Nassätztool Platin-Ätzung

Kurze Beschreibung

Allgemeine Information:

— Zur Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie muss ein Plan für die Ersatzteilbeschaffung für die darauf folgenden 3 Jahre ausgestellt werden,

— Die Anlage wir ein einem Reinraum Klasse ISO 3-5 aufgestellt.

Die Anlage muss folgende Anforderungen erfüllen:

— Maximale Größe (b x l x h): 1.00 m x 1.65 m x 2.50 m,

— Bearbeitung von 8" Si-Substraten im Batch (1x25),

— Anlage muss „State-of-the-art“ sein,

— Kompatibel mit Carrier des Typs Entegris A192 – 81M (low profile PFA-Carrier),

— Ein Prozessbecken das kompatibel mit Königswasser (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3) ist und auf mindestens 90 GradC geheizt werden kann,

— Möglichkeit, das Königswasser bis zu einem Verhältnis 1:1 mit DIW zu verdünnen (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3 und 8 Volumenteile DIW),

— Optional: Carrier kann im Prozessbecken bewegt werden (Agitation),

— Ein DIW-Spülbecken,

— Möglichkeit, HCl und/oder HNO3 vor und während des Prozesses an bestimmten Zeiten zu spiken,

— Manuelle Be- und Entladung, automatischer Transfer des Carriers zwischen Prozess- und Spülbecken,

— Befüllen des Prozesstanks mit erfolgt aus der Zentralversorgung,

— Entsorgung der Prozesschemikalien aus dem Prozessbecken erfolgt in eine Zentralentsorgung,

— Umwälzfiltration für Prozessbecken: Pumpe und 0.1 ?m Filter (Typ: Pall ABF1UFT3EH1K3),

— Wartungsarbeiten sind ausschließlich von der Anlagenvorderseite und Anlagenrückseite möglich, kein Zugriff von der Anlagenseite möglich,

— Alle Bedienelemente müssen sich an der Anlagenvorderseite befinden,

— Ergonomische Bedienungsoberfläche (frei positionierbarer Bildschirm),

— Signalleuchten an der Anlagenvorderseite (mind. Rot, Gelb, Grün),

— Elektrische Anschlüsse: 230/400VAC 50Hz TN-S Netz (N/PE getrennt),

— EG-Maschinenrichtlinie in der aktuellen Fassung muss erfüllt werden,

— 2014/30/EU EMV ist erfüllt,

— Ablage muss CE zertifiziert sein.

Software:

— Verfügbar in deutscher Sprache,

— Mehrere passwortgeschützte Benutzerlevel,

— Mehrere Rezepte können gespeichert werden,

— Individuelle Rezepte können erstellt werden, mit größtmöglicher Flexibilität der Prozessparameter,

— Protokollierung von Benutzeraktivitäten, Prozessen und Fehlermeldungen.

Zusätzliche Anforderungen:

— 12 Monate Garantie,

— Anlagentraining für Operator/Maintenance/Prozessingenieure,

— Handbücher in Deutsch, verfügbar digital sowie ausgedruckt auf Reinraumpapier,

— Ersatzteilkit (bitte spezifizieren),

— Lieferung nach Incoterm 2010 DDP, DPU oder DAP,

— Bei Lieferungen außerhalb der EU ist der Lieferant auch der Importeur,

— Medienanschlüsse sind in einem technischen Klärungsgespräch zu definieren.

Zusätzliche Informationen

Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de

Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.

Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.

Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.

Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und – sofern im konkreten Verfahren einschlägig – für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.

Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.

Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYP2.