Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems

NaMLab gGmbH

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-06-13. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-05-08.

Wer?

• NaMLab gGmbH

Wie?

• Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme › Mikroelektronische Maschinen und Geräte

Wo?

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-05-08	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-05-08)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
Referenznummer: NLB2025_05
Kurze Beschreibung: Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Beschreibung
Interne Kennung: LOT-0001
Titel: Lieferung und Inbetriebnahme eines Dual Beam Sputter Systems
Menge: 1 Stück
Beschreibung der Beschaffung:

Die beabsichtigte Beauftragung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer neuen, nicht gebrauchten Zwei-Ionen-Strahl-Sputter-Prozessanlage engl. Dual Ion Beam Sputter System (DIBS), im Folgenden als die Prozessanlage bezeichnet. Die Prozessanlage soll für folgende Prozesse zur Erforschung von Materialien und mikroelektronischer Bauelemente genutzt werden: 1) die Abscheidung von hochwertigen, dichten, metallischen und nichtmetallischen dünnen Schichten von einem Materialtarget in einer Vakuumprozesskammer; 2) die Abscheidung dieser dünnen Schichten soll sowohl in einer nicht reaktiven als auch in einer reaktiven Atmosphäre durchführbar sein; 3) die Durchführung von Vorreinigungs- und Ionenstrahl-Ätzprozessen soll möglich sein. Die Prozessanlage wird im Zusammenhang mit der Herstellung von mikro- und nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt, so dass die Prozessanlage auch Wafer aus z.B. Silizium, GaN und SiC mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm bearbeiten können muss. Die Anlage soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.

Die Verwendung von Zugänglichkeitskriterien für Menschen mit Behinderungen in den technischen Spezifikationen: Zugänglichkeitskriterien für Menschen mit Behinderungen wurden berücksichtigt
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Reinraum, 1. Stock im Gebäude
Postanschrift: Nöthitzer Straße 64a
Postleitzahl: 01187
Stadt: Dresden
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer: 12 Monate
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Beschreibung
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64a

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-06-13 13:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-06-13 14:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 7 Wochen
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eine Sicherheitsleistung ist erforderlich ✅
Eröffnungstermin: 2025-06-13 14:00:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Zusätzliche Informationen: Details zu den Spezifikatonen; Informationen zum Unternehmen

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Eintragung in das Handelsregister
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Handelsregisterauszug oder vergleichbares Dokument muss vorgelegt werden.
Eignungskriterium: Finanzkennzahlen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Eigenerklärung zum Umsatz mit vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Eigenerklärung zu schon ausgelieferten vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.

Eignungskriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Eigenerklärung muss unterschrieben werden.
Geforderte Kautionen und Garantien:

Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.

Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:

Zahlungsplan: bei Auftragsvergabe 40 %, bei Lieferung 40 %, bei Abnahme 20 %. Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.

Verfahren
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift: EU Richtlinien
Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund: Korruption
Beschreibung der Ausschlussgründe:

Ausgefüllte und unterschriebene Eigenerklärung zum Unternehmen, Abfrage im Wettbewerbsregister

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: NaMLab gGmbH
Nationale Registrierungsnummer: HRB 24890
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64 a
Postleitzahl: 01187
Postort: Dresden
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Einkauf
E-Mail: einkauf@namlab.com 📧
Telefon: +49 21249900 📞
URL: https://www.namlab.com 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Wirtschaft und Finanzen
Kommunikation
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/0196aa5a-6e9f-47df-8cd8-da609dc6a1a2/zustellweg-auswaehlen 🌏
Begründung für die Beschränkung des Zugangs zu bestimmten Auftragsunterlagen: Schutz besonders sensibler Informationen
Der Zugang zu den Auftragsunterlagen ist beschränkt
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Nationale Registrierungsnummer: keine Angabe
Postanschrift: Braustraße 2
Postleitzahl: 04107
Postort: Leipzig
Region: Leipzig 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: wiltrud.kadenbach@lds.sachsen.de 📧
Telefon: +49 3419771040 📞
URL: https://www.lds.sachsen.de 🌏
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-05-08+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 090-298452 (2025-05-08)

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