Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems

Universität der Bundeswehr München

Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt "VITAL-SENSE" durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf 2D Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Für den Forschungsaspekt Energie und Antrieb beabsichtigt die UniBw M, im Rahmen dieses Vergabeverfahrens das Elektronenstrahllithographiesystem zu erwerben.
Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems.
Die Anlage wird zur Herstellung und Belichtung kleinster Strukturen auf 4-Zoll-Wafern benötigt. Derart kleine Strukturen können nur mittels Elektronenstrahllithographie erzeugt werden. Die erforderliche Präzision der Lithographie ist nur gegeben, wenn diese Strukturen versatzfrei auf einem ganzen Wafer erzeugt werden können, sog. "stitching-freies" Schreiben.
Vom Lieferumfang umfasst sind auch ein Hochleistungs-PC und für den Betrieb des Elektronenstrahllithographiesystems erforderliche Software sowie eine 5-tägige Schulung und Einweisung in den Betrieb des Systems für das Personal der UniBw M. Für die Beschaffung des Auftragsgegenstands steht der UniBw M ein Budget von maximal EUR 600.00,00 (netto) zur Verfügung.
Die UniBw M behält sich vor, einzelne Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen und das Verfahren insgesamt aufzuheben, falls lediglich Angebote eingehen, die
Die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Elektronenstrahllithographiesystems soll möglichst bis zum 30.11.2021 abgeschlossen sein.
Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-11-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-09-23.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2021-09-23 Auftragsbekanntmachung
2022-02-07 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2021-09-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Elektronenmikroskope
Referenznummer: M/HSB1/LT466/DTEC_HW
Kurze Beschreibung:
Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt "VITAL-SENSE" durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf 2D Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Für den Forschungsaspekt Energie und Antrieb beabsichtigt die UniBw M, im Rahmen dieses Vergabeverfahrens das Elektronenstrahllithographiesystem zu erwerben. Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems. Die Anlage wird zur Herstellung und Belichtung kleinster Strukturen auf 4-Zoll-Wafern benötigt. Derart kleine Strukturen können nur mittels Elektronenstrahllithographie erzeugt werden. Die erforderliche Präzision der Lithographie ist nur gegeben, wenn diese Strukturen versatzfrei auf einem ganzen Wafer erzeugt werden können, sog. "stitching-freies" Schreiben. Vom Lieferumfang umfasst sind auch ein Hochleistungs-PC und für den Betrieb des Elektronenstrahllithographiesystems erforderliche Software sowie eine 5-tägige Schulung und Einweisung in den Betrieb des Systems für das Personal der UniBw M. Für die Beschaffung des Auftragsgegenstands steht der UniBw M ein Budget von maximal EUR 600.00,00 (netto) zur Verfügung. Die UniBw M behält sich vor, einzelne Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen und das Verfahren insgesamt aufzuheben, falls lediglich Angebote eingehen, die Die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Elektronenstrahllithographiesystems soll möglichst bis zum 30.11.2021 abgeschlossen sein. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Elektronenmikroskope 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Landkreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität der Bundeswehr München
Postanschrift: Werner-Heisenberg-Weg 39
Postleitzahl: 85579
Postort: Neubiberg
Kontakt
Internetadresse: http://www.evergabe-online.de/ 🌏
E-Mail: unibwmuenchenzvi.3@bundeswehr.org 📧
Telefon: +49 8960043243 📞
Fax: +49 8960044013 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=415743 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-09-23 📅
Einreichungsfrist: 2021-11-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-09-28 📅
Datum des Beginns: 2021-11-22 📅
Datum des Endes: 2022-03-30 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 188-488568
ABl. S-Ausgabe: 188
Zusätzliche Informationen
entfällt

