Semi-automated probe system with accessories

IHP GmbH - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik

The tender concerns the procurement of an integrated system for optical and opto-electrical characterization at wafer and chip level in the visible (VIS) spectral range. The system shall consist of a 200 mm semi-automated probe station equipped with a temperature-controlled chuck, microscope, and manual manipulators for RF/DC probes as well as for optical fibers and fiber arrays. The system will be installed in a laboratory environment outside the cleanroom. The scope of supply includes delivery to the point of use (laboratory), installation, commissioning, and two days of user training. The system must be new (no refurbished chambers or parts) and comply fully with CE requirements and the applicable EU Machinery Directive (2006/42/EC as amended). The operating system shall be Microsoft Windows 11. Remote control via GPIB (IEEE-488.2) and LAN is required. A user manual must be provided, and safety instructions must be supplied in German. The system must include a minimum warranty period of 24 months for all parts. Power supply requirements are 230/400 VAC, 50 Hz, separate PE/N (TN-S network). Tool delivery shall be in accordance with INCOTERMS 2020 DDP or DAP to a defined place inside IHP (maximum transport dimensions for move-in: width 140 cm, height 200 cm). In case of delivery from outside the EU, the supplier shall act as importer. As an optional item, bidders shall quote a separate annual maintenance contract for three years, including stage planarization, lubrication, and thermal chuck calibration.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2026-03-24. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2026-02-19.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• ATV Systems GmbH

Wer?

• IHP GmbH - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Brandenburg › Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2026-02-19	Auftragsbekanntmachung
2026-05-12	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2026-02-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Semi-automated probe system with accessories
Referenznummer: IHP-2026-015
Kurze Beschreibung:

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Interne Kennung: IHP-2026-015
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet ✅
Beschreibung der Beschaffung:

The subject of this procurement is the supply, delivery, installation, and commissioning of a new integrated system for optical and opto-electrical characterization on wafer and chip level in the visible (VIS) spectral range. The system shall consist of a semi-automated 200 mm probe station designed for laboratory operation outside a cleanroom environment. It must include, at minimum, a temperature-controlled chuck, a high-resolution microscope system, and manual manipulators suitable for RF and DC probes as well as for optical fibers and fiber arrays. The system shall enable precise electrical and optical measurements under controlled thermal conditions. The scope of supply includes all necessary hardware, control electronics, software (compatible with Microsoft Windows 11), cabling, and accessories required for full operation. Remote control capability via GPIB (IEEE-488.2) and LAN interfaces is mandatory. Delivery shall be made to the final point of use (laboratory). The contractor shall perform installation, full system commissioning, and provide at least two days of on-site user training. Complete technical documentation, including a user manual, must be provided. Safety instructions must be supplied in German. The system must be brand new; refurbished components or chambers are not permitted. The equipment must comply fully with CE requirements and the applicable EU Machinery Directive (2006/42/EC as amended). Electrical compatibility with the existing infrastructure (230/400 VAC, 50 Hz, TN-S network with separate PE/N) must be ensured. A minimum warranty period of 24 months covering all parts is required. In addition, bidders shall submit a separate quotation for an optional annual maintenance contract for a period of three years, including stage planarization, lubrication, and thermal chuck calibration. Delivery terms shall comply with INCOTERMS 2020 (DDP or DAP to a defined location inside IHP). If delivery originates from outside the European Union, the supplier shall assume the role of importer.

Beschreibung der Beschaffung

The subject of this procurement is the supply, delivery, installation, and commissioning of a new integrated system for optical and opto-electrical characterization on wafer and chip level in the visible (VIS) spectral range.

The system shall consist of a semi-automated 200 mm probe station designed for laboratory operation outside a cleanroom environment. It must include, at minimum, a temperature-controlled chuck, a high-resolution microscope system, and manual manipulators suitable for RF and DC probes as well as for optical fibers and fiber arrays. The system shall enable precise electrical and optical measurements under controlled thermal conditions.

The scope of supply includes all necessary hardware, control electronics, software (compatible with Microsoft Windows 11), cabling, and accessories required for full operation. Remote control capability via GPIB (IEEE-488.2) and LAN interfaces is mandatory.

Delivery shall be made to the final point of use (laboratory). The contractor shall perform installation, full system commissioning, and provide at least two days of on-site user training. Complete technical documentation, including a user manual, must be provided. Safety instructions must be supplied in German.

The system must be brand new; refurbished components or chambers are not permitted. The equipment must comply fully with CE requirements and the applicable EU Machinery Directive (2006/42/EC as amended). Electrical compatibility with the existing infrastructure (230/400 VAC, 50 Hz, TN-S network with separate PE/N) must be ensured.

A minimum warranty period of 24 months covering all parts is required. In addition, bidders shall submit a separate quotation for an optional annual maintenance contract for a period of three years, including stage planarization, lubrication, and thermal chuck calibration.

Delivery terms shall comply with INCOTERMS 2020 (DDP or DAP to a defined location inside IHP). If delivery originates from outside the European Union, the supplier shall assume the role of importer.

