Los 1 - Mask Aligner

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt einen Mask Aligner aus, welcher zur Belichtung von Photoresistschichten durch entsprechende Photomasken mittels UV-Licht eingesetzt werden soll. Weiterhin soll der Mask Aligner für die Vorder- und Rückseitenbelichtung/-justage von diversen Substraten sowie für Flutbelichtungen nutzbar sein.
- Wertungskriterien: technische Spezifikationen 60%, Preis 40%

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-12-09. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-11-04.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2021-11-04 Auftragsbekanntmachung
2022-02-01 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2021-11-04)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Postanschrift: Albert-Einstein-Straße 9
Postort: Jena
Postleitzahl: 07745
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: ipht-ausschreibungen@leibniz-ipht.de 📧
Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.leibniz-ipht.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRRLC2/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRRLC2 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: eingetragener Verein

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Los 1 - Mask Aligner 08.21.O.01
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Kurze Beschreibung:
“Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt einen Mask Aligner aus, welcher zur Belichtung von Photoresistschichten durch entsprechende...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. Albert-Einstein-Straße 9 07745 Jena”
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt einen Mask Aligner aus, welcher zur Belichtung von Photoresistschichten durch entsprechende...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Endes: 2022-09-30 📅
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Optionen bitte separat auspreisen. Technik: - Regelbares Ansaugvakuum für das Handling von Wafern mit Membranen, - Ersatzteil-Kit für Verschleißteile, zur...”    Mehr anzeigen
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union: 2021 FGI 0020

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“- Besonderen Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz-IPHT Jena - Eigenerklärungen gemäß ThürVgG - Eigenerklärung für nicht präqualifizierte Unternehmen”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2021-12-09 13:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2022-02-07 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2021-12-09 13:00 📅

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRRLC2
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Weimarplatz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2021/S 217-570487 (2021-11-04)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-02-01)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Leibniz-Institut für Photonische Technologien
URL: https://www.leibniz-ipht.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: eingetragener Verein, Mitglied der Leibniz-Gemeinschaft

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Die Ausschreibung "08.21.O.01 / Los 1 - Mask Aligner" stellt Los 1 von 3 Ausschreibungen des Forschungsprojektes "Ausbau der photolithographischen...”    Mehr anzeigen
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 229 706 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Die Ausschreibung "08.21.O.01 / Los 1 - Mask Aligner" stellt Los 1 von 3 Ausschreibungen des Forschungsprojektes "Ausbau der photolithographischen...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 60%
Preis (Gewichtung): 40%
Informationen über Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Folgende Optionen sollen mit angeboten werden und sind separat zu auszupreisen: Technik: • Regelbares Ansaugvakuum für das Handling von Wafern mit...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2021/S 217-570487

Auftragsvergabe

1️⃣
Vertragsnummer: 2220002/295304
Los-Identifikationsnummer: 1
Titel: Los 1 - Mask Aligner
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-01-17 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: EV Group E. Thallner GmbH
Postanschrift: Hartham 13
Postort: Neuhaus
Postleitzahl: 94152
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Passau, Kreisfreie Stadt 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 229 706 💰
Quelle: OJS 2022/S 025-061637 (2022-02-01)