Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher

Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.

The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020) Place of usage: - the machine must be capable of operating in a cleanroom environment (ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment. - the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the documentation - user documentation in English and German - delivery, installation and SAT must be possible until 01 June 2027 - warranty of at least two years - place of performance: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.; Ion Beam Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden - SAT in the cleanroom at the Ion Beam Center, building 711/ room 105. The main body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom - CE-marking

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2026-04-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2026-03-24.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2026-03-24 Auftragsbekanntmachung
2026-06-09 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2026-03-24)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher
Referenznummer: EUOV2601
Kurze Beschreibung:
The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020) Place of usage: - the machine must be capable of operating in a cleanroom environment (ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment. - the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the documentation - user documentation in English and German - delivery, installation and SAT must be possible until 01 June 2027 - warranty of at least two years - place of performance: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.; Ion Beam Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden - SAT in the cleanroom at the Ion Beam Center, building 711/ room 105. The main body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom - CE-marking
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Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Interne Kennung: LOT-0000
Beschreibung der Beschaffung:
The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020) Place of usage: - the machine must be capable of operating in a cleanroom environment (ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment. - the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the documentation - user documentation in English and German - delivery, installation and SAT must be possible until 01 June 2027 - warranty of at least two years - place of performance: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.; Ion Beam Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden - SAT in the cleanroom at the Ion Beam Center, building 711/ room 105. The main body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom - CE-marking
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Zusätzliche Informationen: The equipment is procured through the MagKI investment program
Dauer: 14 Monate
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Performance
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50.00
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 50.00
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000
Beschreibung
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Postanschrift: Bautzner Landstraße 400
Postleitzahl: 01328
Stadt: Dresden
Land: Deutschland 🇩🇪

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-04-28 12:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 2 Monate
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Zusätzliche Informationen: in accordance with legal requirements from VgV
Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Dienstleistungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
according to the criteria of Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Ausschlussgrund: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen
Beschreibung der Ausschlussgründe:
The statutory exclusion requirements pursuant to Sections 123 to 126 of the German Act Against Restraints of Competition (GWB), the 5th EU sanctions package (RUS sanctions), and the grant notice for the magKI project apply. To this end, the self-declarations 'Non existence reasons for exclusion’ and 'RUS sanctions’ attached to the tender documents, as well as the 'Declaration on the beneficial owner’ must be completed and submitted as part of the tender.
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Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
Nationale Registrierungsnummer: 992-80200-35
Postanschrift: Bautzner Landstraße 400
Postleitzahl: 01328
Postort: Dresden
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Abteilung Vergabe- und Beschaffungswesen
E-Mail: dm-vergabe@hzdr.de 📧
Telefon: +49 351260-0 📞
URL: https://www.hzdr.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.tender24.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19d1fe0f9f3-40a4ff5a6d90db37 🌏
Teilnahme-URL: https://www.tender24.de 🌏
Elektronische Einreichung: Zulässig

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Postleitzahl: 53113
Postort: Bonn
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
Legal remedies pursuant to Section 160 GWB: 1) The public procurement chamber shall only initiate a review procedure upon application; 2) Any company that has an interest in the public contract or concession is authorized to apply and asserts an infringement of its rights pursuant to Section 97 (6) GWB due to non-compliance with procurement regulations. It must be shown that the company has suffered or is at risk of suffering damage as a result of the alleged breach of the procurement regulations; 3) The application is inadmissible if: (1) The applicant has recognized the alleged breach of procurement regulations before submitting the application for review and has not notified the contracting authority of this within a period of 10 calendar days; the expiry of the deadline pursuant to Section 134 (2) GWB remains unaffected, (2) violations of procurement regulations that are recognizable on the basis of the contract notice are not notified to the contracting authority by the expiry of the deadline for application or submission of tenders specified in the contract notice at the latest, (3) violations of procurement regulations that are only recognizable in the procurement documents are not notified to the contracting authority by the expiry of the deadline for application or submission of tenders at the latest, (4) more than 15 calendar days have passed since receipt of the notification from the contracting authority that it does not intend to remedy a complaint. Sentence 1 shall not apply to an application for a declaration of invalidity of the contract pursuant to Section 135 (1) No. 2.
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Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-03-24+01:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 060-209081 (2026-03-24)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2026-06-09)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): -1 EUR 💰
Sonstige Beschränkungen am Erfüllungsort: Ort im betreffenden Land
Beschreibung
Dauer: 6 Monate

Auftragsvergabe
Ein Auftrag/Los wird vergeben ✅
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000
Vertragsnummer: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 2026-06-09 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: -1 EUR 💰
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Nationale Registrierungsnummer: DE 128 244 113
Postanschrift: Konrad-Zuse-Bogen 13
Postleitzahl: 82152
Postort: Krailling
Region: Starnberg 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: sales@sentech.de 📧
Telefon: +49 8989796070 📞
Fax: +49898979607-22 📠
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleinstunternehmen

Ergänzende Informationen
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-06-09+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 111-399787 (2026-06-09)
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