VRTP-Kammern

NaMLab gGmbH

VRTP-Kammern

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-08-12. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-07-04.

Wer?

• NaMLab gGmbH

Wie?

• Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme › Mikroelektronische Maschinen und Geräte

Wo?

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-07-04	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-07-04)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: VRTP-Kammern
Referenznummer: NLB2025_07
Kurze Beschreibung: VRTP-Kammern
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Beschreibung
Interne Kennung: LOT-0001
Titel: Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuum-Prozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben
Menge: 2 Stück
Geschätzter Wert ohne MwSt: 480 000 EUR 💰
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet ✅
Beschreibung der Beschaffung:

Die beabsichtigte Beauftragung umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben unter unterschiedlichen Gas-Atmosphären und im Vakuum mit sehr steilen Aufheizrampen bis 1200°C und Abkühlrampen (engl. VRTP). Die beiden Kammern können als eine Anlage mit zwei Prozesskammern oder als zwei Einzelanlagen mit jeweils einer Kammer angeboten werden, die die sehr steilen Aufheiz- und Abkühlrampen ausführen können. Die Maschinen werden für die thermische Bearbeitung von dünnen Schichten und die Prozessierung von mikro-/nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt. Sie müssen mit CMOS-Standards kompatibel sein. Eine Kammer soll Wafer mit einem Durchmesser bis 200 mm prozessieren können. Die zweite Kammer soll Wafer und Proben bis zu einer Größe von mindestens 150 mm prozessieren können. Die Prozessierung muss so erfolgen können, dass die beiden Kammern unterschiedliche Kontaminationsklassen erfüllen. Die Anlage(n) soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an diesen Reinraum insbe¬sondere die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.

Zusätzliche Informationen: #Besonders auch geeignet für:other-sme#
Die Verwendung von Zugänglichkeitskriterien für Menschen mit Behinderungen in den technischen Spezifikationen: Kriterien für die Zugänglichkeit für Menschen mit Behinderungen wurden nicht berücksichtigt, da die Beschaffung nicht für die Nutzung durch natürliche Personen vorgesehen ist
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Reinraum, 1. Stock im Gebäude
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64a
Postleitzahl: 01187
Stadt: Dresden
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer: 7 Monate
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Verordnung über die Vergabe öffentlicher Aufträge
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-08-12 13:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-08-13 09:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 39 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eine Sicherheitsleistung ist erforderlich ✅
Eröffnungstermin: 2025-08-13 09:00:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Zusätzliche Informationen: Details zu den Spezifikationen, Informationen zum Unternehmen

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Eintragung in das Handelsregister
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Handelsregisterauszug oder vergleichbares Dokument muss vorgelegt werden.
Eignungskriterium: Finanzkennzahlen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Eigenerklärung zum Umsatz mit vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Eigenerklärung zu schon ausgelieferten vergleichbaren Produkten zur Ausstattung
Eignungskriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Eigenerklärung muss unterschrieben werden.
Geforderte Kautionen und Garantien:

Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.

Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:

Zahlungsplan: bei Auftragsvergabe 40 %, bei Lieferung 40 %, bei Abnahme 20 %.Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.

Verfahren
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift: EU Richtlinien
Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund: Korruption
Beschreibung der Ausschlussgründe:

Ausgefüllte und unterschriebene Eigenerklärung zum Unternehmen, Abfrage Wettbewerbsregister

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: NaMLab gGmbH
Nationale Registrierungsnummer: HRB 24890
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64 a
Postleitzahl: 01187
Postort: Dresden
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Einkauf
E-Mail: einkauf@namlab.com 📧
Telefon: +49 21249900 📞
URL: https://www.namlab.com 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Wirtschaft und Finanzen
Kommunikation
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/0197c68c-45dc-45b4-995b-d3cd238e4bdf/zustellweg-auswaehlen 🌏
Begründung für die Beschränkung des Zugangs zu bestimmten Auftragsunterlagen: Schutz besonders sensibler Informationen
Der Zugang zu den Auftragsunterlagen ist beschränkt
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Nationale Registrierungsnummer: keine Angabe
Postanschrift: Braustraße 2
Postleitzahl: 04107
Postort: Leipzig
Region: Leipzig, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen
E-Mail: wiltrud.kadenbach@lds.sachsen.de 📧
Telefon: +493419771040 📞
URL: https://www.lds.sachsen.de 🌏
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-07-04+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 127-439896 (2025-07-04)

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