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt "VITAL-SENSE" durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf 2D Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Für den Forschungsaspekt Energie und Antrieb beabsichtigt die UniBw M, im Rahmen dieses Vergabeverfahrens das Elektronenstrahllithographiesystem zu erwerben.
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Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems.
Die Anlage wird zur Herstellung und Belichtung kleinster Strukturen auf 4-Zoll-Wafern benötigt. Derart kleine Strukturen können nur mittels Elektronenstrahllithographie erzeugt werden. Die erforderliche Präzision der Lithographie ist nur gegeben, wenn diese Strukturen versatzfrei auf einem ganzen Wafer erzeugt werden können, sog. "stitching-freies" Schreiben.
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Vom Lieferumfang umfasst sind auch ein Hochleistungs-PC und für den Betrieb des Elektronenstrahllithographiesystems erforderliche Software sowie eine 5-tägige Schulung und Einweisung in den Betrieb des Systems für das Personal der UniBw M. Für die Beschaffung des Auftragsgegenstands steht der UniBw M ein Budget von maximal EUR 600.00,00 (netto) zur Verfügung.
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Die UniBw M behält sich vor, einzelne Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen und das Verfahren insgesamt aufzuheben, falls lediglich Angebote eingehen, die
Die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Elektronenstrahllithographiesystems soll möglichst bis zum 30.11.2021 abgeschlossen sein.
Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.
Die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Elektronenstrahllithographiesystems soll möglichst bis zum 30.03.2022 abgeschlossen sein.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Siehe Verzeichnis der Empfängeranschriften

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:
Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften möglichst von jedem Mitglied):
a) Formlose Eigenerklärung, aus der hervorgeht,
— dass keine Ausschlussgründe im Sinne des §§ 123, 124 GWB vorliegen bzw. erfolgreiche Selbstreinigungsmaßnahmen im Sinne des § 125 GWB durchgeführt worden sind;
— der Bieter in das einschlägige Berufsregister (Handelsregister oder Handwerksrolle) oder ein vergleichbares Register (Standeskammern etc.) des Herkunftslandes eingetragen ist sowie für seine Berufshaftpflichtversicherung, seine Krankenkasse(n) und seiner Berufsgenossenschaft rückstandslos Beiträge entrichtet hat sowie seinen steuerlichen Verpflichtungen nachgekommen ist.
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b) Formlose Eigenerklärung, in der der Bieter erklärt, ob und welche Teilleistungen des ausgeschriebenen Auftrags er durch Nachunternehmer ausführen lassen wird.
c) Bietergemeinschaften sollen zusätzlich eine Erklärung abgeben, aus der hervorgeht, dass kein Verstoß gegen Kartellrecht vorliegt, und dass keine unzulässigen wettbewerbsbeschränkenden Absprachen getroffen wurden.
Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3. genannten Website hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):
a) Angabe der Gesamtumsätze der letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre, möglichst durch Jahresabschlüsse und Prüfberichte belegt, sowie die Angabe der Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre mit Leistungen, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand vergleichbar sind (Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Elektronenstrahllithografiesystemen).
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b) Bestätigung, dass der Bieter eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme von mindestens Euro 1,5 Millionen pro Schadensfall, 2-fach maximiert, unterhält oder im Falle der Auftragserteilung abschließen wird.
Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV genannten Voraussetzungen hingewiesen. Wenn und soweit sich der Bieter auf die Eignung des Nachunternehmers beruft, ist mit dem Angebot insbesondere eine Verpflichtungserklärung des Nachunternehmers einzureichen, dass dieser seine Ressourcen und Kapazitäten dem Bieter im Auftragsfall zur Verfügung stellt.
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Bieter sollten die auf der in Ziffer I.3) genannten Website hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):
a) Vorlage von mindestens drei Referenzen über Aufträge, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand in Bezug auf die Leistung vergleichbar sind aus den letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, einschließlich der Angabe eines Ansprechpartners bei dem jeweiligen Auftraggeber der als Referenz genannten Aufträge. Mit den Referenzen sollen die Bieter möglichst Erfahrung mit in der nicht invasiven Messung von Magnetfeldern (Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Elektronenstrahllithografiesystemen) nachweisen.
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b) Angabe der Anzahl der in den letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren durchschnittlich jährlich beschäftigten Arbeitskräfte insgesamt und gesondert ausgewiesen das technische Leitungspersonal
Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV genannten Voraussetzungen hingewiesen. Wenn und soweit sich der Bieter auf die Eignung des Nachunternehmers beruft, ist mit dem Angebot insbesondere eine Verpflichtungserklärung des Nachunternehmers einzureichen, dass dieser seine Ressourcen und Kapazitäten dem Bieter im Auftragsfall zur Verfügung stellt.
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Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Website hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 13:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2021-12-01 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2021-11-01 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 13:01
Zusätzliche Informationen: entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: ZV I.3
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=415743 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Die zur Nutzung der e-Vergabe-Plattform einzusetzenden elektronischen Mittel sind die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform. Diese werden über die mit "Anwendungen" bezeichneten Menüpunkte auf www.evergabe-online.de zur Verfügung gestellt. Hierzu gehören für Unternehmen der Angebots-Assistenten (AnA) und der Signatur-Client für Bieter (Sig-Client) für elektronische Signaturen sowie das LV-Cockpit (www.lv-cockpit.de).
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Die technischen Parameter zur Einreichung von Teilnahmeanträgen, Angeboten und Interessensbestätigungen verwendeten elektronischen Mittel sind durch die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform bestimmt. Verwendete Verschlüsselungs- und Zeiterfassungsverfahren sind Bestandteil der Clients der e-Vergabe-Plattform sowie der Plattform selber und der elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform.
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Weitergehende Informationen stehen auf https://www.evergabe-online.info bereit.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Fax: +49 2289499-163 📠
Internetadresse: https://www.bundeskartellamt.de/SharedDocs/Kontaktdaten/DE/Vergabekammern.html 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
§ 160 GWB Einleitung, Antrag
(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.
(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.
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(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit
1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 GWB bleibt unberührt,
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2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2 GWB. § 134 Absatz 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt.
§ 134 GWB Informations- und Wartepflicht
§ 135 Unwirksamkeit
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Bundeskartellamt - Vergabekammern des Bundes
Postanschrift: Villemombler Str. 76
Telefon: +49 22894990 📞
Fax: +49 228-9499163 📠
Quelle: OJS 2021/S 188-488568 (2021-09-23)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-02-07)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-02-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-02-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 030-075267
Verweist auf Bekanntmachung: 2021/S 188-488568
ABl. S-Ausgabe: 30

