Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher

Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.

The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020) Place of usage: - the machine must be capable of operating in a cleanroom environment (ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment. - the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the documentation - user documentation in English and German - delivery, installation and SAT must be possible until 01 June 2027 - warranty of at least two years - place of performance: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.; Ion Beam Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden - SAT in the cleanroom at the Ion Beam Center, building 711/ room 105. The main body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom - CE-marking

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2026-04-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2026-03-24.

Wer?

• Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2026-03-24	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2026-03-24)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher
Referenznummer: EUOV2601
Kurze Beschreibung:
“The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch...”
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Interne Kennung: LOT-0000
Beschreibung der Beschaffung:
“The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch...”
Zusätzliche Informationen:
“The equipment is procured through the MagKI investment program”
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Dauer: 14 (MONTH)
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Performance
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50.00
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 50.00
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000
Beschreibung
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Postanschrift: Bautzner Landstraße 400
Postleitzahl: 01328
Stadt: Dresden
Land: Deutschland 🇩🇪

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-04-28 12:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 2
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Zusätzliche Informationen:
“in accordance with legal requirements from VgV”
Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Dienstleistungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“according to the criteria of Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx”
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Ausschlussgrund: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen
Beschreibung der Ausschlussgründe:
“The statutory exclusion requirements pursuant to Sections 123 to 126 of the German Act Against Restraints of Competition (GWB), the 5th EU sanctions package...”

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
Nationale Registrierungsnummer: 992-80200-35
Postanschrift: Bautzner Landstraße 400
Postleitzahl: 01328
Postort: Dresden
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Abteilung Vergabe- und Beschaffungswesen
E-Mail: dm-vergabe@hzdr.de 📧
Telefon: +49 351260-0 📞
URL: https://www.hzdr.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.tender24.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19d1fe0f9f3-40a4ff5a6d90db37 🌏
Teilnahme-URL: https://www.tender24.de 🌏
Elektronische Einreichung: Zulässig

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Postleitzahl: 53113
Postort: Bonn
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Postleitzahl: 53113
Postort: Bonn
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Telefon: +49 2289499-0 📞
Fax: +49 2289499-163 📠
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Legal remedies pursuant to Section 160 GWB: 1) The public procurement chamber shall only initiate a review procedure upon application; 2) Any company that...”
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Notice information
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-03-24+01:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 060-209081 (2026-03-24)

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