Incoming Wafer Clean (IZM-26) - PR896606-2590-P

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Incoming Wafer Clean (IZM-26)

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-05-12. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-04-10.

Wer?

• Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Wie?

• Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme › Mikroelektronische Maschinen und Geräte

Wo?

• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt
• Berlin › Berlin
• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-04-10	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-04-10)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Incoming Wafer Clean (IZM-26) - PR896606-2590-P
Referenznummer: PR896606-2590-P
Kurze Beschreibung:
“Incoming Wafer Clean (IZM-26)”
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“1 Stück: Incoming Wafer Cleaner Der "Incoming Wafer Cleaner" ist für jede Art von mikroelektronischen Bauelementen oder Gehäusetechnologie unerlässlich, da...”

Beschreibung der Beschaffung

1 Stück: Incoming Wafer Cleaner
Der "Incoming Wafer Cleaner" ist für jede Art von mikroelektronischen Bauelementen oder Gehäusetechnologie unerlässlich, da die Substrate von Partikeln und Verunreinigungen befreit werden müssen, bevor sie im Reinraum verarbeitet werden können. Da die Strukturgröße der in den Bauelementen eingebauten Merkmale im Mikrometerbereich liegt, können selbst kleinste Partikel fatale Defekte verursachen und so die Fertigungsausbeute erheblich verringern. Die Reinigung der Substrate muss zusätzlich nach jedem Prozessschritt und/oder nach der externen Bearbeitung der Substrate erfolgen.

Mit einer hochmodernen Eingangsreinigung wird das Wafer-Bonden in verschiedenen Technologien ohne Ertragseinbußen erreicht. Externe Zulieferer können für diesen Prozess nicht genutzt werden, da die Substrate rechtzeitig innerhalb der Prozesskette gereinigt werden müssen (oder als Incoming Clean aus ausgelagerten Prozessen). Entsprechende Anlagen sind am IZM bisher nicht vorhanden. Die benötigten Chemikalien können DI-Hochdruckwasser oder andere Chemikalien (wie Lösungsmittel oder Säuren/Basen) sein, zur Verbesserung der Reinigungseffizienz können auch mechanisch unterstützte Methoden (z.B. Schrubben) eingesetzt werden. Das Gerät sollte sowohl für die automatische Handhabung von Träger zu Träger als auch für die halbautomatische Handhabung einzelner Substrate (runde/quadratische Form) geeignet sein.

Optionen:
- Die Maschine muss einen 200-mm-Waferträger haben.
- Die Maschine muss einen 150-mm-Waferträger haben.
- Die Maschine muss einen 100-mm-Waferträger haben.
- Das System muss in der Lage sein, einen beheizten Piranha-Reinigungsprozess (H2SO4/H2O2) durchzuführen.
- Das System muss in der Lage sein, ein Siliziumdioxid-Ätzverfahren (HF:H2O) durchzuführen.
- Das System muss in der Lage sein, mit Fotolack maskierte Oxid-Ätzprozesse durchzuführen.
- Das System muss in der Lage sein, einen Siliziumnitrid-Ätzprozess (HF:H2O) durchzuführen.
- Das System muss eine SECS/GEM-Schnittstelle aktivieren.
- Die Systemsoftware (und das Betriebssystem) müssen den Aufbau einer Fernverbindung zu internen Fernbetrachtern ermöglichen.
- Die Systemsoftware (und das Betriebssystem) müssen den Aufbau einer Fernverbindung zu externen Servicetechnikern ermöglichen.
- Die Systemsoftware muss eine Backup-Funktionalität ermöglichen, z. B. durch Konfigurationsdateien oder eine spezielle Systemfunktion.

Ort der Leistung: Berlin 🏙️
Dauer: 11 (MONTH)
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65.00
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 35.00
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-05-12 09:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-195f020da9d-616f7c6e92b0871f”
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten...”

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Nationale Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49891205-0 📞
URL: https://vergabe.fraunhofer.de/ 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung
Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben ✅
Kommunikation
Dokumente URL: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-195f020da9d-616f7c6e92b0871f& 🌏
Teilnahme-URL: https://vergabe.fraunhofer.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammern des Bundes
Nationale Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Postleitzahl: 53113
Postort: Bonn
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Telefon: +49 228 9499-0 📞
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Nationale Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 89 1205-0 📞
URL: https://www.fraunhofer.de 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Quelle: OJS 2025/S 072-237844 (2025-04-10)

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