Analytisches Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit integriertem Rastersondenmikroskop

Bergische Universität Wuppertal

Es soll ein analytisches Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit integriertem Rastersondenmikroskop zur Analyse neuartiger, im Rahmen der Forschungsarbeiten am Zentrum hergestellter Materialien, beschafft werden. Das Gerät soll einen sehr guten Materialkontrast bei der Detektion von Sekundär- und Rückstreuelektronen ermöglichen. Lokale chemische Analysen sollen mit Hilfe der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX) hochortsaufgelöst erfolgen. Eine Erfassung von örtlichen kristallinen Eigenschaften ist über Elektronenrückstreubeugung (EBSD) geplant. Dazu ist eine kontrollierte fokussierte Ionenstrahlpräparation der Probenoberfläche erforderlich. Das integrierte Rastersondenmikroskop soll korrelierte Analysen ermöglichen, z.B. neben der Aufnahme der Topographie unter anderem eine Messung der elektronischen und thermischen Eigenschaften.
Der Vorteil der Kombination von einem Rasterelektronen- und Rastersondenmikroskop in einem Gerät besteht darin, dass der Elektronenstrahl und die Rastersonde sowohl als Detektor, zur Erfassung von unterschiedlichen lokalen Wechselwirkungsprodukten an der gleichen Probenstelle, als auch als Aktuatoren, zur Modifizierung von örtlichen Probeneigenschaften, verwendet werden können. Diese Hybridmesstechniken geben im Gegensatz zu rein rasterelektronen- bzw. rein rastersondenmikroskopischen Verfahren Zugang zu einer Vielzahl von weiteren relevanten Probeneigenschaften mit höchster Ortsauflösung.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-08-15. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-07-18.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Carl Zeiss Microscopy Deutschland

Wer?

• Bergische Universität Wuppertal

Wie?

• Dunkelfeld- und Rastersondenmikroskope › Rastersondenmikroskope
• Elektronenmikroskope › Rasterelektronenmikroskope

Wo?

• Düsseldorf › Wuppertal, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2022-07-18	Auftragsbekanntmachung
2022-08-11	Ergänzende Angaben
2022-12-15	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2022-07-18)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Rasterelektronenmikroskope
Referenznummer: D622001
Kurze Beschreibung:

Es soll ein analytisches Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit integriertem Rastersondenmikroskop zur Analyse neuartiger, im Rahmen der Forschungsarbeiten am Zentrum hergestellter Materialien, beschafft werden. Das Gerät soll einen sehr guten Materialkontrast bei der Detektion von Sekundär- und Rückstreuelektronen ermöglichen. Lokale chemische Analysen sollen mit Hilfe der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX) hochortsaufgelöst erfolgen. Eine Erfassung von örtlichen kristallinen Eigenschaften ist über Elektronenrückstreubeugung (EBSD) geplant. Dazu ist eine kontrollierte fokussierte Ionenstrahlpräparation der Probenoberfläche erforderlich. Das integrierte Rastersondenmikroskop soll korrelierte Analysen ermöglichen, z.B. neben der Aufnahme der Topographie unter anderem eine Messung der elektronischen und thermischen Eigenschaften. Der Vorteil der Kombination von einem Rasterelektronen- und Rastersondenmikroskop in einem Gerät besteht darin, dass der Elektronenstrahl und die Rastersonde sowohl als Detektor, zur Erfassung von unterschiedlichen lokalen Wechselwirkungsprodukten an der gleichen Probenstelle, als auch als Aktuatoren, zur Modifizierung von örtlichen Probeneigenschaften, verwendet werden können. Diese Hybridmesstechniken geben im Gegensatz zu rein rasterelektronen- bzw. rein rastersondenmikroskopischen Verfahren Zugang zu einer Vielzahl von weiteren relevanten Probeneigenschaften mit höchster Ortsauflösung.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Rasterelektronenmikroskope 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Rastersondenmikroskope 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Wuppertal, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Bergische Universität Wuppertal
Postanschrift: Gaußstr. 20
Postleitzahl: 42119
Postort: Wuppertal
Kontakt
Internetadresse: https://www.uni-wuppertal.de/de/ 🌏
E-Mail: dez6vergabe@uni-wuppertal.de 📧
URL der Dokumente: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY6NDFZW/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY6NDFZW 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-07-18 📅
Einreichungsfrist: 2022-08-15 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-07-22 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 140-397570
ABl. S-Ausgabe: 140
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXPNY6NDFZW

