Electron Beam Lithography System

Technische Universität München, TUM Zentrum für QuantumEngineering

This call for tender is for the purchase of an electron beam lithography system for the nanofabrication of devices, chips, structures and patterns required for research purposes. The system must be able to expose electron-sensitive resists in specific CAD designed patterns. We require a turn-key solution including all required hardware, software and peripheral devices necessary for system operation. For a more detailled overview of our required specifications we refer you to the Performance Specifications document.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-09-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-07-27.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2022-07-27 Auftragsbekanntmachung
2022-08-04 Ergänzende Angaben
2022-11-02 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2022-07-27)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Technische Universität München, TUM Zentrum für QuantumEngineering
Postort: Garching
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fabian.kessler@tum.de 📧
Region: München, Landkreis 🏙️
URL: www.tum.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0RWXR/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0RWXR 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Electron Beam Lithography System 024/2022
Produkte/Dienstleistungen: Rasterelektronenmikroskope 📦
Kurze Beschreibung:
“This call for tender is for the purchase of an electron beam lithography system for the nanofabrication of devices, chips, structures and patterns required...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: München, Landkreis 🏙️
Beschreibung der Beschaffung: see above
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 18
Informationen über Varianten
Es werden Varianten akzeptiert

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Self-declaration of the total yearly turnover of the economic operator, based on the last three fiscal years.”
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Self-declaration (according to the following requirements) of a sufficient level of experience demonstrated by at least 2 references (each having as subject...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2022-09-01 23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 2
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2022-09-02 09:00 📅

Ergänzende Informationen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YK0RWXR
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Südbayern
Postanschrift: Maximilianstrasse 39
Postort: Munich
Postleitzahl: 80538
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 8921762411 📞
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de 📧
Fax: +49 8921762847 📠
URL: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/behoerde/mittelinstanz/vergabekammer/ 🌏
Quelle: OJS 2022/S 146-417230 (2022-07-27)
Ergänzende Angaben (2022-08-04)

Ergänzende Informationen
Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2022/S 146-417230

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.2
Ort des zu ändernden Textes: Date has been corrected to 05.09.2022
Alter Wert
Datum: 2022-09-01 📅
Zeit: 23:59
Neuer Wert
Datum: 2022-09-05 📅
Zeit: 23:59
Quelle: OJS 2022/S 152-434731 (2022-08-04)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-11-02)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Technische Universität München
Nationale Registrierungsnummer: DE212
Postanschrift: Arcisstr. 21
Postort: München
Postleitzahl: 80333
Kontaktperson: Prof. Dr. Christan Pfleiderer
Telefon: +49 8928914720 📞
E-Mail: christian.pfleiderer@ph.tum.de 📧
URL: https://www.groups.ph.tum.de/ 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“This call for tender was for the purchase of an electron beam lithography system for the nanofabrication of devices, chips, structures and patterns required...”    Mehr anzeigen
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 1 500 000 💰
Beschreibung
Ort der Leistung: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Beschreibung der Beschaffung: cf. II.1.4)
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technical Specifications / Quality
Qualitätskriterium (Gewichtung): 45%
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Innovative Properties
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Preis (Gewichtung): 35%

Verfahren
Informationen zur elektronischen Auktion
Es wird eine elektronische Auktion durchgeführt
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2022/S 146-417230

Auftragsvergabe

1️⃣
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-10-10 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 2
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 3
Der Auftrag wurde an eine Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern vergeben
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: SEMTech Solutions, Inc.
Postanschrift: 3 Executive Park Dr.
Postort: North Billerica
Postleitzahl: 01862
Land: Vereinigte Staaten 🇺🇸
Telefon: +1 9786639822 📞
E-Mail: sales@semtechsolutions.com 📧
Fax: +1 9786639823 📠
Region: us 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Name: Elionix, Inc.
Postanschrift: 3-7-6 Motoyokoya ma-cho Hachioji
Postort: Tokyo
Postleitzahl: 192-0063
Land: Japan 🇯🇵
Telefon: +81 426260611 📞
E-Mail: sales@elionix.com 📧
Fax: +81 426266136 📠
Region: jp 🏙️
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Geschätzter Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 1 500 000 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 1 500 000 💰

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Südbayern bei Regierung Oberbayern
Postanschrift: Maximilianstr. 39
Postort: München
Telefon: +49 8921760 📞
Fax: +49 8921762914 📠
Quelle: OJS 2022/S 214-614249 (2022-11-02)