— Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V. schreibt eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien aus.
— Die anzuschaffende Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit fluorhaltigen Gasen ätzen lassen.
— Es sind mit dieser Anlage Strukturübertragungen bis in den tiefen Submikrometerbereich auszuführen und es soll eine Homogenität der Prozesse von ca. 5 % über einer Fläche von 150 mm Durchmesser erreicht werden.
— Die Anlage muss reinraumtauglich konstruiert sein, bevorzugt durch die Wand zu installieren oder alternativ direkt im Reinraum aufstellbar sein.
— Die Anlage muss als Parallelplatten-Anlage ausgeführt sein und die Option bieten, vor Ort durch den Tausch der Plasmaquelle eine Umrüstung auf ICP-Plasmaätzprozesse vorzunehmen. Die passende ICP-Plasmaquelle und das dafür erforderliche Zubehör müssen im Lieferumfang enthalten sein.
Plasmaätzprozesse sollen mittels Parallelplattenanordnung oder ICP – Plasmaquelle reproduzierbar durchgeführt werden können.
— Wertungskriterien: technische Spezifikationen 70 %, Preis 30 %.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-09-24.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-08-20.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Plasmaätzanlage für Fluorchemie
13.20.O.00
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung:
“— Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V. schreibt eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels...”
Kurze Beschreibung
— Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V. schreibt eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien aus.
— Die anzuschaffende Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit fluorhaltigen Gasen ätzen lassen.
— Es sind mit dieser Anlage Strukturübertragungen bis in den tiefen Submikrometerbereich auszuführen und es soll eine Homogenität der Prozesse von ca. 5 % über einer Fläche von 150 mm Durchmesser erreicht werden.
— Die Anlage muss reinraumtauglich konstruiert sein, bevorzugt durch die Wand zu installieren oder alternativ direkt im Reinraum aufstellbar sein.
— Die Anlage muss als Parallelplatten-Anlage ausgeführt sein und die Option bieten, vor Ort durch den Tausch der Plasmaquelle eine Umrüstung auf ICP-Plasmaätzprozesse vorzunehmen. Die passende ICP-Plasmaquelle und das dafür erforderliche Zubehör müssen im Lieferumfang enthalten sein.
Plasmaätzprozesse sollen mittels Parallelplattenanordnung oder ICP – Plasmaquelle reproduzierbar durchgeführt werden können.
— Wertungskriterien: technische Spezifikationen 70 %, Preis 30 %.
1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V.
Albert-Einstein-Straße 9
07745 Jena”
Beschreibung der Beschaffung:
“— Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V. schreibt eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels...”
Beschreibung der Beschaffung
— Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V. schreibt eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien aus.
— Die anzuschaffende Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit fluorhaltigen Gasen ätzen lassen.
— Es sind mit dieser Anlage Strukturübertragungen bis in den tiefen Submikrometerbereich auszuführen und es soll eine Homogenität der Prozesse von ca. 5 % über einer Fläche von 150 mm Durchmesser erreicht werden.
— Die Anlage muss reinraumtauglich konstruiert sein, bevorzugt durch die Wand zu installieren oder alternativ direkt im Reinraum aufstellbar sein.
— Die Anlage muss als Parallelplatten-Anlage ausgeführt sein und die Option bieten, vor Ort durch den Tausch der Plasmaquelle eine Umrüstung auf ICP-Plasmaätzprozesse vorzunehmen. Die passende ICP-Plasmaquelle und das dafür erforderliche Zubehör müssen im Lieferumfang enthalten sein.
Plasmaätzprozesse sollen mittels Parallelplattenanordnung oder ICP – Plasmaquelle reproduzierbar durchgeführt werden können.
— Wertungskriterien: technische Spezifikationen 70 %, Preis 30 %.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Endes: 2021-03-15 📅
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen:
“Optionale Komponenten (bitte im Angebot extra auspreisen)
Zusätzlich sollen zwei Reserve-Gaslinien (bereits vorgerüstet, so dass zur Nutzung keine weiteren...”
