OPENSENS

Kurze Beschreibung

Im Rahmen des Projektes "Optimierte Entwicklungsumgebung für ein resourcenschonendes Mikrosensorik-Prototyping" möchte das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH in einen vollautomatisierten Waferprober investieren, der eine permanente Parametererfassung für das Mikrosensorik-Prototyping auf 6"-Waferebene ermöglicht.
Verbunden mit einer leistungsfähigen schnellen Parameteroptimierung werden ressourcenschonende Entwicklungsprozesse möglich und flexible Entwicklungsergebnisse in kurzer Zeit zielgenau realisierbar (first time right).

Beschreibung der Beschaffung

Waferprober mit Handlingsroboter
Das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH benötigt einen Waferprober mit Handlingroboter zur Charakterisierung der Sensoren und Teststrukturen auf den Si-Wafern und Waferverbünden.
Der Waferprober soll zu den vorhanden Messprogrammen und -routinen kompatibel sein.
Vorhandene Medien sind:
- Stromanschluss 2-polig mit zusätzlicher Erdung 32 A
- Vakuum
- Reinstluft für Pneumatik (> 6 Bar)
- Ethernetanschluss
- Aufstellfläche + Wartungsbereich 2500 mm x 2000 mm
- Max. Anlagenhöhe: 2800 mm
Der Raumplan, mit vorhandenen Medien und Transportwegen, kann auf Anfrage zugestellt werden.
Anlagenbeschreibung:
Technische Daten:
Anforderungen an das Basissystem:
Waferprober für Wafer bis 8 Zoll soll folgende Eigenschaften bieten:
- XY-Auflösung +/- 1 µm / Genauigkeit und Reproduzierbarkeit +/-2µm / Geschwindigkeit >30 mm/sec
- Z-Auflösung 1 µm / Genauigkeit und Reproduzierbarkeit < 2 µm / Verfahrweg > 5 mm
- Theta -Auflösung < 1 µm / Genauigkeit und Reproduzierbarkeit < +/- 3 µm / Verdrehwinkel > 5°
- Bedienkonsole für Handsteuerung
- Die Messkammer soll EMV geschirmt sein sowie eine Kabeldurchführung zur Messelektronik bieten
-Die Messkammer soll komplett lichtdicht sein
-Temperaturbereich: +20 °C bis + 150 °C
-Luftkühlung
-Aufheizzeit (+ 20°C bis + 150 °C) < 30 min
-Abkühlzeit (+ 150°C bis + 20 °C) < 35 min
-Temperaturhomogenität: < 0,5 K
-Temperaturgenauigkeit: < 0,2 K
-Isolationswiderstand (Ileak < 10 fA @ + 25 °C) > 1 TOhm
-Durchbruchspannung > 500 V
-Temperaturcontroller mit Hand und fernbedienbar, fernbedienbarerer Standby des Controllers
-Probecardaufnahme für 4,5" x 7"
-Mikroskop mit 5x Vergrößerung, Verfahrbereich von 30 x 30mm x 130mm (Lift), Beleuchtung und zweitem Monitor, Autofokus, Beamsplitter mit C-Mount für zusätzliche Kamera
-Vibrationsfreier Tisch zur Aufnahme aller Geräte außer dem Heiz-/Kühlsystem
-Vorbereitet für Betrieb eines/zwei Kantensensoren
Das Wafer-Handling soll folgenden Anforderungen erfüllen:
-Der Handler soll automatisches Alignment mit einem Pre-aligner bieten
-Die Wafer ID nahe dem Flat soll über einen OCR/Barcode Reader auslesbar sein
-Es sollen mindestens 25 Stück 6-Zoll-Wafer bis 0,675 mm Dicke im Batch gehandelt werden können
