Los 3 - Maskless Aligner

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die maskenlose Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind, daß bei moderater Strukturauflösung im Resist (1 - 2 µm) hohe Schreibgeschwindigkeiten und damit kurze Waferbelichtungszeiten zur Verfügung stehen (< 3 h für 4" Wafer) und die Belichtung auf bis zu 12 mm dicken Substraten erfolgen kann.
- Wertungskriterien: technische Spezifikationen 60%, Preis 40%

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-03-02. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-01-26.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

Wer?

• Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Thüringen › Jena, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2022-01-26	Auftragsbekanntmachung
2022-03-18	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2022-01-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: 08.21.O.03
Kurze Beschreibung:

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die maskenlose Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind, daß bei moderater Strukturauflösung im Resist (1 - 2 µm) hohe Schreibgeschwindigkeiten und damit kurze Waferbelichtungszeiten zur Verfügung stehen (< 3 h für 4" Wafer) und die Belichtung auf bis zu 12 mm dicken Substraten erfolgen kann. - Wertungskriterien: technische Spezifikationen 60%, Preis 40%

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Postanschrift: Albert-Einstein-Straße 9
Postleitzahl: 07745
Postort: Jena
Kontakt
Internetadresse: http://www.leibniz-ipht.de 🌏
E-Mail: ipht-ausschreibungen@leibniz-ipht.de 📧
URL der Dokumente: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRRS36/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRRS36 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-01-26 📅
Einreichungsfrist: 2022-03-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-01-31 📅
Datum des Endes: 2022-07-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 021-051333
ABl. S-Ausgabe: 21
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRRS36

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

- Wertungskriterien: technische Spezifikationen 60%, Preis 40%

Beschreibung der Optionen:

Optionen bitte separat auspreisen.

- Zeichnung-Mode (Einzeichnen bzw. importieren von Strukturen wie Linien und Rechtecke in das Kamerabild und diese belichten),

- Bildaufnahme, Breitenmessung und Wafermapping,

- Übersichtsaufnahme größerer Flächen (ca. 10 x 10 mm²),

- Schwingungsgedämpfter Tisch (zum Gerät passend),

- Garantiezeitverlängerung auf 2 Jahre

Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: 2021 FGI 0020
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. Albert-Einstein-Straße 9 07745 Jena

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

- Besonderen Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz-IPHT Jena

- Eigenerklärungen gemäß ThürVgG

- Eigenerklärung für nicht präqualifizierte Unternehmen

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 13:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-05-01 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-03-02 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 13:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: eingetragener Verein
Kontakt
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRRS36/documents 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Weimarplatz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2022/S 021-051333 (2022-01-26)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-03-18)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Die Ausschreibung "08.21.O.03 / Los 3 - Maskless Aligner" stellt Los 3 von 3 Ausschreibungen des Forschungsprojektes "Ausbau der photolithographischen Basisinfrastruktur am Leibniz-IPHT (InfraLith)" dar. Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die maskenlose Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind, daß bei moderater Strukturauflösung im Resist (1 - 2 µm) hohe Schreibgeschwindigkeiten und damit kurze Waferbelichtungszeiten zur Verfügung stehen (< 3 h für 4“ Wafer) und die Belichtung auf bis zu 12 mm dicken Substraten erfolgen kann.

Gesamtwert des Auftrags: 128 230 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Leibniz-Institut für Photonische Technologien
Kontakt
Internetadresse: https://www.leibniz-ipht.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-03-18 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-03-23 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 058-151702
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 021-051333
ABl. S-Ausgabe: 58

Objekt
Umfang der Beschaffung
Beschreibung der Optionen:

Nachfolgende Optionen sollen mit angeboten werden:

• Zeichnung-Mode (Einzeichnen bzw. importieren von Strukturen wie Linien und Rechtecke in das Kamerabild und diese belichten),

• Bildaufnahme, Breitenmessung und Wafermapping,

• Übersichtsaufnahme größerer Flächen (ca. 10 x 10 mm²),

• Schwingungsgedämpfter Tisch (zum Gerät passend),

• Garantiezeitverlängerung auf 2 Jahre.

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 60%
Preis (Gewichtung): 40%

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-03-18 📅
Name: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Postanschrift: Mittelgewannweg 27
Postort: Heidelberg
Postleitzahl: 69123
Land: Deutschland 🇩🇪
Heidelberg, Stadtkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 128 230 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: eingetragener Verein, Mitglied der Leibniz-Gemeinschaft
Quelle: OJS 2022/S 058-151702 (2022-03-18)

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