E_064_287097 StLa-KauAnj Beschichtungsanlage

Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2

Beschichtungsanlage.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-02-26. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-01-27.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Picosun Oy

Wer?

• Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2021-01-27	Auftragsbekanntmachung
2021-03-29	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2021-01-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_064_287097
Kurze Beschreibung: Beschichtungsanlage.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2
Postanschrift: Hansastraße 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/ 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL der Dokumente: https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabe.fraunhofer.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-01-27 📅
Einreichungsfrist: 2021-02-26 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-02-01 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 021-049163
ABl. S-Ausgabe: 21
Zusätzliche Informationen
Entfällt

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

1 Stück Beschichtungsanlage

Wir konzentrieren uns bei unserer Suche auf ein gutes ISO9001-zertifiziertes 200-mm-System, das in der Lage ist, Al2O3-, SiO2-, High-k- und Metallnitride gemäß PEALD gemäß diesem Dokument abzuscheiden. Wir erwarten ein PEALD-Kit für das System, das eine schnelle Gasumschaltung ermöglicht. Es ist auch wichtig, dass die Ausgasung von Kammerwänden während der Verarbeitung im PEALD-Modus minimiert wird. Deshalb spezifizieren wir einen Heißwandreaktor mit Wandtemperaturen von bis zu 450

Wir möchten die Probentemperatur in einem weiten Temperaturbereich steuern (von Raumtemperatur bis zu erhöhten Temperaturen, Temperaturbereich von 30

Wir legen Wert auf Kammerreinheit, um die Prozessstabilität und Reproduzierbarkeit zu erreichen. Dazu betrachten wir einen Heißwandreaktor und eine effiziente Kammerreinigung. Wir erwarten eine ladbare Wafergröße von mindestens 200 mm. Wir betrachten die folgenden Gase: Ar, N2, O2, O3, H2, NH3.

Eine Option für die In-situ-Ellipsometrie (hierfür benötigen wir 2 gekippte optische Ports) ist erforderlich.

Wir benötigen eine halbautomatische Lastsperre im System mit manueller Beladung der Wafer mit einer Vakuumzange. Das Werkzeug wird im Reinraum des Fraunhofer IKTS in Dresden (Winterbergstraße 28) installiert und erleichtert.

Dauer: 9 Monate
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Efre
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Fraunhofer IKTS

Winterbergstraße 28

1277 Dresden

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 11:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2021-04-26 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2021-02-26 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 11:00
Zusätzliche Informationen: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Dokumente URL: https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: https://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2021/S 021-049163 (2021-01-27)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-03-29)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-03-29 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-04-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 065-164264
Verweist auf Bekanntmachung: 2021/S 021-049163
ABl. S-Ausgabe: 65

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

1 Stück Beschichtungsanlage Wir konzentrieren uns bei unserer Suche auf ein gutes ISO9001-zertifiziertes 200-mm-System, das in der Lage ist, Al2O3-, SiO2-, High-k- und Metallnitride gemäß PEALD gemäß diesem Dokument abzuscheiden. Wir erwarten ein PEALD-Kit für das System, das eine schnelle Gasumschaltung ermöglicht. Es ist auch wichtig, dass die Ausgasung von Kammerwänden während der Verarbeitung im PEALD-Modus minimiert wird. Deshalb spezifizieren wir einen Heißwandreaktor mit Wandtemperaturen von bis zu 450

Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Es handelt sich hier um EFRE-Mittel.

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung des Produkts
Qualitätskriterium (Gewichtung): 55,00
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10,00
Preis (Gewichtung): 35,00

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-03-29 📅
Name: Picosun Oy
Postanschrift: Tietotie 3
Postort: Espoo
Postleitzahl: 02150
Land: Finnland 🇫🇮
E-Mail: christoph.hossbach@picosun.com 📧
Land: Manner-Suomi 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3

Ergänzende Informationen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Quelle: OJS 2021/S 065-164264 (2021-03-29)

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