-Das Waferhandling soll ausschließlich im 3.5 mm breiten Randbereich (doppelseitig polierte Wafer) erfolgen
-Kassettenstation, 25 Wafer pro Kassette bis 0,675 mm Dicke, e-Pak kompatibel oder 12 Wafer-Kassette für Waferverbünde 6" mit einer Dicke von 3,5 mm
Anforderungen an die Software:
- Graphische Benutzeroberfläche in deutscher/englischer Sprache
- Prober und Temperierung komplett vom PC aus steuerbar inkl. Einstellung aller Schrittweiten, Höhen und Steuerparameter) mit Agilent/HP-VEE, C#, Python, C/C++, Matlab über Ethernet/GPIB
- Programmierschnittstelle kompatibel zu Cascade Velox, kompatible Velux-Version zu PA 200 mit der Seriennummer: 1747346
- Mikroskop komplett vom PC aus steuerbar
- Waferload steuerbar
- Mikroskoplicht schaltbar
- Chuckvakuum schaltbar
- Chucktemperatur (Temperaturcontroller) vom PC aus einstellbar (Soll) und vom PC auslesbar (Ist) sowie sich in Standby schalten lassen
- Software- und Sicherheitsupdates mind. 5 Jahre
- Update auf Windows 11 innerhalb der nächsten 2 Jahre verfügbar
Inkl. Zubehör:
- Spezialchuckadapter 8" auf 6" zur Messung von 6"-Differenzdruck-Sensorwafern (Vakuumansaugung nur am Waferrand - Mitte ist hinterlüftet über Schlauchanschluss)
- Spezialchuck zur Messung von beidseitigstrukturierten 6"-Fotodetektor-Wafern mit Randauflage (6mm breit) und Randansaugung
- zweite Kassette für Standardwafer 6" - 0,675 mm Dicke
- 2 Spezialkassetten für Waferverbünde 6" mit einer Dicke von 3,5 mm
- PC-Hardware in notwendiger Konfiguration inklusive Betriebssystem Windows 10 Professional
- Fernwartung durch Remote Access
- 8 manuelle Positionierer (je 4x links, je 4x rechts positionierbar) mit 12,5 mm XYZ Verfahrbereich mit 1 µm Auflösung einschliesslich high reformance DC Mess-Spitze mit Arm für Triaxanschluss sowie Messspitzen
- Spezialchuckadapter zur Messung von 6" Differenzdruck-Sensorenwafern für Prober mit der Seriennummer: 45287
- Spezialchuckadapter zur Messung von 6" Differenzdruck-Sensorenwafern für Prober mit der Seriennummer: 45223
Weiteres:
- Garantie von 24 Monaten
- Angabe eines Servicekonzepts
- Angabe von Wartungsintervallen, Wartungskosten, Betriebskosten pro Jahr
- Anlage mit Sicherheitssystem (Interlock), um Hauptgefahren für Leib und Leben abzuwenden, welche unabhängig von der Steuersoftware arbeitet (EN13849-1:2006)
- Anlage beinhaltet Emergency Stop in der Software und mechanische Taster an der Anlage
- Angabe von 2 Referenzen über vergleichbare Anlagen
Dokumente:
- Bedienungsanleitung für alle Komponenten in deutscher/englischer Sprache
- Aufstell- und Anschlussbedingungen bzw. -parameter
Liefer- und Anschlussbedingungen:
- Verpackung inklusive
- Versand inklusive
- Transportversicherung inklusive
- Aufstellung inklusive, Einbringung 1. OG
- Installation inklusive
- Inbetriebnahme inklusive
- Nachweis der Funktionsfähigkeit aller Komponenten
- Einweisung und Schulung/ Training (2 Tage) der Nutzer (bis zu 4 Personen) inkl. Fernsteuerung des Probers

Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen

Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will, vorzulegen:
1) Formblatt L 124_EU Eigenerklärung zur Eignung mit Erklärungen zu:
- Angabe über Ausschlussgründe gemäß § 42 VgV in Verbindung mit §§ 123 und § 124 GWB
- Angabe zu Insolvenzverfahren und Liquidation
- Angabe zur Zahlung von Steuern und Abgaben und Beiträgen zur Sozialversicherung
Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
2) Berufs- bzw. Handelsregisterauszug
3) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes - soweit Finanzamt Bescheinigungen ausstellt
4) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung der tariflichen Sozialkasse - soweit Betrieb beitragspflichtig
5) Freistellungsbescheinigung nach § 48b EstG
6) Eintragung in der Handwerksrolle oder bei der Industrie- oder Handwerkskammer oder sonstiger Nachweis
Da die Vergabestelle nach § 36 Abs. 5 Satz 1 VgV gehalten ist, vor der Zuschlagserteilung in Bezug auf reine Nachunternehmer die Voraussetzungen des §§ 123, 124 GWB zu prüfen, sind die Unterlagen 1) - 6) ggf. vom Nachunternehmer
(ohne Eignungsleihe) auf gesondertes Anfordern vorzulegen.
Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen.
Der Nachweis einer Befähigung zur Berufsausübung kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrens geführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).

Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter sowie jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft vorzulegen:
Nachweis einer Berufs- oder Betriebshaftpflichtversicherung für Personenschäden in Höhen von mindestens 2.000.000,00 EUR und für Sach- und Vermögensschäden in Höhe von 2.000.000,00 EUR gemäß Ziffer III der Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU)
Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter sowie jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
7) Zusicherung der Versicherung bzw. entsprechender Versicherungsnachweis
Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrensgeführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).

Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten)

Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will, vorzulegen:
Vorlage geeigneter Referenzen (mindestens zwei Referenzen) über früher ausgeführte Liefer- und Dienstleistungen der in den letzten drei Jahren erbrachten wesentlichen Leistungen gemäß Ziffer IV der Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU).
Aus der Beschreibung der Referenz muss klar erkennbar sein, welche Leistungen der Bewerber oder das Mitglied der Bewerbergemeinschaft oder ein Dritter, auf dessen Leistungsfähigkeit abgestellt wird, selbstdurchgeführt hat. Die bloße untergeordnete Mitwirkung ist nicht ausreichend. Der Auftraggeber behält sich die Überprüfung der Angaben bei den Referenzauftraggebern sowie eigene Ermittlungen vor. Die Ergebnisse der eigenen Ermittlungen werden bei der Bewertung Berücksichtigung finden.
Lieferant weist die technologischen Parameter an einer Demoanlage mit gleicher Ausstattung unter Reinraumbedingungen in Form von Testwafern nach.
Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
8) Bescheinigung über die ordnungsgemäße Ausführung und das Ergebnis der genannten Leistungen
Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der technischen und beruflichen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrensgeführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG). Es müssen mindestens zwei Referenzen vorgelegt werden.

Bedingungen für die Vertragserfüllung

Ausführungsbedingungen nach dem Thüringer Vergabegesetz:
- Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG - Kontrollen sowie § 18 ThürVgG - Sanktionen
- Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)
- Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)
Gemäß § 12a Abs. 2 ThürVgG weisen wir darauf hin, dass der Bestbieter im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen muss und dass, bei nicht fristgerechter Vorlage, das Angebot von der Wertung auszuschließen ist.
Es handelt sich dabei um folgende Erklärungen und Nachweise:
- Formblatt "Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG -Kontrollen sowie § 18 ThürVgG - Sanktionen"
- Formblatt "Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
- Formblatt "Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
Zudem müssen im Falle eines anfänglichen Nachunternehmereinsatzes spätestens vor der Auftragserteilung folgenden Formblätter beim Auftraggeber vorliegen:
- Formblatt "Verpflichtung des Nachunternehmers zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
- Formblatt "Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
Der Bestbieter muss im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen. Bei nicht fristgerechter Vorlage ist das Angebot von der Wertung auszuschließen.

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

"Der Nachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 GWB unzulässig, soweit:
1) der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,
2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zuwollen, vergangen sind."