: Deutschland 🇩🇪
Heidelberg, Stadtkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 383 277 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2019/S 181-440478 (2019-09-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 383 277 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-09-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-09-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 181-440478
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 115-281817
ABl. S-Ausgabe: 181
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“— Lasersystem für die Belichtung von Fotolacken mit der Möglichkeit der Variation der Laserintensität, was eine dreidimensionale Strukturierung des...”
“— Auflichtkamera für die Erfassung von Justiermarken, d. h. von bereits auf dem Substrat vorhandener Strukturen zur exakten Ausrichtung der relativen...”
Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Minimale Strukturgröße auf vorgegebener Fläche
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Belichtungsdauer bei vorgegebener Fläche
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Justiergenauigkeit Layer zu Layer
Vakuumchuck für Substratbelichtung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Designsoftware
Integrierte Klimakammer
Preis (Gewichtung): 30
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-09-17 📅
Name: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Postort: Heidelberg
Land: Deutschland 🇩🇪
Heidelberg, Stadtkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 383 277 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2019/S 181-440478 (2019-09-17)
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