Für die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE) benötigt. Das RIE-System muss das kontrollierte und reproduzierbare Ätzen der III-V-Verbindungshalbleiter GaAs und InP sowie das Ätzen von dielektrischen Materialien wie zum Beispiel SiO2 und Si3N4 ermöglichen. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2024-10-17.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2024-09-06.
Auftragsbekanntmachung (2024-09-06) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Reaktives-Ionenätzen-System
Reference number: E83672223
Kurze Beschreibung:
“Für die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE)...”
Kurze Beschreibung
Für die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE) benötigt. Das RIE-System muss das kontrollierte und reproduzierbare Ätzen der III-V-Verbindungshalbleiter GaAs und InP sowie das Ätzen von dielektrischen Materialien wie zum Beispiel SiO2 und Si3N4 ermöglichen.
Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
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Art des Vertrags: supplies
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦 Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Für die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE)...”
Beschreibung der Beschaffung
Für die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE) benötigt. Das RIE-System muss das kontrollierte und reproduzierbare Ätzen der III-V-Verbindungshalbleiter GaAs und InP sowie das Ätzen von dielektrischen Materialien wie zum Beispiel SiO2 und Si3N4 ermöglichen.
Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅ Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2024-10-17 13:00:00.000 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2024-10-17 13:00:00.000 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“- Eigenerklärungen zu den Ausschlussgründen und der Selbstreinigung gemäß der §§ 123, 124 und 125 GWB
- Handelsregisterauszug
- Firmenprofil
- Ggf....”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
- Eigenerklärungen zu den Ausschlussgründen und der Selbstreinigung gemäß der §§ 123, 124 und 125 GWB
- Handelsregisterauszug
- Firmenprofil
- Ggf. Erklärung einer Bietergemeinschaft
- Ggf. Verpflichtungserklärungen der Unterauftragnehmer und der Eignung leihenden Unternehmen
- Eigenerklär. Einhaltung der ILO-Kernarbeitsnormen
- Eigenerklär. nach § 19 Abs. 3 MiLoG
- Eigenerklär. „BMWK-Russland“
Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart
Nationale Registrierungsnummer: 992-03005-81
Postanschrift: Pfaffenwaldring 38-40
Postleitzahl: 70569
Postort: Stuttgart
Region: Stuttgart, Stadtkreis🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: evergabe@dlr.de📧
Telefon: 000📞
URL: https://www.dlr.de🌏 Art des öffentlichen Auftraggebers
Regional or local authority
Haupttätigkeit
General public services
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.subreport.de/E83672223🌏
Teilnahme-URL: https://www.subreport.de/E83672223🌏
Ergänzende Informationen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Nationale Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postleitzahl: 53123
Postort: Bonn
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de📧
Telefon: +492289499163📞
URL: http://www.bundeskartellamt.de🌏 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist nur zulässig, wenn
• der Antragsteller von ihm erkannte Verstöße gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren gegenüber dem...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist nur zulässig, wenn
• der Antragsteller von ihm erkannte Verstöße gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gerügt hat,
• der Antragsteller Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung genannten Frist zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat,
• der Antragsteller Verstöße, die in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat,
• nicht mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
2020/S 026-059398
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach §134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Elektronische Zahlung wird verwendet
Quelle: OJS 2024/S 175-538552 (2024-09-06)