Maskenloser Direktbelichter

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-07-23. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-06-17.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

Wer?

• Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Berlin › Berlin

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2019-06-17	Auftragsbekanntmachung
2019-09-17	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2019-06-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: Z.1531ha-1019061701
Kurze Beschreibung: Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Berlin 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde
Name des öffentlichen Auftraggebers: Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Postanschrift: Abbestraße 2-12
Postleitzahl: 10587
Postort: Berlin
Kontakt
Internetadresse: http://www.ptb.de 🌏
E-Mail: petra.hauser@ptb.de 📧
Telefon: +49 30-34817453 📞
Fax: +49 30-34817244 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=263881 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=263881 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-06-17 📅
Einreichungsfrist: 2019-07-23 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-06-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 115-281817
ABl. S-Ausgabe: 115
Zusätzliche Informationen

Die Rechnungsstellung kann elektronisch (PDF) an die Rechnungssammelstelle der PTB Berlin (RechnungssammelstelleBerlin@ptb.de) erfolgen.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter. Komplettsystem für die strukturgebende Belichtung von Fotolacken mittels Laserlithografie bestehend aus:

— Lasersystem für die Belichtung von Fotolacken mit der Möglichkeit der Variation der Laserintensität, was eine dreidimensionale Strukturierung des Fotolackes ermöglichen muss.(Grautonlithografie), bestehend aus:

1) Laser mit einer Wellenlänge im Bereich der i-Linie von Quecksilber;

2) Laser mit einer Wellenlänge im Bereich der h-Linie von Quecksilber:

— Interferometertisch mit Vakuumchuck zur Substrathalterung,

— Auflichtkamera für die Erfassung von Justiermarken, d.h. von bereits auf dem Substrat vorhandener Strukturen zur exakten Ausrichtung der relativen Position von Tisch und Laser,

— Autofokus-System,

— PC mit MS Windows 10 für Datenkonvertierung und Systemsteuerung,

— CAD Software (Designsoftware) geeignet für die Erstellung und Bearbeitung von Entwürfen (Designs) für integrierte Schaltungen,

— Klimakammer mit Temperaturstabilisierung und laminarem Luftstrom sowie Schwingungsdämpfung zur Vibrationsminimierung.

Dauer: 6 Monate

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Technische und berufliche Fähigkeiten:

Referenzen über früher ausgeführte Lieferaufträge, die mit dem Auftragsgegenstand vergleichbar sind (s. Erklärung technische und berufliche Leistungsfähigkeit).

Beleg des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen gem. § 48 VgV (s. Erklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen)

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-09-23 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-07-24 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 09:00

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=263881 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammern des Bundes – Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Str. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53126
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2019/S 115-281817 (2019-06-17)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-09-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 383 277 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-09-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-09-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 181-440478
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 115-281817
ABl. S-Ausgabe: 181

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

— Auflichtkamera für die Erfassung von Justiermarken, d. h. von bereits auf dem Substrat vorhandener Strukturen zur exakten Ausrichtung der relativen Position von Tisch und Laser,

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Minimale Strukturgröße auf vorgegebener Fläche
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Belichtungsdauer bei vorgegebener Fläche
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Justiergenauigkeit Layer zu Layer
Vakuumchuck für Substratbelichtung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Designsoftware
Integrierte Klimakammer
Preis (Gewichtung): 30

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-09-17 📅
Name: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Postort: Heidelberg
Land: Deutschland 🇩🇪
Heidelberg, Stadtkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 383 277 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2019/S 181-440478 (2019-09-17)

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