Beschreibung der Beschaffung
Gerätebezeichnung: Hochauflösendes FE-Rasterelektronenmikroskop mit integriertem Raman-System
Eigenschaften des hochauflösendes FE-Rasterelektronenmikroskop:
• feldfreies Feldemitter-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) mit integriertem Scanning RAMAN System
• Spannungsversorgung für das Gerät im Deutschen Netz mit folgenden Werten (230 V; 50 Hz; Absicherung 16 A)
• variable Beschleunigungsspannung, 0.1 – 30 keV
• Erreichbare Auflösung < 1 nm (15 kV)
• Probenstrom-Bereich (Beam/Probe- current) von mindestens 5 pA bis 300 nA oder mehr
• Beam Deceleration (BD) Modus
• Betriebsarten Hochvakuumbetrieb und Niedervakuumbetrieb
• Pumpensystem ölfrei
• Vollständige Pumpenperipherie (Umlaufkühler falls nötig, Schläuche, Verteiler / Vorpumpensysteme im Nebenraum unterzubringen ca. 6 m vom Mikroskop entfernt)
• Niedervakuum-SE-Detektor
• Hochvakuum-SE-Detektor (Everhart-Thornly-Detektor)
• In der Linse/Säule integrierte SE und BSE Detektoren in verschiedenen Ebenen
• Gesteuerter, pneumatisch oder elektrisch rückziehbarer BSE-Detektor unter der Linse (Arbeitsbereich auch im Niedervakuumbetrieb)
• EDX-Analyse mit stickstofffreiem Detektor, standardfreie und standardbezogene Analyse, (Z>5)
• STEM / TE-System rückziehbar, simultane Darstellung im Hell- und/oder Dunkelfeld (BF/DF/HADF)
• Integrierter Plasmacleaner
• 5-achsiger (XYZ, R und Tilt) Probentisch mit motorisierter Probenbühne (X-/Y-Achsen mindestens 110 mm Verfahrweg; Z-Achse mindestens 60 mm Verfahrweg; Rotation, stufenlose 360° Rotation; Kippung (Neigung / Tilt) von mindestens -5° bis +90°)
• Probengewicht von mindestens 1 kg bei einer Kippung / Tilt von 70°
• Probengröße von mindestens 100 mm Durchmesser und mindestens 60mm Höhe verfahr- rotier- und kippbar (mindestens 45°, im analytischen Arbeitsabstand)
• Integriertes optisches Beobachtungssystem zur Beobachtung der Proben in die Kammer (IR-Kamera zur Navigation)
• Minimale Bildbreite (Sichtfeld) bei 10 mm Arbeitsabstand von 2,5 mm
• Bedienpult (Drehknöpfe und Funktionstasten / “control panel“ / Konsole)
• Vollständige Software zum Betrieb des Feldemitter-Rasterelektronenmikroskops
• Vollständiges Softwarepaket zur Bildbearbeitung (Vermessung, Einfärbung, Stitching) und Speicherung der Bilder in den Formaten (.tif, .png, bmp, .jpeg, .gif)
• Zu verwenden in deutscher UND englischer Sprache
• Einzelbildauflösung (ohne Stitching) von mindestens 6144x4096 Pixel oder größer
• Möglichkeit zur Aufnahme von Videosequenzen
• Aktive Schwingungsdämpfung
• Mindestens 4 zusätzliche freie Kammer-Ports für Erweiterungen von externen Geräten, in-situ Analytik
• Windows ® 10, 64-bit basiertes Computersystem, mindestens zwei 32“ Monitore (da für den Lehrbetrieb im Bereich von Gruppenvorführungen notwendig) und Eingabesystem (deutsche Tastatur und Maus)
• Arbeitsplatz mit Schreibtisch und Monitorhalterungen / Standfüße
• Raumbegutachtung mit Messprotokoll (Schwingung, elektromagnetische Felder usw.) vor der Auslieferung / Installation (Adresse, Raumbezeichnung)
• Lieferung des gesamten Gerätes bis spätestens 31.03.2022 (5 Monate nach Zuschlag)
• Anlieferung (Versand & Zoll-Gebühren) in den Aufstellungsraum; (Adresse, Raumbezeichnung) inklusive
• Vollständige Installation aller Komponenten
• Abnahme (Dokumentation der vollen Funktion aller Komponenten, Überprüfung und Darstellung der Leistungsmerkmale (maximal angegebene Auflösung aller möglichen Detektoren, Mindestanforderung an Probengröße, Probengewicht und Verfahrwege) im Übergabeprotokoll.) des gesamten Gerätes spätestens bis zum 30.04.2022 (spätestens 6 Monate nach Zuschlag)
• Einweisung und Schulung auf Deutsch vor Ort am Gerät nach Abnahme (4 Tage; innerhalb eines halben Jahres durchzuführen)