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Der Vorteil der Kombination von einem Rasterelektronen- und Rastersondenmikroskop in einem Gerät besteht darin, dass der Elektronenstrahl und die Rastersonde sowohl als Detektor, zur Erfassung von unterschiedlichen lokalen Wechselwirkungsprodukten an der gleichen Probenstelle, als auch als Aktuatoren, zur Modifizierung von örtlichen Probeneigenschaften, verwendet werden können. Diese Hybridmesstechniken geben im Gegensatz zu rein rasterelektronen- bzw. rein rastersondenmikroskopischen Verfahren Zugang zu einer Vielzahl von weiteren relevanten Probeneigenschaften mit höchster Ortsauflösung.

- Lieferung, Aufbau und umweltgerechte Entsorgung der Verpackungen müssen im Angebot enthalten sein.

- Das Gerät muss als Neugerät angeboten werden.

- Support via Telefon oder Videokonferenz mindestens zu den üblichen Geschäftszeiten (Mo.-Fr. 09:00 - 17:00 Uhr).

- Mindestens 12 Monate Garantie für alle Komponenten.

- Vollständige Ersatzteilverfügbarkeit muss für mindestens 10 Jahre bestehen.

- Das Gerät muss eine Abbildung mit einer Ortsauflösung < 1 nm bei hohen Primärelektronenenergien von > 15 keV und einer Ortsauflösung < 1,5 nm bei geringen Beschleunigungsenergien < 1 keV gewährleisten.

- Eine Vorrichtung zur Bereinigung von Kontaminationen auf der Probenoberfläche muss vorhanden sein.

- Das Gerät muss über Inlens-Sekundär-, Inlens-Rückstreuelektronen- als auch über einen STEM-Detektor Detektoren verfügen.

- Das Gerät muss mit einem zusätzlichen Sekundärelektronen-Detektor ausgestattet sein.

- Das Gerät muss eine Elektronenstrahllithographie von Nanometer Bauelementen ermöglichen.

- Das Gerät muss über eine EDX-Mikroanalyse verfügen.

- Das Gerät muss eine zuverlässige Detektion von Elementen mit niedrigen Ordnungszahlen (> Be) gewährleisten. Punktanalysen und Mapping müssen möglich sein.

- Das Gerät muss eine Datenbank besitzen, die eine Zuordnung zahlreicher Materialspektren erlaubt.

- Das Gerät muss für elektrisch schlecht leitende Materialien die Möglichkeit besitzen, Probenaufladungen durch den Primärelektronenstrahl bei hohen Energien zu vermeiden.

- Das Gerät muss mit einem EBSD-System mit schneller Detektionseinheit ausgestattet sein.

- Das Gerät muss gewährleisten, dass örtliche kristalline Eigenschaften erfasst werden können. Punktanalyse und Mapping müssen möglich sein.

- Für EBSD, Tomographie- und Querschnittsanalysen von Schichtsystemen muss das Gerät mit einem vollständig integrierten FIB-System ausgestattet sein.

- Das FIB-System muss es erlauben, lokal Nanometer-Schichten schrittweise abzutragen (Tomographie).

- Das System muss einen Sekundär-Ionen-Detektor besitzen.

- Es muss eine in situ Probenpräparationsmöglichkeit zur Verfügung stehen.

- Es muss ein System zur Unterstützung von Ätzprozessen bei dickeren Probenstrukturen vorhanden sein.

