Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers

IHP GmbH - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-10-13. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-09-10.

Wer?

• IHP GmbH - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik

Wie?

• Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme › Mikroelektronische Maschinen und Geräte

Wo?

• Brandenburg › Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-09-10	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-09-10)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers
Referenznummer: IHP-2025-049
Kurze Beschreibung: Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Beschreibung
Interne Kennung: IHP-2025-049
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet ✅
Zusätzliche Informationen:

#Besonders auch geeignet für:freelance#, #Besonders auch geeignet für:selbst#, #Besonders auch geeignet für:startup#, #Besonders auch geeignet für:other-sme#

Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Stadt: Frankfurt (Oder)
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-10-13 12:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-10-13 12:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 60 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eine Sicherheitsleistung ist erforderlich ✅
Eröffnungstermin: 2025-10-13 12:00:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2025-10-06 23:59:59 📅
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Referenzen (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag. Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen: -Referenzgeber: -Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer: -Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung: -Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs

Eignungskriterium: Eintragung in das Handelsregister
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Nachweis über die Eintragung in ein Handelsregister (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Nachweis über die Eintragung in ein Handelsregister

Geforderte Kautionen und Garantien:

Bank guarantee: A bank guarantee must be provided for the amount of the first instalment. The bank guarantee may only expire after acceptance.

Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:

Terms of payment: 1. Down payment on order: 30% 2. Down payment on delivery: 40% Final payment after acceptance: 30% Tool acceptance and final invoice/payment: The service/delivery is only complete upon acceptance. If provision has been made for a trial run, acceptance shall be pronounced by a joint acceptance certificate following a fault-free test run. The final instalment can be invoiced only after acceptance.

Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrug

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 19 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Korruption

Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlungsunfähigkeit

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Nationale Registrierungsnummer: DE138996546
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Beschaffung
E-Mail: vergabestelle@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625337 📞
Fax: +49 335-5625333 📠
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung
Kommunikation
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYTAX6QWZH/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYTAX6QWZH 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYTAX6QWZH 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYTAX6QWZH Project "APECS pilot line" Equipment procurement Special conditions for the tender Checks, Audits, and Investigations: The equipment is procured as part of the EU project "APECS pilot line". The EU Commission and/or the Chips Joint Undertaking (and/or other EU bodies), which is responsible for financing and the contracting authority may carry out audits of the procurement processes. To ensure that these conditions can be met, the following rules apply to suppliers/contractors: - The contractor must keep all original documents on a suitable medium, including digitized originals, for a period of five years from the date of payment of the final invoice, if permit-ted by national law. - The contractor must grant the client's employees and outside personnel authorized by the contracting authority the appropriate right of access to the sites and premises where the contract is being performed and to all information, including information in electronic form, that is necessary to carry out such checks and audits. The contractor must ensure that the information is readily available at the time of the inspection or audit and will be provided in an appropriate format upon request. - On the basis of the findings made during the audit, a provisional report is drawn up. The contracting authority or its authorised representative must send it to the contractor, who has 30 days following the date of receipt to submit observations. The contractor must re-ceive the final report within 60 days following the expiry of that deadline to submit obser-vations. - On the basis of the final audit findings, the contracting authority may recover all or part of the payments made in accordance with the relevant procedure and may take any other measure which it considers necessary. - In accordance with Council Regulation (Euratom, EC) No 2185/96 of 11 November 1996 con-cerning on-the-spot checks and inspection carried out by the Commission in order to pro-tect the European Communities" financial interests against fraud and other irregularities and Regulation (EU, Euratom) No 883/2013 of the European Parliament and the Council of 11 September 2013 concerning investigation conducted by the European Anti-Fraud Office , the European Anti-Fraud Office may carry out investigations, including on-the-spot checks and inspections, to establish whether there has been fraud, corruption or any other illegal activity under the contract affecting the financial interests of the Union. Findings arising from an investigation may lead to criminal prosecution under national law. - The investigations may be carried out at any moment during the provision of the services and up to five years starting from the payment of the balance. Terms of payment: 1. Down payment on order: 30% 2. Down payment on delivery: 40% Final payment after acceptance: 30% Bank guarantee: A bank guarantee must be provided for the amount of the first instalment. The bank guarantee may only expire after acceptance. Tool acceptance and final invoice/payment: The service/delivery is only complete upon acceptance. If provision has been made for a trial run, acceptance shall be pronounced by a joint acceptance certificate following a fault-free test run. The final instalment can be invoiced only after acceptance.

Zusätzliche Informationen

Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYTAX6QWZH

Project "APECS pilot line"
Equipment procurement
Special conditions for the tender

Checks, Audits, and Investigations:
The equipment is procured as part of the EU project "APECS pilot line". The EU Commission and/or the Chips Joint Undertaking (and/or other EU bodies), which is responsible for financing and the contracting authority may carry out audits of the procurement processes. To ensure that these conditions can be met, the following rules apply to suppliers/contractors:
- The contractor must keep all original documents on a suitable medium, including digitized originals, for a period of five years from the date of payment of the final invoice, if permit-ted by national law.
- The contractor must grant the client's employees and outside personnel authorized by the contracting authority the appropriate right of access to the sites and premises where the contract is being performed and to all information, including information in electronic form, that is necessary to carry out such checks and audits. The contractor must ensure that the information is readily available at the time of the inspection or audit and will be provided in an appropriate format upon request.
- On the basis of the findings made during the audit, a provisional report is drawn up. The contracting authority or its authorised representative must send it to the contractor, who has 30 days following the date of receipt to submit observations. The contractor must re-ceive the final report within 60 days following the expiry of that deadline to submit obser-vations.

- On the basis of the final audit findings, the contracting authority may recover all or part of the payments made in accordance with the relevant procedure and may take any other measure which it considers necessary.
- In accordance with Council Regulation (Euratom, EC) No 2185/96 of 11 November 1996 con-cerning on-the-spot checks and inspection carried out by the Commission in order to pro-tect the European Communities" financial interests against fraud and other irregularities and Regulation (EU, Euratom) No 883/2013 of the European Parliament and the Council of 11 September 2013 concerning investigation conducted by the European Anti-Fraud Office , the European Anti-Fraud Office may carry out investigations, including on-the-spot checks and inspections, to establish whether there has been fraud, corruption or any other illegal activity under the contract affecting the financial interests of the Union. Findings arising from an investigation may lead to criminal prosecution under national law.
- The investigations may be carried out at any moment during the provision of the services and up to five years starting from the payment of the balance.

Terms of payment:
1. Down payment on order: 30%
2. Down payment on delivery: 40%
Final payment after acceptance: 30%

Bank guarantee:
A bank guarantee must be provided for the amount of the first instalment. The bank guarantee may only expire after acceptance.
Tool acceptance and final invoice/payment:
The service/delivery is only complete upon acceptance. If provision has been made for a trial run, acceptance shall be pronounced by a joint acceptance certificate following a fault-free test run.
The final instalment can be invoiced only after acceptance.

Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Nationale Registrierungsnummer: t:0331866-1719
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postleitzahl: 14473
Postort: Potsdam
Region: Potsdam, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@mwae.brandenburg.de 📧
Telefon: +49 331866-1719 📞
Fax: +49 331866-1652 📠
URL: https://mwae.brandenburg.de 🌏
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-09-10+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 175-596545 (2025-09-10)

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