• Sprache der Software-Benutzeroberfläche Deutsch und Englisch
• 24 Monate Gewährleistung (oder länger) ab Abnahmedatum
• Möglichkeit zur telefonischen Unterstützung, sowie der Möglichkeit einer Fernwartung / Fehlerdiagnose (z.B. Teamviewer, oder ähnliche)
• Gerätesupport von mindestens 12 Jahren
Eigenschaften des integrierten Raman-Systems:
• Hoch-Präzise piezoelektrische laterale und axiale Bildgebung mit 250 x 250 x 250 µm Verfahrweg für beugungsbegrenzte Abbildung der Probenoberfläche
• Köhler-Weißlichtbeleuchtung
• Digitalkamera System für Hochauflösende RGB Bilder
• Signal Stabilisation (für Langzeit Signal- und Fokusstabilisation)
• Focus Stacking (erweiterte Fokustiefe wir Weißlichtaufnahmen)
• Hohe Stabilität des konfokalen Messaufbaus während der kompletten Lebensdauer des Systems durch flexible und gleichzeitig robuste Kopplung der System-Komponenten (Faserkopplung)
• Garantiert beugungsbegrenzte Punktlichtquelle für optimale Ortsauflösung auf der Probe bei gleichzeitig sehr hohem Lichtdurchsatz durch moderne Faserkopplung der optischen Peripherie mit dem Mikroskop
• Fokusgröße (laterale Auflösung) < 400nm FWHM bei 532nm Anregungswellenlänge und 100x/0.70NA Vakuumobjektiv
• Axiale Fokusgröße (Tiefenauflösung) < 1300nm FWHM bei 532nm Anregungswellenlänge und 100x/0.70NA Vakuumobjektiv
• Minimaler zusätzlicher Platzbedarf des RISE-Systems (ca. 1x1 m²) durch effiziente und flexible Kopplung des Mikroskops mit der optischen Peripherie (optische Glasfasern)
• Vollständige Integration in das HR-REM ohne dessen Funktionen zu beeinträchtigen
• Direkte Hardware-Positionsübergabe von REM an Raman Position
• 532 nm Laser mit mindestens 30 mW Ausgangsleistung und geeigneten Raman-Filtern für Messungen ab 90 rel. cm-1
• Erweiterbarkeit der Plattform weitere unabhängige Anregungswellenlängen (>4) durch modularen Strahlengang. (Multiwellenlängen-Koppler Konzept)
• Umschaltung der Laserlinien ohne Eingriff in den Strahlengang für z.B. Filterwechsel oder Gitteranpassung im Spektrometer
• Softwaregesteuerte und stufenlose sowie vom Laser selbst unabhängige Leistungseinstellung und -messung ohne Eingriff in die Lasersteuerung mit einer Genauigkeit von 0.1 mW für höchste Reproduzierbarkeit
• Leistungsmessung und -einstellung ohne Exposition der Probe möglich
• Linsenbasiertes spektral optimiertes Spektrometer für den jeweiligen Messbereich
• 300mm fokale Länge des Spektrometers für spektrale Hochauflösung
• Spektrale Auflösung (avg.) mit 532nm mit Gitter 600 l/mm (BLA@500nm) = 3,7 cm-1
• Spektrale Auflösung (avg.) mit 532nm mit Gitter 1800 l/mm (BLA@500nm) = 1,2 cm-1
• Abberationsarmes chromatisches Design zur Minimierung von Signalform-Verzerrungen und somit erleichtertem Peakfitting
• Softwarekontrollierter Gitterwechsel mit bis zu drei gleichzeitig montierten Gittern ohne manuelle Eingriffe der Benutzer
• Mindestens zwei Gitter vorhanden für jeweils Übersichtsspektren im gesamten Spektralbereich und Hochauflösung mit ca. 1 rel. cm-1/Pixel Auflösung
• Hocheffiziente thermoelektrisch gekühlte Back-Illuminated CCD Detektoren
• Hocheffizienter thermoelektrisch gekühlter BI (Back Illuminated) CCD Detektor
• 1024x127 Pixel mit 26 µm Pixelgröße
• Peak-Quanteneffizienz von mehr als 90% bei 550 nm
• Mit Scanner-Bewegung synchronisierte kontinuierliche Datenaufnahme der CCD mit mehr als 80 Spektren/s
• Parallelisierte Datenverarbeitung in Echtzeit durch FPGA basierte modulare Controller Architektur für Aufrüstbarkeit
• Schnelle Datenverbindung vom Controller zum PC
• Modulares Systemkonzept
• Modular wachsender Strahlengang ohne gemeinsame optische Bank garantiert zukünftige Erweiterbarkeit um weitere Spektrometer, Laser oder vergleichbares
zu verbinden