Electron Beam Lithography System
Technische Universität München, TUM Zentrum für QuantumEngineering
This call for tender is for the purchase of an electron beam lithography system for the nanofabrication of devices, chips, structures and patterns required for research purposes. The system must be able to expose electron-sensitive resists in specific CAD designed patterns. We require a turn-key solution including all required hardware, software and peripheral devices necessary for system operation. For a more detailled overview of our required specifications we refer you to the Performance Specifications document.
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2022-09-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-07-27.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2022-07-27 | Auftragsbekanntmachung |
| 2022-08-04 | Ergänzende Angaben |
| 2022-11-02 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2022-07-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Rasterelektronenmikroskope
Referenznummer: 024/2022
Kurze Beschreibung:
“This call for tender is for the purchase of an electron beam lithography system for the nanofabrication of devices, chips, structures and patterns required...”
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Englisch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Rasterelektronenmikroskope 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Landkreis 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität München, TUM Zentrum für QuantumEngineering
Postort: Garching
Kontakt
Internetadresse: http://www.tum.de 🌏
E-Mail: fabian.kessler@tum.de 📧
URL der Dokumente: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0RWXR/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0RWXR 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-07-27 📅
Einreichungsfrist: 2022-09-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-08-01 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 146-417230
ABl. S-Ausgabe: 146
Zusätzliche Informationen
“Bekanntmachungs-ID: CXP4YK0RWXR”
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“see above”
Dauer: 18 Monate
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“Self-declaration of the total yearly turnover of the economic operator, based on the last three fiscal years.”
Technische und berufliche Fähigkeiten:
“Self-declaration (according to the following requirements) of a sufficient level of experience demonstrated by at least 2 references (each having as subject...”
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Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2 Monate
Datum der Angebotseröffnung: 2022-09-02 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 09:00
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Internetadresse: www.tum.de 🌏
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0RWXR/documents 🌏
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Südbayern
Postanschrift: Maximilianstrasse 39
Postort: Munich
Postleitzahl: 80538
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 8921762411 📞
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de 📧
Fax: +49 8921762847 📠
Internetadresse: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/behoerde/mittelinstanz/vergabekammer/ 🌏
Quelle: OJS 2022/S 146-417230 (2022-07-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Rasterelektronenmikroskope
Referenznummer: 024/2022
Kurze Beschreibung:
“This call for tender is for the purchase of an electron beam lithography system for the nanofabrication of devices, chips, structures and patterns required...”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Englisch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Rasterelektronenmikroskope 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Landkreis 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität München, TUM Zentrum für QuantumEngineering
Postort: Garching
Kontakt
Internetadresse: http://www.tum.de 🌏
E-Mail: fabian.kessler@tum.de 📧
URL der Dokumente: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0RWXR/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0RWXR 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-07-27 📅
Einreichungsfrist: 2022-09-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-08-01 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 146-417230
ABl. S-Ausgabe: 146
Zusätzliche Informationen
“Bekanntmachungs-ID: CXP4YK0RWXR”
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“see above”
Dauer: 18 Monate
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“Self-declaration of the total yearly turnover of the economic operator, based on the last three fiscal years.”
Technische und berufliche Fähigkeiten:
“Self-declaration (according to the following requirements) of a sufficient level of experience demonstrated by at least 2 references (each having as subject...”
Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2 Monate
Datum der Angebotseröffnung: 2022-09-02 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 09:00
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Internetadresse: www.tum.de 🌏
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0RWXR/documents 🌏
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Südbayern
Postanschrift: Maximilianstrasse 39
Postort: Munich
Postleitzahl: 80538
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 8921762411 📞
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de 📧
Fax: +49 8921762847 📠
Internetadresse: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/behoerde/mittelinstanz/vergabekammer/ 🌏
Quelle: OJS 2022/S 146-417230 (2022-07-27)
Ergänzende Angaben (2022-08-04)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-08-04 📅
Einreichungsfrist: 2022-09-05 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-08-09 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 152-434731
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 146-417230
ABl. S-Ausgabe: 152
Quelle: OJS 2022/S 152-434731 (2022-08-04)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-08-04 📅
Einreichungsfrist: 2022-09-05 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-08-09 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 152-434731
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 146-417230
ABl. S-Ausgabe: 152
Quelle: OJS 2022/S 152-434731 (2022-08-04)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-11-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“This call for tender was for the purchase of an electron beam lithography system for the nanofabrication of devices, chips, structures and patterns required...”
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Gesamtwert des Auftrags: 1 500 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität München
Postanschrift: Arcisstr. 21
Postleitzahl: 80333
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: https://www.groups.ph.tum.de/ 🌏
E-Mail: christian.pfleiderer@ph.tum.de 📧
Telefon: +49 8928914720 📞
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-11-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-11-07 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 214-614249
ABl. S-Ausgabe: 214
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“cf. II.1.4)”
Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technical Specifications / Quality
Qualitätskriterium (Gewichtung): 45%
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Innovative Properties
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Preis (Gewichtung): 35%
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-10-10 📅
Name: SEMTech Solutions, Inc.
Postanschrift: 3 Executive Park Dr.
Postort: North Billerica
Postleitzahl: 01862
Land: Vereinigte Staaten 🇺🇸
Telefon: +1 9786639822 📞
E-Mail: sales@semtechsolutions.com 📧
Name: Elionix, Inc.
Postanschrift: 3-7-6 Motoyokoya ma-cho Hachioji
Postort: Tokyo
Postleitzahl: 192-0063
Land: Japan 🇯🇵
Telefon: +81 426260611 📞
E-Mail: sales@elionix.com 📧
Gesamtwert des Auftrags: 1 500 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: DE212
Kontakt
Kontaktperson: Prof. Dr. Christan Pfleiderer
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Südbayern bei Regierung Oberbayern
Postanschrift: Maximilianstr. 39
Postort: München
Telefon: +49 8921760 📞
Fax: +49 8921762914 📠
Quelle: OJS 2022/S 214-614249 (2022-11-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“This call for tender was for the purchase of an electron beam lithography system for the nanofabrication of devices, chips, structures and patterns required...”
Gesamtwert des Auftrags: 1 500 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität München
Postanschrift: Arcisstr. 21
Postleitzahl: 80333
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: https://www.groups.ph.tum.de/ 🌏
E-Mail: christian.pfleiderer@ph.tum.de 📧
Telefon: +49 8928914720 📞
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-11-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-11-07 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 214-614249
ABl. S-Ausgabe: 214
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“cf. II.1.4)”
Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technical Specifications / Quality
Qualitätskriterium (Gewichtung): 45%
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Innovative Properties
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Preis (Gewichtung): 35%
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-10-10 📅
Name: SEMTech Solutions, Inc.
Postanschrift: 3 Executive Park Dr.
Postort: North Billerica
Postleitzahl: 01862
Land: Vereinigte Staaten 🇺🇸
Telefon: +1 9786639822 📞
E-Mail: sales@semtechsolutions.com 📧
Name: Elionix, Inc.
Postanschrift: 3-7-6 Motoyokoya ma-cho Hachioji
Postort: Tokyo
Postleitzahl: 192-0063
Land: Japan 🇯🇵
Telefon: +81 426260611 📞
E-Mail: sales@elionix.com 📧
Gesamtwert des Auftrags: 1 500 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: DE212
Kontakt
Kontaktperson: Prof. Dr. Christan Pfleiderer
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Südbayern bei Regierung Oberbayern
Postanschrift: Maximilianstr. 39
Postort: München
Telefon: +49 8921760 📞
Fax: +49 8921762914 📠
Quelle: OJS 2022/S 214-614249 (2022-11-02)
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