Waferprober

Technische Universität München

Gegenstand der Anschaffung ist ein Wafer Prober für den elektrischen Test von Halbleiterwafern mit einer Größe von 150 mm bis 300 mm.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2026-02-17. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2026-01-15.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• ATV Systems GmbH

Wer?

• Technische Universität München

Wie?

• Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen › Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen

Wo?

• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Landkreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2026-01-15	Auftragsbekanntmachung
2026-02-06	Auftragsbekanntmachung
2026-04-01	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2026-01-15)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Waferprober
Referenznummer: 051/2025
Kurze Beschreibung:

Gegenstand der Anschaffung ist ein Wafer Prober für den elektrischen Test von Halbleiterwafern mit einer Größe von 150 mm bis 300 mm.

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen 📦
Beschreibung
Interne Kennung: 051/2025
Beschreibung der Beschaffung:

Der Auftrag umfasst Lieferung, Installation und Inbetriebnahme laut Leistungsbeschreibung am Aufstellort in Garching bei München entsprechend den dargestellten Reinraum-Vorschriften. Ebenso ist eine Einweisung von Mitarbeitern Teil des Auftrags.

Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen 📦
Postleitzahl: 85748
Stadt: Garching
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: München, Landkreis 🏙️
Dauer: 9 Monate
Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 100.0
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-02-17 08:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-02-17 08:01:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 8 Wochen
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2026-02-17 08:01:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-02-11 23:59:59 📅
Zusätzliche Informationen:

Der öffentliche Auftraggeber kann den Bewerber oder Bieter unter Einhaltung der Grundsätze der Transparenz und der Gleichbehandlung auffordern, fehlende, unvollständige oder fehlerhafte unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise, nachzureichen, zu vervollständigen oder zu korrigieren, oder fehlende oder unvollständige leistungsbezogene Unterlagen nachzureichen oder zu vervollständigen.

Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Eigenerklärungen über mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus dem EU/EFTA Raum aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnummer). Maßstab für Vergleichbarkeit sind Wafergröße, Reinraumspezifikation, Positioniergenauigkeit und Eignung für Vertical Probe Cards.

Eignungskriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Eigenerklärung des Bieters, dass er eine Betriebshaftpflichtversicherung unterhält.

Eignungskriterium: Allgemeiner Jahresumsatz
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Eigenerklärung über den Gesamtumsatz des Bieters, jeweils der letzten drei (3) abgeschlossenen Geschäftsjahre, jeweils in EUR netto.

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Technische Universität München
Nationale Registrierungsnummer: 09-1512011-61
Postanschrift: Arcisstraße 21
Postleitzahl: 80333
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: roman.gernhaeuser@ph.tum.de 📧
Telefon: 08928912440 📞
Art des öffentlichen Auftraggebers
Regional- oder Kommunalbehörde
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0MHCP/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0MHCP 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK0MHCP 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
#Bekanntmachungs-ID: CXP4YK0MHCP#
Körper überprüfen
Name: Regierung von Oberbayern Vergabekammer Südbayern
Nationale Registrierungsnummer: 09-0318006-60
Postleitzahl: 80534
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de 📧
Telefon: +49 892176-2411 📞
Fax: +49 892176-2847 📠
URL: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/ueber_uns/zentralezustaendigkeiten/vergabekammer-suedbayern/ 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) § 160 Einleitung, Antrag (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.

Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-01-15+01:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 012-038721 (2026-01-15)

Auftragsbekanntmachung (2026-02-06)
Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-02-26 08:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-02-26 08:01:00 📅
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Eröffnungstermin: 2026-02-26 08:01:00 📅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-02-19 23:59:59 📅

Ergänzende Informationen
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-02-06+01:00 📅

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: PROCEDURE
Neuer Wert
Text:

