Beschreibung der Beschaffung
Der Neubau eines Instituts für Topologische Isolatoren am Hubland (ITI) dient als Forschungsbau der Julius-Maximilians-Universität Würzburg, Lehrstuhl für Experimentelle Physik 3, zur Erforschung von sogenannten Topologischen Isolatoren.
Kernstück des Neubaus ist ein ca. 400 m großer Reinraum mit den Reinraumklassen ISO 8 bis ISO 6 nach DIN EN ISO 14644-1. Der Reinraum ist in 4 Reinraumlabore und 3 Schleusenbereiche untergliedert mit Raumhöhen von 3 bis 4 Metern. Zur elektrischen, medien- und lüftungstechnischen Versorgung sind ein ca. 0.9 m hohes Doppelbodensystems sowie ein zwischen 3,2 und 4,2 m hohes Plenum vorgesehen. Die Elektro- und Medienversorgung sowie das Abwassersystem verlaufen unterhalb des Doppelbodens, die Lüftungstechnik und MSR ist in dem oberhalb des Reinraum liegenden Luftplenums untergebracht. Die Luftführung des Reinraums erfolgt mit in der Reinraumdecke integrierten FFUs und Rückluftschächten in zirkulierender Weise über das Luftplenum. Die elektrische und medientechnische Versorgung erfolgt von der benachbarten Technikzentrale und dem angrenzenden Elektrounterverteilerraum aus. Die Flüssigstickstoff- und Stickstoffversorgung erfolgt ab bauseits zur Verfügung gestellten Flüssigstickstofftanks und Verdampfern.
Reinraumtechnik:
– 400 m Reinraumdoppelbodensystem,
– 430 m Reinraumdeckensystem,
– 130 m Reinraumwandsystem, Halbleiter,
– 7 St. Nassprozessbänke,
– 6 St. Phasenseparatoren,
– 150 m Rohrleitungsnetz Flüssigstickstoff,
– 1 St. Flüssigstickstoffentnahmestation,
– 2 St. Reinstwasseraufbereitungsanlage (je 15 L/min).
Lüftungstechnik – RLT-Geräte:
– L0300 (Zuluft RR) 14 000 m/h,
– L0400 (Fortluft RR) 13 000 m/h,
– L0500 (Zuluft Labore) 6 500 m/h,
– L0600 (Fortluft Labore) – ca. 7 000 m/h,
– L0800 (24h-Absaugung Fortluft) 1 000 m/h.
Lüftungstechnik – Filter-Fan-Units:
– 34 St. FFU 6/12,
– 36 St. FFU 12/12.
Sanitärtechnik:
Wasseraufbereitungsanlage Qualität ASTM D5127 Typ E-3 mit Rohrleitungsnetz ca. 1 m/h.
Heizungs-/Kältetechnische Anlagen:
– 1 200 m Rohrleitungsnetz Kälteversorgung,
– 5 St. Einspritzschaltung (Gesamtkälteleistung: ca. 130 kW),
– 2 St. KV-System.
MSR/GA:
ISP 01 ca. 420 BACnet Datenpunkte; ISP 06 ca. 865 BACnet Datenpunkte.
Elektrotechnik:
Unterverteiler; Reinraumbeleuchtung.