ALD-Anlage

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2026-08-11. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2026-07-07.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Sentech Gesellschaft für Sensortechnik mbH

Wer?

• Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2026-07-07	Auftragsbekanntmachung
2026-08-07	Auftragsbekanntmachung
2026-08-25	Auftragsbekanntmachung
2026-09-21	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2026-07-07)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: ALD-Anlage
Referenznummer: 01.26.O.00
Kurze Beschreibung:

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Geschätzter Wert ohne MwSt: 461 344 EUR 💰
Beschreibung
Interne Kennung: 01.26.O.00
Zusätzliche Informationen:

Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 549.000 Euro brutto zur Verfügung.

Postleitzahl: 07745
Stadt: Jena
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer
Datum des Beginns: 2026-08-28 📅
Datum des Endes: 2027-09-05 📅
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 70.0
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 30.0
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-08-11 13:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-08-11 13:10:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 40 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eine Sicherheitsleistung ist erforderlich ✅
Eröffnungstermin: 2026-08-11 13:10:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-08-04 23:59:59 📅
Zusätzliche Informationen: s.o.
Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Durchschnittlicher Jahresumsatz
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: s. Eigenerklärung
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Als Nachweis zu den bestehenden Erfahrungen sind mind. 2 Referenzen, vorzugsweise aus dem Forschungsumfeld aus den vergangenen 3 Jahren zusammen mit dem Angebot einzureichen.

Geforderte Kautionen und Garantien: Bankbürgschaft für Anzahlungen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

- Besondere Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz- IPHT Jena - Eigenerklärung gem. ThürVgG

Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrug

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 19 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Korruption

Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlungsunfähigkeit

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Nationale Registrierungsnummer: DE151282932
Postleitzahl: 07745
Postort: Jena
Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: saskia.bach@leibniz-ipht.de 📧
Telefon: 03641206556 📞
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRM3BQ/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRM3BQ 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRM3BQ 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
#Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRM3BQ#
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Thüringen
Nationale Registrierungsnummer: Land Thüringen
Postleitzahl: 99423
Postort: Weimar
Region: Weimar, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de 📧
Telefon: 0361573321059 📞
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-07-07+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 129-469404 (2026-07-07)

Auftragsbekanntmachung (2026-08-07)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Wert ohne MwSt: 461 344 EUR 💰

Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-08-25 13:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-08-25 13:10:00 📅
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Eröffnungstermin: 2026-08-25 13:10:00 📅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-08-14 23:59:59 📅

Ergänzende Informationen
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-08-07+02:00 📅

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: PROCEDURE
Neuer Wert
Text: Verlängerung der Angebotsfrist bis 25.08.2026, 13:00 Uhr
Andere zusätzliche Informationen
Verlängerung der Angebotsfrist bis 25.08.2026, 13:00 Uhr
Hauptgrund für die Änderung: Aktualisierte Informationen
Angaben zu Änderungen
Fassung der zu ändernden vorigen Bekanntmachung: 22a26e70-1067-4fad-b072-a791fe675075-01
Quelle: OJS 2026/S 152-551042 (2026-08-07)

Auftragsbekanntmachung (2026-08-25)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Wert ohne MwSt: 461 344 EUR 💰

Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-09-01 13:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-09-01 13:10:00 📅
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Eröffnungstermin: 2026-09-01 13:10:00 📅

Ergänzende Informationen
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-08-25+02:00 📅

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: PROCEDURE
Neuer Wert
Text: Verlängerung der Angebotsfrist bis 01.09.2026, 13 Uhr
Andere zusätzliche Informationen
Hauptgrund für die Änderung: Aktualisierte Informationen
Angaben zu Änderungen
Fassung der zu ändernden vorigen Bekanntmachung: 11190d9e-cf9a-419d-abd9-2a968ad46363-01
Quelle: OJS 2026/S 164-589605 (2026-08-25)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2026-09-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Wert ohne MwSt: 461 344 EUR 💰
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): 461 344 EUR 💰
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) (höchstes Angebot): 461 300 💰
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) (niedrigstes Angebot): 382 429 💰

Auftragsvergabe
Ein Auftrag/Los wird vergeben ✅
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Vertragsnummer: 2620130/295321/195032
Datum des Vertragsabschlusses: 2026-09-18 📅
Titel: ALD-Anlage
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 5
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Höchstes Angebot: 461 300 💰
Niedrigstes Angebot: 382 429 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 456 249 EUR 💰
Kennung des Angebots: 8760/08/26
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Nationale Registrierungsnummer: DE128244113
Postanschrift: Konrad-Zuse-Bogen 13
Postleitzahl: 82152
Postort: Krailling
Region: Starnberg 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: sales@sentech.de 📧
Telefon: +49 (0)89 - 89 79 60 70 📞
Fax: +49 (0)89 - 89 79 60 722 📠
URL: http://www.sentech.de 🌏
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen

Öffentlicher Auftraggeber
Kommunikation
Kennung der vorherigen Bekanntmachung: 469404-2026

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
#Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRMV0A#
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-09-21+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 183-650714 (2026-09-21)

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