Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: E_064_287097 StLa-KauAnj Beschichtungsanlage
E_064_287097
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung: Beschichtungsanlage.
1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt🏙️
Ort der Leistung: Dresden🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Fraunhofer IKTS
Winterbergstraße 28
1277 Dresden
Beschreibung der Beschaffung:
“1 Stück Beschichtungsanlage
Wir konzentrieren uns bei unserer Suche auf ein gutes ISO9001-zertifiziertes 200-mm-System, das in der Lage ist, Al2O3-, SiO2-,...”
Beschreibung der Beschaffung
1 Stück Beschichtungsanlage
Wir konzentrieren uns bei unserer Suche auf ein gutes ISO9001-zertifiziertes 200-mm-System, das in der Lage ist, Al2O3-, SiO2-, High-k- und Metallnitride gemäß PEALD gemäß diesem Dokument abzuscheiden. Wir erwarten ein PEALD-Kit für das System, das eine schnelle Gasumschaltung ermöglicht. Es ist auch wichtig, dass die Ausgasung von Kammerwänden während der Verarbeitung im PEALD-Modus minimiert wird. Deshalb spezifizieren wir einen Heißwandreaktor mit Wandtemperaturen von bis zu 450 C.
Wir möchten die Probentemperatur in einem weiten Temperaturbereich steuern (von Raumtemperatur bis zu erhöhten Temperaturen, Temperaturbereich von 30 C bis +450 C).
Wir legen Wert auf Kammerreinheit, um die Prozessstabilität und Reproduzierbarkeit zu erreichen. Dazu betrachten wir einen Heißwandreaktor und eine effiziente Kammerreinigung. Wir erwarten eine ladbare Wafergröße von mindestens 200 mm. Wir betrachten die folgenden Gase: Ar, N2, O2, O3, H2, NH3.
Eine Option für die In-situ-Ellipsometrie (hierfür benötigen wir 2 gekippte optische Ports) ist erforderlich.
Wir benötigen eine halbautomatische Lastsperre im System mit manueller Beladung der Wafer mit einer Vakuumzange. Das Werkzeug wird im Reinraum des Fraunhofer IKTS in Dresden (Winterbergstraße 28) installiert und erleichtert.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 9
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union: Efre
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a” Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a” Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a” Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2021-02-26
11:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2021-04-26 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2021-02-26
11:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren): Entfällt
Ergänzende Informationen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: https://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2021/S 021-049163 (2021-01-27)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-03-29) Öffentlicher Auftraggeber Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben
Objekt Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“1 Stück Beschichtungsanlage Wir konzentrieren uns bei unserer Suche auf ein gutes ISO9001-zertifiziertes 200-mm-System, das in der Lage ist, Al2O3-, SiO2-,...”
Beschreibung der Beschaffung
1 Stück Beschichtungsanlage Wir konzentrieren uns bei unserer Suche auf ein gutes ISO9001-zertifiziertes 200-mm-System, das in der Lage ist, Al2O3-, SiO2-, High-k- und Metallnitride gemäß PEALD gemäß diesem Dokument abzuscheiden. Wir erwarten ein PEALD-Kit für das System, das eine schnelle Gasumschaltung ermöglicht. Es ist auch wichtig, dass die Ausgasung von Kammerwänden während der Verarbeitung im PEALD-Modus minimiert wird. Deshalb spezifizieren wir einen Heißwandreaktor mit Wandtemperaturen von bis zu 450 C. Wir möchten die Probentemperatur in einem weiten Temperaturbereich steuern (von Raumtemperatur bis zu erhöhten Temperaturen, Temperaturbereich von 30 C bis +450 C). Wir legen Wert auf Kammerreinheit, um die Prozessstabilität und Reproduzierbarkeit zu erreichen. Dazu betrachten wir einen Heißwandreaktor und eine effiziente Kammerreinigung. Wir erwarten eine ladbare Wafergröße von mindestens 200 mm. Wir betrachten die folgenden Gase: Ar, N2, O2, O3, H2, NH3. Eine Option für die In-situ-Ellipsometrie (hierfür benötigen wir 2 gekippte optische Ports) ist erforderlich. Wir benötigen eine halbautomatische Lastsperre im System mit manueller Beladung der Wafer mit einer Vakuumzange. Das Werkzeug wird im Reinraum des Fraunhofer IKTS in Dresden (Winterbergstraße 28) installiert und erleichtert.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung des Produkts
Qualitätskriterium (Gewichtung): 55,00
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10,00
Preis (Gewichtung): 35,00
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union: Es handelt sich hier um EFRE-Mittel.
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2021/S 021-049163
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: 1
Titel: E_064_287097 StLa-KauAnj Beschichtungsanlage
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-03-29 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 3
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Picosun Oy
Postanschrift: Tietotie 3
Postort: Espoo
Postleitzahl: 02150
Land: Finnland 🇫🇮
E-Mail: christoph.hossbach@picosun.com📧
Region: Manner-Suomi 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
Ergänzende Informationen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Quelle: OJS 2021/S 065-164264 (2021-03-29)