Beschreibung der Optionen
Folgende Optionen sollen mit angeboten werden und sind separat zu auszupreisen:
Technik:
• Regelbares Ansaugvakuum für das Handling von Wafern mit Membranen,
• Ersatzteil-Kit für Verschleißteile, zur Vermeidung von Ausfallszeiten,
• Ermittlung der optimalen Belichtungsdosis in mindestens 6 Stufen - ohne Entnahme des Substrates und der Maske,
• UV-Sensor für Wellenlänge 400 nm zur Referenzermittlung.
Optikzubehör:
• 10-fach Objektive für Ober- und Unterseitenmikroskop.
Substrathalter (Chucks):
• 1 Stück Chuck für Wafer 100 mm Ø, geeignet für Vorder - und Rückseitenjustage, mit Vakuumansaugung im Randbereich des Wafers nach Vorgabe,
• 1 Stück Chuck für Wafer 150 mm Ø, geeignet für Vorder- und Rückseitenjustage, mit Vakuumansaugung im Randbereich des Wafers nach Vorgabe,
• 1 Stück Chuck für Wafer 150 mm Ø, geeignet für Vorder- und Rückseitenjustage, mit Vakuumansaugung über den gesamten Wafer.
Maskenhalter:
• 1 Stück für 7“ x 7“,
• 1 Stück für 5“ x 5“ für Proximitybelichtung.
Zusatzausrüstungen:
Die Nachrüstbarkeit der folgenden Optionen muss bei Bedarf möglich sein:
• Nanoimprint Lithografie,
• Softwaremodul für Bondalignment sowie Bondchucks.