Zusätzliche Informationen: #Besonders auch geeignet für:startup#, #Besonders auch geeignet für:other-sme#
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Innovative Beschaffung

Das Probersystem wird für die Verwendungung in Forschungs- und Entwicklungsprojekten eingesetzt.

Innovationsfördernde Auftragsvergabe: Die erbrachten Bauleistungen, Dienstleistungen oder gelieferten Güter beinhalten Prozessinnovationen.
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Stadt: Frankfurt (Oder)
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 50
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische/technologische Bewerttung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50.000000
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-03-24 12:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 59 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-03-16 23:59:59 📅
Zusätzliche Informationen:

Der öffentliche Auftraggeber kann den Bewerber oder Bieter unter Einhaltung der Grundsätze der Transparenz und der Gleichbehandlung auffordern, fehlende, unvollständige oder fehlerhafte unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise, nachzureichen, zu vervollständigen oder zu korrigieren, oder fehlende oder unvollständige leistungsbezogene Unterlagen nachzureichen oder zu vervollständigen. Der öffentliche Auftraggeber ist berechtigt, in der Auftragsbekanntmachung oder den Vergabeunterlagen festzulegen, dass er keine Unterlagen nachfordern wird. Die Nachforderung von leistungsbezogenen Unterlagen, die die Wirtschaftlichkeitsbewertung der Angebote anhand der Zuschlagskriterien betreffen, ist ausgeschlossen. Dies gilt nicht für Preisangaben, wenn es sich um unwesentliche Einzelpositionen handelt, deren Einzelpreise den Gesamtpreis nicht verändern oder die Wertungsreihenfolge und den Wettbewerb nicht beeinträchtigen. Die Unterlagen sind vom Bewerber oder Bieter nach Aufforderung durch den öffentlichen Auftraggeber innerhalb einer von diesem festzulegenden angemessenen, nach dem Kalender bestimmten Frist vorzulegen.

Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Punkte, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Eintragung in das Handelsregister
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Eintragung in das Handelsregister (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Referenzen (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung: keine
Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrug

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 19 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Korruption

Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlungsunfähigkeit

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Nationale Registrierungsnummer: DE138996546
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Beschaffung
E-Mail: vergabestelle@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625337 📞
Fax: +49 335-5625333 📠
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung
Kommunikation
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYTGUGJCJC/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYTGUGJCJC 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYTGUGJCJC 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

#Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYTGUGJCJC# Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Fragen oder Auskünfte, die auf anderen Kommunikationswegen eingehen, können nicht berücksichtigt werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist insbesondere auch unter Betrachtung von Transparenz und Effizienz.

Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Nationale Registrierungsnummer: t:0331866-1719
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postleitzahl: 14473
Postort: Potsdam
Region: Potsdam, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@mwae.brandenburg.de 📧
Telefon: +49 331866-1719 📞
Fax: +49 331866-1652 📠
URL: https://mwae.brandenburg.de 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung oder in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der Frist der Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Im Übrigen sind Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Ein Nachprüfungsantrag ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der zuständigen Vergabekammer zu stellen (§ 160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)). Die o. a. Fristen gelten nicht, wenn der Auftraggeber gemäß § 135 Absatz 1 Nr. 2 GWB den Auftrag ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist. Setzt sich ein Auftraggeber über die Unwirksamkeit eines geschlossenen Vertrages hinweg, indem er die Informations und Wartepflicht missachtet (§ 134 GWB) oder ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist, kann die Unwirksamkeit nur festgestellt werden, wenn sie im Nachprüfungsverfahren innerhalb von 30 Kalendertagen nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrages, jedoch nicht später als 6 Monate nach Vertragsschluss geltend gemacht worden ist. Hat der Auftraggeber die Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union bekannt gemacht, endet die Frist 30 Kalendertage nach Veröffentlichung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union (§135 GWB).

Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-02-19+01:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 036-123569 (2026-02-19)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2026-05-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): -1 EUR 💰
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) (höchstes Angebot): -1 💰
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) (niedrigstes Angebot): -1 💰
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische/technologische Bewertung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50

Auftragsvergabe
Ein Auftrag/Los wird vergeben ✅
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Vertragsnummer: 1
Datum des Vertragsabschlusses: 2026-05-04 📅
Titel: ATV Systems GmbH, 01189 Dresden
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 3
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 1
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Höchstes Angebot: -1 💰
Niedrigstes Angebot: -1 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: -1 EUR 💰
Kennung des Angebots: 1 - 3438805
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: ATV Systems GmbH
Nationale Registrierungsnummer: HRB 18430 Dresden
Postanschrift: Heilbronner Straße 17
Postleitzahl: 01189
Postort: Dresden
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: atv@atv-systems.de 📧
Telefon: +493512138640 📞
Fax: +493512138650 📠
URL: http://www.atv-systems.de 🌏
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

#Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYTVCV88PY# Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Fragen oder Auskünfte, die auf anderen Kommunikationswegen eingehen, können nicht berücksichtigt werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist insbesondere auch unter Betrachtung von Transparenz und Effizienz.

Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-05-12+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 092-327080 (2026-05-12)

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