Objekt Umfang der Beschaffung
Titel:
“Reaktive Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma (RIE ICP)
LMU-Efetof_2022-01”
Produkte/Dienstleistungen: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion📦
Kurze Beschreibung:
“Lieferung einer reaktiven Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma (RIE ICP), Ludwig-Maximilians-Universität München”
1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen📦
Ort der Leistung: München, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: in den Vergabeunterlagen aufgeführt
Beschreibung der Beschaffung:
“Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer reaktiven Ionenätz-anlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zum Trockenätzen...”
Beschreibung der Beschaffung
Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer reaktiven Ionenätz-anlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zum Trockenätzen verschiedener Mate-rialien, wie zum Beispiel Polymere, Silizium, Siliziumnitrid oder Siliziumdioxid. Im Besonde-ren sollen jedoch zweidimensionale Materialien wie Graphen oder hexagonales Bornitrid geätzt werden.
Reaktive Ionenätzanlagen sind unverzichtbare Geräte für die Nanofabrikation. Im genauen wird nach erfolgter Strukturierung eines auf die Schicht aufgebrachten Polymerfilms mittels Elektronenstrahllitographie diese Struktur durch einen trockenen Ätzprozess in das ge-wünschte Material übertragen. Alternativ kann auch eine metallische Maskierung verwen-det werden. Im Rahmen der Munich Quantum Valley Initiative wird der Lehrstuhl Efetov, Ludwig-Maximilians-Universität München, Fakultät für Physik, eine Vielzahl neuartiger zwei-dimensionaler Materialien herstellen und diese auf ihre elektrischen, magnetischen und optischen Eigenschaften bei kryogenen Temperaturen untersuchen.
Um bei den zu ätzenden zweidimensionalen Materialen mit einer Dicke zwischen 1- 30 Na-nometern eine exakte Ätztiefe reproduzierbar realisieren zu können ist es unbedingt erfor-derlich, dass die Ätzanlage äußerst schädigungsarm mit geringen Ätzraten arbeitet kann. Da verschiedene Materialien geätzt werden sollen ist es ebenfalls notwendig, dass verschiedene Prozessgase verwendet werden können. Neben dem schädigungsarmen Ätzen soll die Anlage insbesondere im Hinblick auf die potentiell große Anzahl an Nutzern mit breit gestreuten Forschungsbereichen im Rahmen der Munich Quantum Valley Initiative ebenso für hohe Ätzraten ausgelegt sein.
Die detaillierten Spezifikationen sind in der Leistungsbeschreibung ausgeführt.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 12
Informationen über Varianten
Es werden Varianten akzeptiert ✅ Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen: siehe Leistungsbeschreibung
Beschreibung
Zusätzliche Informationen
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Technische und berufliche Fähigkeiten
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung: VOL/B in der gültigen Fassung
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2022-10-12
15:14 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2022-12-31 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2022-10-12
15:14 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren): Tag: 12.10.2022
Ergänzende Informationen Körper überprüfen
Name: Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern
Postanschrift: Maximilianstr. 39
Postort: München
Postleitzahl: 80539
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 8921762411📞
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de📧
Fax: +49 8921762847 📠 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen.
(2) Verstöße gegen...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen.
(2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.
(3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.
(4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.
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Quelle: OJS 2022/S 176-497586 (2022-09-08)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-12-13) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name: LMU München, Fakultät für Physik, LS Efetov
URL: www.physik.uni-muenchen.de🌏
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Reaktive Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma (RIE ICP)
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 305 432 💰
Vergabekriterien
Preis
Informationen über Optionen
Beschreibung der Optionen: Optisches Emissionsspektrometer
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2022/S 176-497586
Auftragsvergabe
1️⃣
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-10-17 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Sentech GmbH
Nationale Registrierungsnummer: DE128244113
Postort: Krailling
Postleitzahl: 82152
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: München, Kreisfreie Stadt🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 305 432 💰
Ergänzende Informationen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Südbayern
Postanschrift: Maximiliansstr. 39
Postleitzahl: 80538
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen.
(2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.
(3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.
(4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.
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Quelle: OJS 2022/S 243-698282 (2022-12-13)