Beschaffung Reactive Ion Etching System

Max-Planck-Institut für chemische Physik fester Stoffe

Gegenstand der Ausschreibung ist die Beschaffung, Lieferung und Installation eines Reactive Ion Etching Systems (RIE).

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-06-02. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-04-30.

Wer?

• Max-Planck-Institut für chemische Physik fester Stoffe

Wie?

• Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme › Mikroelektronische Maschinen und Geräte

Wo?

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-04-30	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-04-30)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Beschaffung Reactive Ion Etching System
Referenznummer: MPG_MPICPFS-2025-0008
Kurze Beschreibung:

Gegenstand der Ausschreibung ist die Beschaffung, Lieferung und Installation eines Reactive Ion Etching Systems (RIE).

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Beschreibung
Interne Kennung: LOT-0000
Beschreibung der Beschaffung:

Reaktives Ionenätzen (RIE) ist ein etabliertes Verfahren zur präzisen Strukturierung von Materialien im Nanometerbereich und spielt für unser Institut eine zentrale Rolle in der Bearbeitung zweidimensionaler Materialien. Für unsere geplanten Forschungsarbeiten im Bereich 2D-Materialien benötigen wir ein RIE-System, das ein kontrolliertes, anisotropes Ätzen mit hoher Selektivität und Prozessstabilität ermöglicht. Der zukünftige Einsatzschwerpunkt liegt auf der beschädigungsfreien Strukturierung von empfindlichen, einschichtigen Proben sowie der Übertragung lithografischer Maskenmuster auf nanoskaliger Ebene. Ziel ist es, durch den Einsatz von RIE unter anderem Elektrodenstrukturen auf 2D-Materialien mit hoher Prä-zision und Reproduzierbarkeit herzustellen.

Postanschrift: Nöthnitzer Str. 40
Postleitzahl: 01187
Stadt: Dresden
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer
Datum des Beginns: 2025-06-09 📅
Datum des Endes: 2025-12-31 📅
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-06-02 11:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-06-02 11:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2025-06-02 11:00:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrugsbekämpfung

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 18 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Entrichtung von Steuern

Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Korruption

Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge

Zahlungsunfähigkeit

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe
Nationale Registrierungsnummer: DE129517720
Postanschrift: Nöthnitzer Str. 40
Postleitzahl: 01187
Postort: Dresden
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Einkauf
E-Mail: matthias.schmidtke@cpfs.mpg.de 📧
Telefon: +4935146464601 📞
URL: https://www.cpfs.mpg.de/de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Regional- oder Kommunalbehörde
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.tender24.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19662ce59b6-73839a61a1e261db 🌏
Teilnahme-URL: https://www.tender24.de 🌏
Elektronische Einreichung: Zulässig

Ergänzende Informationen
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Regierungspräsidium München, Vergabekammer Südbayern
Postanschrift: Maximilian Str. 39
Postleitzahl: 80538
Postort: München
Region: München, Landkreis 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: poststelle@reg-ob.bayern.de 📧
Telefon: +49 89-2176-0 📞
Fax: +49 89-2176-2914 📠
URL: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de 🌏
Körper überprüfen
Wie: Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Name und Adressen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-04-30+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 085-284386 (2025-04-30)

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