WDH - Maskless Aligner

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2024-05-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2024-04-22.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2024-04-22 Auftragsbekanntmachung
2024-06-17 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2024-04-22)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: WDH - Maskless Aligner
Referenznummer: 04.24.O.00.wdh
Kurze Beschreibung:
“Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von...”    Mehr anzeigen
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Geschätzter Wert ohne MwSt: 457 300 EUR 💰
Sonstige Beschränkungen am Erfüllungsort: Ort im betreffenden Land
Beschreibung
Interne Kennung: 04.24.O.00.wdh
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von...”    Mehr anzeigen
Zusätzliche Informationen:
“Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 457.300,00 Euro netto zur Verfügung.”
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Postleitzahl: 07745
Stadt: Jena
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Vergabekriterien
Preis
Preis (Gewichtung): 40.0
Qualitätskriterium (Bezeichnung): technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 60.0
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2024-05-28 13:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2024-05-28 13:15:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 40
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2024-05-28 13:15:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2024-05-22 00:00:00 📅
Zusätzliche Informationen:
“s.o.”
Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Eigenerklärung”
Bedingungen für die Teilnahme
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
“Anzahlungsrechnungen ausschließlich gegen Bankbürgschaft”
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“- Besondere Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz- IPHT Jena - Eigenerklärung gem. ThürVgG”
Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund: bankr-nat
bankruptcy
corruption
cred-arran
crime-org
distorsion
envir-law
finan-laund
fraud
human-traffic
insolvency
labour-law
liq-admin
misrepresent
partic-confl
prep-confl
prof-misconduct
sanction
socsec-law
socsec-pay
susp-act
tax-pay
terr-offence
Beschreibung der Ausschlussgründe:
“Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB”

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Nationale Registrierungsnummer: DE151282932
Postleitzahl: 07745
Postort: Jena
Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: saskia.bach@leibniz-ipht.de 📧
Telefon: 03641206556 📞
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRHA8N/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRHA8N 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRHA8N 🌏
Sprache des Beschaffungsdokuments: Deutsch 🗣️
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Gültigkeitsdauer des Angebots: 40 (DAYS)

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRHA8N”
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Thüringen
Nationale Registrierungsnummer: Land Thüringen
Postleitzahl: 99423
Postort: Weimar
Region: Weimar, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de 📧
Telefon: 0361573321059 📞
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Notice information
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2024-04-22+02:00 📅
Quelle: OJS 2024/S 080-239558 (2024-04-22)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2024-06-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Wert ohne MwSt: 457 300 EUR 💰

Auftragsvergabe
Ein Auftrag/Los wird vergeben
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Vertragsnummer: 2420091/295309
Datum des Vertragsabschlusses: 2024-06-14 📅
Titel: Maskless Aligner
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 434 210 EUR 💰
Leiter der anbietenden Partei
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Nationale Registrierungsnummer: HRB333834
Postanschrift: Mittelgewannweg 27
Postleitzahl: 69123
Postort: Heidelberg
Region: Heidelberg, Stadtkreis 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: info@himt.de 📧
Telefon: 06221 72 88 99 0 📞
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen

Öffentlicher Auftraggeber
Kommunikation
Kennung der vorherigen Bekanntmachung: 239558-2024

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRHJUV”
Notice information
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2024-06-17+02:00 📅
Quelle: OJS 2024/S 117-359847 (2024-06-17)