Reaktive Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma (RIE ICP)

Ludwig-Maximilians-Universität München

Lieferung einer reaktiven Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma (RIE ICP), Ludwig-Maximilians-Universität München

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-10-12. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-09-08.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Sentech GmbH

Wer?

• Ludwig-Maximilians-Universität München

Wie?

Wo?

• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2022-09-08	Auftragsbekanntmachung
2022-12-13	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2022-09-08)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
Referenznummer: LMU-Efetof_2022-01
Kurze Beschreibung:

Lieferung einer reaktiven Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma (RIE ICP), Ludwig-Maximilians-Universität München

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Ludwig-Maximilians-Universität München
Postanschrift: Geschwister-Scholl-Platz 1
Postleitzahl: 80539
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: https://www.physik.lmu.de 🌏
E-Mail: lenz.jakob@physik.uni-muenchen.de 📧
Telefon: +49 8921803734 📞
URL der Dokumente: https://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/CCA38091-CCA5-4E51-BE63-103627F82B85 🌏
URL der Teilnahme: https://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/CCA38091-CCA5-4E51-BE63-103627F82B85 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-09-08 📅
Einreichungsfrist: 2022-10-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-09-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 176-497586
ABl. S-Ausgabe: 176

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer reaktiven Ionenätz-anlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zum Trockenätzen verschiedener Mate-rialien, wie zum Beispiel Polymere, Silizium, Siliziumnitrid oder Siliziumdioxid. Im Besonde-ren sollen jedoch zweidimensionale Materialien wie Graphen oder hexagonales Bornitrid geätzt werden.

Reaktive Ionenätzanlagen sind unverzichtbare Geräte für die Nanofabrikation. Im genauen wird nach erfolgter Strukturierung eines auf die Schicht aufgebrachten Polymerfilms mittels Elektronenstrahllitographie diese Struktur durch einen trockenen Ätzprozess in das ge-wünschte Material übertragen. Alternativ kann auch eine metallische Maskierung verwen-det werden. Im Rahmen der Munich Quantum Valley Initiative wird der Lehrstuhl Efetov, Ludwig-Maximilians-Universität München, Fakultät für Physik, eine Vielzahl neuartiger zwei-dimensionaler Materialien herstellen und diese auf ihre elektrischen, magnetischen und optischen Eigenschaften bei kryogenen Temperaturen untersuchen.

Um bei den zu ätzenden zweidimensionalen Materialen mit einer Dicke zwischen 1- 30 Na-nometern eine exakte Ätztiefe reproduzierbar realisieren zu können ist es unbedingt erfor-derlich, dass die Ätzanlage äußerst schädigungsarm mit geringen Ätzraten arbeitet kann. Da verschiedene Materialien geätzt werden sollen ist es ebenfalls notwendig, dass verschiedene Prozessgase verwendet werden können. Neben dem schädigungsarmen Ätzen soll die Anlage insbesondere im Hinblick auf die potentiell große Anzahl an Nutzern mit breit gestreuten Forschungsbereichen im Rahmen der Munich Quantum Valley Initiative ebenso für hohe Ätzraten ausgelegt sein.

Die detaillierten Spezifikationen sind in der Leistungsbeschreibung ausgeführt.

Dauer: 12 Monate
Beschreibung der Optionen: siehe Leistungsbeschreibung
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: in den Vergabeunterlagen aufgeführt

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung: VOL/B in der gültigen Fassung

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 15:14
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-12-31 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-10-12 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 15:14
Zusätzliche Informationen: Tag: 12.10.2022

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/CCA38091-CCA5-4E51-BE63-103627F82B85 🌏
Internetadresse: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern
Postanschrift: Maximilianstr. 39
Postort: München
Postleitzahl: 80539
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 8921762411 📞
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de 📧
Fax: +49 8921762847 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen.

(2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.

(3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.

(4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.

Quelle: OJS 2022/S 176-497586 (2022-09-08)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-12-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 305 432 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: LMU München, Fakultät für Physik, LS Efetov
Kontakt
Internetadresse: http://www.physik.uni-muenchen.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-12-13 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-12-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 243-698282
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 176-497586
ABl. S-Ausgabe: 243

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Beschreibung der Optionen: Optisches Emissionsspektrometer

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-10-17 📅
Name: Sentech GmbH
Nationale Registrierungsnummer: DE128244113
Postort: Krailling
Postleitzahl: 82152
Land: Deutschland 🇩🇪
München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 305 432 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Internetadresse: www.physik.uni-muenchen.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Südbayern
Postanschrift: Maximiliansstr. 39
Postleitzahl: 80538
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
Quelle: OJS 2022/S 243-698282 (2022-12-13)

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