Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Manuelle Probestation für Elektromigrationsmessung
E_068_249044 ChrPat-phue
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung: Manuelle Probestation für Elektromigrationsmessung.
1️⃣
Ort der Leistung: Dresden🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: IKTS-MD
Standort Dresden-Klotzsche
Maria-Reiche-Str. 5
1277 Dresden
Beschreibung der Beschaffung:
“1 Stück
Manuelle Probestation für Elektromigrationsmessung
Mit der Anlage sollen Teststrukturen einer 22 nm-Technologie geprüft werden. Die Teststrukturen...”
Beschreibung der Beschaffung
1 Stück
Manuelle Probestation für Elektromigrationsmessung
Mit der Anlage sollen Teststrukturen einer 22 nm-Technologie geprüft werden. Die Teststrukturen sind einzelne Leiterbahnen, die über Kontaktflächen auf dem Chip angesteuert werden. Ein Chip befindet sich auf einem Stück eines 300 mm-Wafers. Die Anlage muss die Möglichkeit bieten, das Waferstück auf 175 C/300 C zu heizen sowie es in einer Kapselung mit Stickstoffbefüllung unterzubringen, um Oxidation zu vermeiden. Der Aufbau muss langzeitstabile Messungen für mehrere Wochen ermöglichen. HF-Messspitzen sollen auf den Kontaktflächen aufsetzen, um das HF-Signal einzuspeisen. Zusätzlich muss die Möglichkeit gegeben sein, ein Gleichspannungsoffset mit dem HF-Signal zu überlagern. Mit der Anlage muss es möglich sein, eventuelle Veränderungen des HF-Signals über die Zeit und in Korrelation mit DC-Messungen zu charakterisieren. Die Anlage soll bei 77 GHz (175 C) und 67 GHz (300 C) messen.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Beginns: 2021-07-01 📅
Datum des Endes: 2021-07-31 📅
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union: Efre
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-176429883eb-4def20be6d84af7f” Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-176429883eb-4def20be6d84af7f” Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-176429883eb-4def20be6d84af7f” Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2021-01-29
10:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2021-03-31 📅
Ergänzende Informationen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: https://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2020/S 244-603697 (2020-12-10)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-07-14) Öffentlicher Auftraggeber Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben
Objekt Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“1 Stück manuelle Probestation für Elektromigrationsmessung
Mit der Anlage sollen Teststrukturen einer 22 nm-Technologie geprüft werden. Die Teststrukturen...”
Beschreibung der Beschaffung
1 Stück manuelle Probestation für Elektromigrationsmessung
Mit der Anlage sollen Teststrukturen einer 22 nm-Technologie geprüft werden. Die Teststrukturen sind einzelne Leiterbahnen, die über Kontaktflächen auf dem Chip angesteuert werden. Ein Chip befindet sich auf einem Stück eines 300 mm-Wafers. Die Anlage muss die Möglichkeit bieten, das Waferstück auf 175 C/300 C zu heizen sowie es in einer Kapselung mit Stickstoffbefüllung unterzubringen, um Oxidation zu vermeiden. Der Aufbau muss langzeitstabile Messungen für mehrere Wochen ermöglichen. HF-Messspitzen sollen auf den Kontaktflächen aufsetzen, um das HF-Signal einzuspeisen. Zusätzlich muss die Möglichkeit gegeben sein, ein Gleichspannungsoffset mit dem HF-Signal zu überlagern. Mit der Anlage muss es möglich sein, eventuelle Veränderungen des HF-Signals über die Zeit und in Korrelation mit DC-Messungen zu charakterisieren. Die Anlage soll bei 77 GHz (175 C) und 67 GHz (300 C) messen.
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 244-603697
Auftragsvergabe
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Vertragsnummer: 1
Titel: Manuelle Probestation für Elektromigrationsmessung
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-07-14 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Automatisierungstechnik Voigt GmbH
Postanschrift: Heilbronner Straße 17
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01189
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: atv@atv-systems.de📧
Fax: +49 3512138650 📠
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