ICP-RIE-Plasmaätzanlage

Auftragsbekanntmachung (2020-10-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_066_250122 ChrPat-bla
Kurze Beschreibung:
“ICP-RIE-Plasmaätzanlage.”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung Einkauf und Gerätewirtschaft C2 – Vergabestelle Bau
Postanschrift: Hansastraße 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/ 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL der Dokumente: https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1754ec7e2bf-12662ce152f69e24 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabe.fraunhofer.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-10-27 📅
Einreichungsfrist: 2020-12-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-10-30 📅
Datum des Beginns: 2022-01-01 📅
Datum des Endes: 2022-01-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 212-516107
ABl. S-Ausgabe: 212
Zusätzliche Informationen

“Entfällt”

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“1 Stück ICP-RIE-Plasmaätzanlage für großflächige Substrate”

“Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für großflächige optische Mikro- und Nanostrukturierung, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen...”    Mehr anzeigen

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“Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen.”

Kurze Beschreibung

Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen.

   Mehr anzeigen

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“IOF”

“Albert-Einstein-Str. 7”

Mehr anzeigen (1)

“7745 Jena”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2021-01-29 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2020-11-26 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00
Zusätzliche Informationen:
“Entfällt”

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Sachgebiet Wissenschafliche Geräte/Anlagen
Dokumente URL: https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1754ec7e2bf-12662ce152f69e24 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: https://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2020/S 212-516107 (2020-10-27)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-04-08)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung Einkauf und Gerätewirtschaft C 2 – Vergabestelle Bau

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-04-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-04-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 071-180603
ABl. S-Ausgabe: 71

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“1 Stück ICP-RIE-Plasmaätzanlage für großflächige Substrate Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für großflächige optische Mikro- und...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 55,00
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10,00
Preis (Gewichtung): 35,00

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-04-08 📅
Name: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Postanschrift: Konrad-Zuse-Bogen 13
Postort: Krailling
Postleitzahl: 82152
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: sales@sentech.de 📧
Land: Starnberg 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Sachgebiet Wissenschafliche Geräte / Anlagen

Ergänzende Informationen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Postanschrift: Hansastraße 27 c
Quelle: OJS 2021/S 071-180603 (2021-04-08)