Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems

Universität der Bundeswehr München

Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt "VITAL-SENSE" durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf 2D Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Für den Forschungsaspekt Energie und Antrieb beabsichtigt die UniBw M, im Rahmen dieses Vergabeverfahrens das Elektronenstrahllithographiesystem zu erwerben.
Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems.
Die Anlage wird zur Herstellung und Belichtung kleinster Strukturen auf 4-Zoll-Wafern benötigt. Derart kleine Strukturen können nur mittels Elektronenstrahllithographie erzeugt werden. Die erforderliche Präzision der Lithographie ist nur gegeben, wenn diese Strukturen versatzfrei auf einem ganzen Wafer erzeugt werden können, sog. "stitching-freies" Schreiben.
Vom Lieferumfang umfasst sind auch ein Hochleistungs-PC und für den Betrieb des Elektronenstrahllithographiesystems erforderliche Software sowie eine 5-tägige Schulung und Einweisung in den Betrieb des Systems für das Personal der UniBw M. Für die Beschaffung des Auftragsgegenstands steht der UniBw M ein Budget von maximal EUR 600.00,00 (netto) zur Verfügung.
Die UniBw M behält sich vor, einzelne Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen und das Verfahren insgesamt aufzuheben, falls lediglich Angebote eingehen, die
Die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Elektronenstrahllithographiesystems soll möglichst bis zum 30.11.2021 abgeschlossen sein.
Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-11-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-09-23.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2021-09-23 Auftragsbekanntmachung
2022-02-07 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2021-09-23)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Universität der Bundeswehr München
Postanschrift: Werner-Heisenberg-Weg 39
Postort: Neubiberg
Postleitzahl: 85579
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: ZV I.3
Telefon: +49 8960043243 📞
E-Mail: unibwmuenchenzvi.3@bundeswehr.org 📧
Fax: +49 8960044013 📠
Region: München, Landkreis 🏙️
URL: http://www.evergabe-online.de/ 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=415743 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems M/HSB1/LT466/DTEC_HW”
Produkte/Dienstleistungen: Elektronenmikroskope 📦
Kurze Beschreibung:
“Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt "VITAL-SENSE" durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: München, Landkreis 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Siehe Verzeichnis der Empfängeranschriften
Beschreibung der Beschaffung:
“Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt "VITAL-SENSE" durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Preis
Dauer
Datum des Beginns: 2021-11-22 📅
Datum des Endes: 2022-03-30 📅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen: Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften...”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien: Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien: Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2021-11-01 13:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2021-12-01 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2021-11-01 13:01 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren): entfällt

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Die zur Nutzung der e-Vergabe-Plattform einzusetzenden elektronischen Mittel sind die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischen Werkzeuge der...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Fax: +49 2289499-163 📠
URL: https://www.bundeskartellamt.de/SharedDocs/Kontaktdaten/DE/Vergabekammern.html 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“§ 160 GWB Einleitung, Antrag (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Bundeskartellamt - Vergabekammern des Bundes
Postanschrift: Villemombler Str. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 22894990 📞
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Fax: +49 228-9499163 📠
URL: https://www.bundeskartellamt.de/SharedDocs/Kontaktdaten/DE/Vergabekammern.html 🌏
Quelle: OJS 2021/S 188-488568 (2021-09-23)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-02-07)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt "VITAL-SENSE" durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2021/S 188-488568

Auftragsvergabe

1️⃣
Vertragsnummer: 1
Titel:
“Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems”
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-11-09 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 0
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Raith GmbH
Postanschrift: Konrad-Adenauer-Allee 8
Postort: Dortmund
Postleitzahl: 44263
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 231950040 📞
Region: München, Landkreis 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
Quelle: OJS 2022/S 030-075267 (2022-02-07)