Maskless Aligner
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
In our research group, nanoscopic superconducting circuits are created using lithographic processes on 4-inch wafers. The structures are currently created on photomasks in a fixed design and then transferred to the substrate using photolithography. In order to significantly accelerate the design process of the superconducting circuits, we want to write the structures directly onto the substrate in the future using a maskless aligner.
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2025-06-05. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-05-05.
Wer? Wie? Wo?- • Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
- • Mittelfranken › Ansbach, Kreisfreie Stadt
- • Mittelfranken › Erlangen, Kreisfreie Stadt
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2025-05-05 | Auftragsbekanntmachung |
Auftragsbekanntmachung (2025-05-05)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maskless Aligner
Referenznummer:
Kurze Beschreibung:
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Gedruckte Schaltungen 📦
Beschreibung
Interne Kennung:
Dauer
Datum des Beginns: 2025-07-15 📅
Datum des Endes: 2026-07-06 📅
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen: Garantie
Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 60
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40
Titel
Los-Identifikationsnummer:
Beschreibung
Ort der Leistung: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Postleitzahl: 91058
Stadt: Erlangen
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-06-05 23:59:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 32 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2025-05-19 10:00:00 📅
Zusätzliche Informationen:
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Arbeiten
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Ausschlussgrund: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen
Beschreibung der Ausschlussgründe: Gemäß § 123, 124 GWB, § 57, 42 Abs. 1 VgV und § 16 VOB/A
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Nationale Registrierungsnummer:
Abteilung: Lehrstuhl für Experimentalphysik (Prof. Eichler)
Postanschrift: Staudtstr. 7/B2
Postleitzahl: 91058
Postort: Erlangen
Region: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Lehrstuhl für Experimentalphysik (Prof. Eichler)
E-Mail: christopher.eichler@fau.de 📧
Telefon: +49 91318528371 📞
URL: https://www.auftraege.bayern.de/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/be1efe43-853e-4ecd-b9bd-14a37d41f5c4 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/be1efe43-853e-4ecd-b9bd-14a37d41f5c4 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern
Nationale Registrierungsnummer:
Postanschrift: Promenade 27
Postleitzahl: 91522
Postort: Ansbach
Region: Ansbach, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.nordbayern@reg-mfr.bayern.de 📧
Telefon: +49 981531277 📞
Fax: +49 981531837 📠
URL: https://www.regierung.mittelfranken.bayern.de/service/vergabekammer/index.html 🌏
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-05-05+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 087-289101 (2025-05-05)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maskless Aligner
Referenznummer:
2025000060
Kurze Beschreibung:
In our research group, nanoscopic superconducting circuits are created using lithographic processes on 4-inch wafers. The structures are currently created on photomasks in a fixed design and then transferred to the substrate using photolithography. In order to significantly accelerate the design process of the superconducting circuits, we want to write the structures directly onto the substrate in the future using a maskless aligner.
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Produkte/Dienstleistungen: Gedruckte Schaltungen 📦
Beschreibung
Interne Kennung:
5a0f4c09-57ec-4b1e-b651-2e28c40f9591
Dauer
Datum des Beginns: 2025-07-15 📅
Datum des Endes: 2026-07-06 📅
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen: Garantie
Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 60
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40
Titel
Los-Identifikationsnummer:
LOT-0001
Beschreibung
Ort der Leistung: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Postleitzahl: 91058
Stadt: Erlangen
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-06-05 23:59:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 32 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2025-05-19 10:00:00 📅
Zusätzliche Informationen:
Gemäß § 56 Abs. 2 VgV, § 51 Abs. 2 SektVO, § 16a Abs. 1 VOB/A-EU. Mögliche Hinweise des Auftraggebers in den Vergabeunterlagen sind zu beachten.
Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Arbeiten
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Ausschlussgrund: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen
Beschreibung der Ausschlussgründe: Gemäß § 123, 124 GWB, § 57, 42 Abs. 1 VgV und § 16 VOB/A
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Nationale Registrierungsnummer:
a5ac48e0-7d24-40b2-afb5-584ce4684561
Abteilung: Lehrstuhl für Experimentalphysik (Prof. Eichler)
Postanschrift: Staudtstr. 7/B2
Postleitzahl: 91058
Postort: Erlangen
Region: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Lehrstuhl für Experimentalphysik (Prof. Eichler)
E-Mail: christopher.eichler@fau.de 📧
Telefon: +49 91318528371 📞
URL: https://www.auftraege.bayern.de/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/be1efe43-853e-4ecd-b9bd-14a37d41f5c4 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/be1efe43-853e-4ecd-b9bd-14a37d41f5c4 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern
Nationale Registrierungsnummer:
c0f12e87-76f1-4468-90ef-036d199560d7
Postanschrift: Promenade 27
Postleitzahl: 91522
Postort: Ansbach
Region: Ansbach, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.nordbayern@reg-mfr.bayern.de 📧
Telefon: +49 981531277 📞
Fax: +49 981531837 📠
URL: https://www.regierung.mittelfranken.bayern.de/service/vergabekammer/index.html 🌏
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-05-05+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 087-289101 (2025-05-05)
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