- Das Gerät muss mit einem integrierbaren Rastersondenmikroskop ausgestattet sein.

- Es muss ein Probentransfer unter Vakuum gewährleistet sein.

- Das System muss mit Hilfe einer Laserdeflektionseinheit uneingeschränkt neben der Erfassung der Topographie die Möglichkeit besitzen, AFM-basierte Nanoanalysen, wie z.B. KPFM, c-AFM und SThM, durchzuführen.

- Das Gerät muss ein Proben-Schleuse-System besitzen, welches einen Probentransfer aus einer Handschuhbox unter Schutzgas ins Gerät gewährleistet, ohne die Proben an Luft auszusetzen.

- Das Proben-Schleuse-System muss auch im Rastersondenmikroskop-Betrieb den Probentransfer aus einer Handschuhbox unter Schutzgas ins Gerät gewährleisten, ohne die Proben an Luft auszusetzen.

- Das Gerät muss ein CE-Zertifikat und eine Röntgenzulassung bzw. Bauartzulassung nach RöV Richtlinien besitzen.

Dauer: 12 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Bergische Universität Wuppertal Campus Freudenberg Rainer-Gruenter-Straße 21 42119 Wuppertal Der Aufstellort befindet sich im Erdgeschoss (in der Anlieferungszone ist der Zugang unmittelbar mit einem LKW erreichbar) des Gebäude FG auf dem Campus Freudenberg.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Nachweis einer Berufs- oder Betriebshaftpflichtversicherung mindestens in folgender Höhe: 2.661.000,00 EUR

Technische und berufliche Fähigkeiten:

- Liste der wesentlichen in den letzten fünf Jahren erbrachten Leistungen mit Angabe des Wertes, des Zeitraums der Leistungserbringung und des Auftraggebers (Anlage E1 - Referenzen). Hier sind mindestens 2 vergleichbare Referenzen zu nennen. Als vergleichbar gilt ein Auftrag, wenn das jeweils installierte Rastersondenmikroskop eine Laserdeflektionseinheit besitzt.

- Nachweis der Zertifizierung nach DIN EN ISO…

… 9001 oder gleichwertig

… 14001 oder gleichwertig

- Angabe, welche Teile des Auftrags das Unternehmen unter Umständen als Unteraufträge zu vergeben beabsichtigt

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

- Lieferung, Aufbau und umweltgerechte Entsorgung der Verpackungen müssen im Angebot enthalten sein.

- Das Gerät muss als Neugerät angeboten werden.

- Support via Telefon oder Videokonferenz mindestens zu den üblichen Geschäftszeiten (Mo.-Fr. 09:00 - 17:00 Uhr).

- Mindestens 12 Monate Garantie für alle Komponenten.

- Vollständige Ersatzteilverfügbarkeit muss für mindestens 10 Jahre bestehen.

- Eine Vorrichtung zur Bereinigung von Kontaminationen auf der Probenoberfläche muss vorhanden sein.

- Das Gerät muss über Inlens-Sekundär-, Inlens-Rückstreuelektronen- als auch über einen STEM-Detektor Detektoren verfügen.

- Das Gerät muss mit einem zusätzlichen Sekundärelektronen-Detektor ausgestattet sein.

- Das Gerät muss eine Elektronenstrahllithographie von Nanometer Bauelementen ermöglichen.

- Das Gerät muss über eine EDX-Mikroanalyse verfügen.

- Das Gerät muss eine zuverlässige Detektion von Elementen mit niedrigen Ordnungszahlen (> Be) gewährleisten. Punktanalysen und Mapping müssen möglich sein.

- Das Gerät muss eine Datenbank besitzen, die eine Zuordnung zahlreicher Materialspektren erlaubt.

- Das Gerät muss für elektrisch schlecht leitende Materialien die Möglichkeit besitzen, Probenaufladungen durch den Primärelektronenstrahl bei hohen Energien zu vermeiden.

