Lieferung und Installation Tisch-CMP-Gerät

NaMLab gGmbH

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-09-25. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-08-19.

Wer?

• NaMLab gGmbH

Wie?

• Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme › Mikroelektronische Maschinen und Geräte

Wo?

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-08-19	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-08-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lieferung und Installation Tisch-CMP-Gerät
Referenznummer: NLB2025_08
Kurze Beschreibung: Lieferung und Installation Tisch-CMP-Gerät
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Geschätzter Wert ohne MwSt: 230 000 EUR 💰
Beschreibung
Interne Kennung: LOT-0001
Titel: CMP Tisch Gerät
Menge: 1 Stück
Beschreibung der Beschaffung:

Die beabsichtigte Beschaffung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines neuen, nicht gebrauchten Chemisch-Mechanischen-Poliergerätes (Tisch-CMP-Gerät), welches zur kombinierten chemisch-mechanischen Planarisierung von sowohl metallischen als auch dielektrischen Schichten bzw. Filmen genutzt werden soll. Die zu planarisierenden metallischen und dielektrischen Schichten werden üblicherweise mit physikalischen oder chemischen Methoden in Strukturen abgeschieden, die mit photolithographischen Methoden und trockenchemischen Ätzprozessen strukturiert bzw. prozessiert wurden. Das Tisch-CMP-Gerät soll Wafer-Probenstücke der Größen 2x2 cm2, 4x4 cm2 und Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 100 mm chemisch-mechanisch polieren können. Das Tool soll in einem Reinraum der ISO Klasse 5 (DIN EN ISO 14644-1) auf einem Tisch installiert und betrieben werden und kompatibel zu der Reinraumklasse sein. Dieser Bereich ist Temperatur- und Luftfeuchte geregelt. Die Entsorgung der gebrauchten Poliermittel soll sowohl über eine Entsorgungsleitung als auch über eine Fassaufnahme möglich sein.

Zusätzliche Informationen: #Besonders auch geeignet für:other-sme#
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64a
Postleitzahl: 01187
Stadt: Dresden
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer
Datum des Beginns: 2025-11-01 📅
Datum des Endes: 2026-04-30 📅
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Verordnung über die Vergabe öffentlicher Aufträge
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-09-25 13:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-09-25 13:30:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 36 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eine Sicherheitsleistung ist erforderlich ✅
Eröffnungstermin: 2025-09-25 13:30:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Zusätzliche Informationen: Details zu den Spezifikationen, Informationen zum Unternehmen

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Eintragung in das Handelsregister
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Handelsregisterauszug oder vergleichbares Dokument muss vorgelegt werden.
Eignungskriterium: Finanzkennzahlen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Eigenerklärung zum Umsatz mit vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Eigenerklärung zu schon ausgelieferten vergleichbaren Produkten zur Ausstattung
Eignungskriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Eigenerklärung muss unterschrieben werden.
Geforderte Kautionen und Garantien:

Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.

Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:

Zahlungsplan: bei Auftragsvergabe 40 %, bei Lieferung 40 %, bei Abnahme 20 % oder Zahlungsplan: bei Lieferung 80%, bei Abnahme 20%

Verfahren
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift: EU Richtlinien
Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund: Korruption
Beschreibung der Ausschlussgründe:

Ausgefüllte und unterschriebene Eigenerklärung zum Unternehmen, Abfrage Wettbewerbsregister

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: NaMlab gGmbH
Nationale Registrierungsnummer: HRB 24890
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64 a
Postleitzahl: 01187
Postort: Dresden
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Einkauf
E-Mail: einkauf@namlab.com 📧
Telefon: +49 35121249900 📞
URL: https://www.namlab.com 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Wirtschaft und Finanzen
Kommunikation
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/0198a792-5bce-465e-a2c8-811d91608f98/zustellweg-auswaehlen 🌏
Kennung der EU-Mittel: EFRE InfraProNet 2021-2027, Antragsnummer 100704979
EU-Mittel — Programm: Europäischer Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) (2021/2027)
Begründung für die Beschränkung des Zugangs zu bestimmten Auftragsunterlagen: Schutz besonders sensibler Informationen
Der Zugang zu den Auftragsunterlagen ist beschränkt
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Nationale Registrierungsnummer: keine Angabe
Postanschrift: Braustraße 2
Postleitzahl: 04107
Postort: Leipzig
Region: Leipzig, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen
E-Mail: wiltrud.kadenbach@lds.sachsen.de 📧
Telefon: +493419771040 📞
URL: https://www.lds.sachsen.de 🌏
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-08-19+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 158-543610 (2025-08-19)

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