Beschreibung der Optionen
Optionale Komponenten (bitte im Angebot extra auspreisen)
Zusätzlich sollen zwei Reserve-Gaslinien (bereits vorgerüstet, so dass zur Nutzung keine weiteren Komponenten gekauft werden müssen), sowie ein Wärmetauscher für die Pumpen angeboten werden.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“— Besonderen Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz-IPHT Jena;
— Eigenerklärungen gemäß ThürVgG;
— Eigenerklärung für nicht präqualifizierte...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
— Besonderen Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz-IPHT Jena;
— Eigenerklärungen gemäß ThürVgG;
— Eigenerklärung für nicht präqualifizierte Unternehmen.
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-09-24
13:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2020-11-03 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2020-09-24
13:00 📅
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-11-19) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name: Leibniz-Institut für Photonische Technologien
URL: https://www.leibniz-ipht.de🌏 Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: eingetragener Verein, Mitglied der Leibniz-Gemeinschaft
Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren...”
Kurze Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien aus.
Die anzuschaffende Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit fluorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Es sind mit dieser Anlage Strukturübertragungen bis in den tiefen Submikrometerbereich auszuführen und es soll eine Homogenität der Prozesse von ca. 5 % über einer Fläche von 150 mm Durchmesser erreicht werden.
Die Anlage muss reinraumtauglich konstruiert sein, bevorzugt durch die Wand zu installieren oder alternativ direkt im Reinraum aufstellbar sein.
Die Anlage muss als Parallelplatten-Anlage ausgeführt sein und die Option bieten, vor Ort durch den Tausch der Plasmaquelle eine Umrüstung auf ICP-Plasmaätzprozesse vorzunehmen. Die passende ICP-Plasmaquelle und das dafür erforderliche Zubehör müssen im Lieferumfang enthalten sein.
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Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 365 200 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V. schreibt eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels...”
Beschreibung der Beschaffung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V. schreibt eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien aus.
Die anzuschaffende Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit fluorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Es sind mit dieser Anlage Strukturübertragungen bis in den tiefen Submikrometerbereich auszuführen und es soll eine Homogenität der Prozesse von ca. 5 % über einer Fläche von 150 mm Durchmesser erreicht werden.
Die Anlage muss reinraumtauglich konstruiert sein, bevorzugt durch die Wand zu installieren oder alternativ direkt im Reinraum aufstellbar sein.
Die Anlage muss als Parallelplatten-Anlage ausgeführt sein und die Option bieten, vor Ort durch den Tausch der Plasmaquelle eine Umrüstung auf ICP-Plasmaätzprozesse vorzunehmen. Die passende ICP-Plasmaquelle und das dafür erforderliche Zubehör müssen im Lieferumfang enthalten sein.
Plasmaätzprozesse sollen mittels Parallelplattenanordnung oder ICP – Plasmaquelle reproduzierbar durchgeführt werden können.
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Qualitätskriterium (Bezeichnung): technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 70 %
Preis (Gewichtung): 30 %
Informationen über Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Optionale Komponenten (bitte im Angebot extra auspreisen)
Zusätzlich sollen 2 Reserve-Gaslinien (bereits vorgerüstet, so dass zur Nutzung keine weiteren...”
Beschreibung der Optionen
Optionale Komponenten (bitte im Angebot extra auspreisen)
Zusätzlich sollen 2 Reserve-Gaslinien (bereits vorgerüstet, so dass zur Nutzung keine weiteren Komponenten gekauft werden müssen), sowie ein Wärmetauscher für die Pumpen angeboten werden.
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 164-398009
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: 13.20.O.00
Los-Identifikationsnummer: 00
Titel: Plasmaätzanlage für Fluorchemie
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-11-09 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Sentech GmbH
Postanschrift: Konrad-Zuse-Bogen 13
Postort: Krailling
Postleitzahl: 82152
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Starnberg🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 365 200 💰
Quelle: OJS 2020/S 229-563848 (2020-11-19)