- Das Gerät muss mit einem EBSD-System mit schneller Detektionseinheit ausgestattet sein.

- Das Gerät muss gewährleisten, dass örtliche kristalline Eigenschaften erfasst werden können. Punktanalyse und Mapping müssen möglich sein.

- Für EBSD, Tomographie- und Querschnittsanalysen von Schichtsystemen muss das Gerät mit einem vollständig integrierten FIB-System ausgestattet sein.

- Das FIB-System muss es erlauben, lokal Nanometer-Schichten schrittweise abzutragen (Tomographie).

- Das System muss einen Sekundär-Ionen-Detektor besitzen.

- Es muss eine in situ Probenpräparationsmöglichkeit zur Verfügung stehen.

- Es muss ein System zur Unterstützung von Ätzprozessen bei dickeren Probenstrukturen vorhanden sein.

- Das Gerät muss mit einem integrierbaren Rastersondenmikroskop ausgestattet sein.

- Es muss ein Probentransfer unter Vakuum gewährleistet sein.

- Das Gerät muss ein Proben-Schleuse-System besitzen, welches einen Probentransfer aus einer Handschuhbox unter Schutzgas ins Gerät gewährleistet, ohne die Proben an Luft auszusetzen.

- Das Proben-Schleuse-System muss auch im Rastersondenmikroskop-Betrieb den Probentransfer aus einer Handschuhbox unter Schutzgas ins Gerät gewährleisten, ohne die Proben an Luft auszusetzen.

- Das Gerät muss ein CE-Zertifikat und eine Röntgenzulassung bzw. Bauartzulassung nach RöV Richtlinien besitzen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2022-08-31 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-12-02 📅

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Universität
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY6NDFZW/documents 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland - Spruchkörper Düsseldorf
Postanschrift: Zeughausstraße 2-10
Postort: Köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 221147-3045 📞
E-Mail: vkrhl@bezreg-koeln.nrw.de 📧
Fax: +49 211147-2889 📠
Internetadresse: https://www.bezreg-koeln.nrw.de/brk_internet/vergabekammer/ 🌏
Quelle: OJS 2022/S 140-397570 (2022-07-18)

Ergänzende Angaben (2022-08-11)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-08-11 📅
Einreichungsfrist: 2022-08-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-08-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 156-447636
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 140-397570
ABl. S-Ausgabe: 156
Zusätzliche Informationen

Am 15.07.2022 wurde der Versuch unternommen, die Bekanntmachung des Verfahrens D622001 an das Amt für Veröffentlichungen der EU zu senden. Entsprechend waren auch die Fristen angesetzt. Da die notwendige eSender Schnittstelle aufgrund technischer Probleme nicht zur Verfügung stand, konnte die Bekanntmachung erst am 18.07.2022 an das Amt für Veröffentlichungen der EU versendet werden. Dies beeinflusst natürlich auch die geplanten Fristen, da die im § 17 Abs. 2 VgV vorgesehene Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge berücksichtigt werden muss. Die Fristen wurden in der Vergabegrundlage und im Vergabemarktplatz entsprechend angepasst. Die angepasste Vergabegrundlage wurde mit Datum vom 20.07.2022 im Vergabemarktplatz zur Verfügung gestellt. Die betroffenen Änderungen sind in der Vergabegrundlage gelb markiert.

Quelle: OJS 2022/S 156-447636 (2022-08-11)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-12-15)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 1 490 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-12-15 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-12-20 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 245-708690
ABl. S-Ausgabe: 245
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXPNY6NDNVF

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Erfüllungsgrad des Leistungsverzeichnisses
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Preis (Gewichtung): 50

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-11-14 📅
Name: Carl Zeiss Microscopy Deutschland
Postanschrift: Carl-Zeiss Str. 22
Postort: Oberkochen
Postleitzahl: 73447
Land: Deutschland 🇩🇪
Ostalbkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 1 490 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2022/S 245-708690 (2022-12-15)

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