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt "VITAL-SENSE" durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf 2D Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Für den Forschungsaspekt Energie und Antrieb beabsichtigt die UniBw M, im Rahmen dieses Vergabeverfahrens das Elektronenstrahllithographiesystem zu erwerben. Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems. Die Anlage wird zur Herstellung und Belichtung kleinster Strukturen auf 4-Zoll-Wafern benötigt. Derart kleine Strukturen können nur mittels Elektronenstrahllithographie erzeugt werden. Die erforderliche Präzision der Lithographie ist nur gegeben, wenn diese Strukturen versatzfrei auf einem ganzen Wafer erzeugt werden können, sog. "stitching-freies" Schreiben. Vom Lieferumfang umfasst sind auch ein Hochleistungs-PC und für den Betrieb des Elektronenstrahllithographiesystems erforderliche Software sowie eine 5-tägige Schulung und Einweisung in den Betrieb des Systems für das Personal der UniBw M. Für die Beschaffung des Auftragsgegenstands steht der UniBw M ein Budget von maximal EUR 600.00,00 (netto) zur Verfügung. Die UniBw M behält sich vor, einzelne Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen und das Verfahren insgesamt aufzuheben, falls lediglich Angebote eingehen, die Die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Elektronenstrahllithographiesystems soll möglichst bis zum 30.03.2022 abgeschlossen sein. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.
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Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-11-09 📅
Name: Raith GmbH
Postanschrift: Konrad-Adenauer-Allee 8
Postort: Dortmund
Postleitzahl: 44263
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 231950040 📞
Land: München, Landkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Quelle: OJS 2022/S 030-075267 (2022-02-07)
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Region:
Deutschland Bayern Oberbayern München, Landkreis
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