Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: ICP-RIE-Plasmaätzanlage
E_066_250122 ChrPat-bla
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung: ICP-RIE-Plasmaätzanlage.
1️⃣
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: IOF
Albert-Einstein-Str. 7
7745 Jena
Beschreibung der Beschaffung:
“1 Stück ICP-RIE-Plasmaätzanlage für großflächige Substrate
Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für großflächige optische Mikro- und...”
Beschreibung der Beschaffung
1 Stück ICP-RIE-Plasmaätzanlage für großflächige Substrate
Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für großflächige optische Mikro- und Nanostrukturierung, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen in dielektrische, halbleitende und metallische Materialien und Funktionsschichten (Quarzglas /fused silica, Silizium, SiOxNy, Siliziumkarbid, hochbrechende Materialien, wie Ta2O5, Nb2O5, Chrom etc.) mittels fluor- und chlorbasierter Reaktivgasprozesse.
Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Beginns: 2022-01-01 📅
Datum des Endes: 2022-01-31 📅
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Technische und berufliche Fähigkeiten
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-12-01
10:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2021-01-29 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2020-11-26
10:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren): Entfällt
Ergänzende Informationen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: https://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2020/S 212-516107 (2020-10-27)
Ergänzende Angaben (2020-11-26)
Ergänzende Informationen Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2020/S 212-516107
Änderungen Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.7)
Ort des zu ändernden Textes: Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Alter Wert
Datum: 2020-11-26 📅
Zeit: 10:00
Neuer Wert
Datum: 2020-12-01 📅
Zeit: 10:30
Quelle: OJS 2020/S 234-577610 (2020-11-26)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-04-08) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung Einkauf und Gerätewirtschaft C 2 – Vergabestelle Bau”
Kontaktperson: Sachgebiet Wissenschafliche Geräte / Anlagen
Objekt Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“1 Stück ICP-RIE-Plasmaätzanlage für großflächige Substrate Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für großflächige optische Mikro- und...”
Beschreibung der Beschaffung
1 Stück ICP-RIE-Plasmaätzanlage für großflächige Substrate Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für großflächige optische Mikro- und Nanostrukturierung, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen in dielektrische, halbleitende und metallische Materialien und Funktionsschichten (Quarzglas /fused silica, Silizium, SiOxNy, Siliziumkarbid, hochbrechende Materialien, wie Ta 2O5, Nb 2O5, Chrom etc.) mittels fluor- und chlorbasierter Reaktivgasprozesse. Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen.
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 212-516107
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: 1
Titel: ICP-RIE-Plasmaätzanlage
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-04-08 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Postanschrift: Konrad-Zuse-Bogen 13
Postort: Krailling
Postleitzahl: 82152
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: sales@sentech.de📧
Fax: +49 898979607-22 📠
Region: Starnberg🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
Ergänzende Informationen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Postanschrift: Hansastraße 27 c
Quelle: OJS 2021/S 071-180603 (2021-04-08)