Chemisch-Mechanische Poliermaschine (CMP) – Projekt ForLab

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Im Rahmen des Projektes ForLab NSME wird eine Prozesslinie zur Fertigung neuromorpher Elektronik aufgebaut. Innerhalb dieser Prozesslinie wird eine chemisch-mechanische Polieranlage (CMP) zur Planarisierung der Prozesstopografie benötigt. Diese soll den Aufbau komplexer Systemarchitekturen im Materialsystem Nb/SiO2 mit einer Vielzahl von Aufbauebenen ermöglichen. Sie ist darüber hinaus Voraussetzung für die heterogene (back-end) Integration der Technologie auf CMOS-prozessierten Wafern. Bei beiden Prozessen müssen störende Topographieeffekte reduziert werden, um die angestrebte Performance zu erreichen. Weiterhin muss die Anlage geeignet sein, quadratische LTCC-Substrate mit Schichtaufbauten z. B. aus Aluminiumnitrid zu planarisieren.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-06-04. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-04-20.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2020-04-20 Auftragsbekanntmachung
2020-06-12 Ergänzende Angaben
2020-08-20 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2020-04-20)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Region: Ilm-Kreis 🏙️
URL: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=323504 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=323504 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://www.evergabe-online.de 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Chemisch-Mechanische Poliermaschine (CMP) – Projekt ForLab TU-025/20-201-ZMN
Produkte/Dienstleistungen: Industrielle Maschinen 📦
Kurze Beschreibung:
“Im Rahmen des Projektes ForLab NSME wird eine Prozesslinie zur Fertigung neuromorpher Elektronik aufgebaut. Innerhalb dieser Prozesslinie wird eine...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Ilm-Kreis 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: TU Ilmenau
Beschreibung der Beschaffung:
“Es wird eine CMP-Anlage benötigt, die sowohl Standard-Halbleitersubstrate bis 6 Zoll Durchmesser als auch quadratische Keramiksubstrate bearbeiten kann. Die...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Beschreibung
Dauer: 1
Informationen über die Begrenzung der Zahl der einzuladenden Bewerber
Voraussichtliche Anzahl von Bewerbern: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern:
“— Jahresumsatz im Anlagenverkauf; — Jahresumsatz CMP-Anlagen; — Jahresumsatz CMP-Anlagen für Forschungseinrichtungen in der EU; — Summe des Jahresumsatzes...”    Mehr anzeigen
Beschreibung
Zusätzliche Informationen:
“Im ersten Schritt wird anhand einer Eignungsprüfung und einer Bewertung der Unternehmen eine Vorauswahl der Bewerber getroffen. Es sind Mindestanforderungen...”    Mehr anzeigen

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der Eigenerklärung: — Eintragung in das Berufsregister ihres Sitzes. Eine Vorlage der...”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der Eigenerklärung: — Eintragung des Jahresumsatzes im Anlagenverkauf; —...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Nachweis über die technische durch Abgabe der Eigenerklärung: — Angaben zu zu Lieferungen und Dienstleistungen der genannten Art (dem Auftragsgegenstand...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Eingeschränktes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-06-04 09:30 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Ergänzende Informationen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 361-37700 📞
Fax: +49 361-573321059 📠
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren: Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
URL: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
Quelle: OJS 2020/S 079-186038 (2020-04-20)
Ergänzende Angaben (2020-06-12)

Ergänzende Informationen
Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2020/S 079-186038

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.6)
Ort des zu ändernden Textes: Bindefrist des Angebots
Alten Wert leeren
Neuer Wert
Text: Das Angebot muss gültig bleiben bis: 20/08/2020
Quelle: OJS 2020/S 115-279168 (2020-06-12)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-08-20)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 204 700 💰
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Installation
Qualitätskriterium (Gewichtung): 9
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Bedienerfreundlichkeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 4
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Wartungsfreundlichkeit
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Prozesssteuerung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 13
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Bearbeitungsausstattung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 18
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Software
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Bemusterung Wafer
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Bemusterung Keramiksubstrat
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Garantieverlängerung, Vorortschulung, Lieferzeit
Preis (Gewichtung): 1

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 079-186038

Auftragsvergabe

1️⃣
Vertragsnummer: TU-025/20-201-ZMN
Titel: Chemisch-Mechanische Poliermaschine (CMP) – Projekt ForLab
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-08-10 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Struers GmbH
Postanschrift: Carl-Friedrich-Benz-Str. 5
Postort: Willich
Postleitzahl: 47877
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Viersen 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 204 700 💰
Quelle: OJS 2020/S 164-398249 (2020-08-20)
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