1. Seite 1, 3. Absatz: Ursprünglich: Die Wafer-Prober Platen (= Aufstellfläche der Mikromanipulatoren) muss über eine integrierte Luftkühlung verfügen und der Höhenunterschied zur Chuck-Oberfläche darf, wenn sich der Chuck in der höchsten Position befindet, maximal 30 mm betragen. Neu: Die Wafer-Prober Platen (= Aufstellfläche der Mikromanipulatoren) muss über eine integrierte Luftkühlung verfügen und der Höhenunterschied zur Chuck-Oberfläche darf, wenn sich der Chuck in der höchsten Position befindet, maximal 45 mm betragen. 2. Seite 1, 5. Absatz: Ursprünglich: Die Verwendung von Nadelkarten mit einer Breite von 114 mm (4,5 inch) und 152 mm (6 inch) muss möglich sein. Neu: Die Verwendung von Nadelkarten mit einer Breite von 114 mm (4,5 inch) und eine optionale Erweiterung auf 152 mm (6 inch) Nadelkarten muss möglich sein. 3. Seite 1, Automatisches Beladen: Ursprünglich: - Wafergröße: 150 mm, 200 mm und 300 mm Durchmesser - Waferdicke: Standard Wafer mit einer Dicke von maximal 1 mm Neu: - Wafergröße: zumindest 200 mm und 300 mm Durchmesser - Waferdicke: Standard Wafer mit einer Dicke von maximal 1 mm 4. Seite 1, Positionierung des Chucks: Ursprünglich: - X Verfahrbereich mind. 310 mm - Y Verfahrbereich mind. 501 mm - X/Y Auflösung: < 0.51 µm - X/Y Genauigkeit: < 2 µm - Wiederholbarkeit: < 1 µm - XY Geschwindigkeit: verschieden wählbare Geschwindigkeiten von 10 µm/s bis mindestens 30 mm/s - Z Verfahrbereich mindestens. 30 mm - Z Auflösung: < 0.51 µm Neu: - X Verfahrbereich mind. 300 mm - Y Verfahrbereich mind. 500 mm - X/Y Auflösung: < 0.7 µm - X/Y Genauigkeit: < 2 µm - Wiederholbarkeit: < 1 µm - XY Geschwindigkeit: verschieden wählbare Geschwindigkeiten von 10 µm/s bis - mindestens 30 mm/s - Z Verfahrbereich mindestens. 10 mm - Z Auflösung: < 0.7 µm 5. Seite 2, letzter Bullet-Point von "Positionierung des Chucks": Ursprünglich: Bei Verwendung einer Waferablagevorrichtung müssen mindestens fünf Wafer eingelagert und jeweils ein Wafer automatisch geladen bzw. zurückgeführt werden können. Wünschenswert wäre, dass bei der automatischen Beladung eine Vorausrichtung des Wafers und eine Erfassung der Wafer-Identifikationsnummer erfolgen können. Dies ist kein MUSS-Kriterium, muss aber später nachrüstbar sein. Neu: Bei Verwendung einer Waferablagevorrichtung müssen mindestens fünf Wafer eingelagert und jeweils ein Wafer automatisch geladen bzw. zurückgeführt werden können. Bei der automatischen Beladung muss eine Vorausrichtung des Wafers erfolgen können Die Angebotsfrist wurde verlängert bis zum 26.02.2026, 8.00 Uhr Die Frist für die Bieterfragen wurde verlängert bis zum 19.02.2026

Text

Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Änderung der Auftragsunterlagen am ✅
Datum der Änderung der Auftragsunterlagen: 2026-02-06 📅
Andere zusätzliche Informationen

In der Leistungsbeschreibung wurden Angaben korrigiert; die Angebotsfrist und auch die Frist für die Bieterfragen wurden deshalb verlängert

Hauptgrund für die Änderung: Korrektur – Beschaffer
Angaben zu Änderungen
Fassung der zu ändernden vorigen Bekanntmachung: 279edecd-471b-46c6-8e04-2080b9bea3d9-01
Quelle: OJS 2026/S 027-090312 (2026-02-06)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2026-04-01)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): -1 EUR 💰
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) (höchstes Angebot): -1 💰
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) (niedrigstes Angebot): -1 💰

Auftragsvergabe
Ein Auftrag/Los wird vergeben ✅
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Vertragsnummer: 051/2025
Datum des Vertragsabschlusses: 2026-04-01 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Höchstes Angebot: -1 💰
Niedrigstes Angebot: -1 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: -1 EUR 💰
Kennung des Angebots: 1-00100
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: ATV Systems GmbH
Nationale Registrierungsnummer: DE208120126
Postanschrift: Heilbronner Strasse 17
Postleitzahl: 01189
Postort: Dresden
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: atvi@atv-systems.de 📧
Telefon: 0351 2138640 📞
URL: http://www.atv-systems.de 🌏
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
#Bekanntmachungs-ID: CXP4YK0MLV5#
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-04-01+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 065-230398 (2026-04-01)

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